【技术实现步骤摘要】
本公开涉及硬脆绝缘材料的加工，具体涉及一种用于加工硬脆绝缘材料的方法及设备。
技术介绍
1、硬脆绝缘材料如玻璃、石英、工程陶瓷是继金属和塑料之后的“第三代结构材料”，具有优良的综合性能，具有超硬、耐磨、电阻率和熔点高以及导热性好等诸多优异的力学、化学和物理性能，在微机电系统中的应用非常广泛。虽然这些陶瓷材料具有优异的性能和十分重要的应用价值，但是其较高的硬度、脆性和电绝缘性，给加工带来了很大的困难。
2、硬脆绝缘材料的现有加工方法主要包括金刚石磨削加工和电解电火花加工。金刚石磨削是目前使用最广泛、技术最成熟的一种加工方法，但是该方法存在金刚石砂轮损耗大、加工效率较低、加工成本高、加工表面容易出现微裂纹和崩碎等问题，特别是加工微小结构时，由于刀具尺寸微小，刀具容易变形甚至断裂，影响加工精度和加工稳定性。电解电火花加工硬脆绝缘材料目前处于实验室研究阶段，尚未形成工业化应用。电解电火花加工产生放电的必要条件是在电极表面形成较完整的氢气膜。该方法氢气膜不稳定，加工间隙内工作液循环较差，导致放电稳定性差，加工效率低，同时氢气膜厚度变化...
【技术保护点】
1.一种用于加工硬脆绝缘材料的设备，其特征在于，所述设备包括：微波谐振腔、工件加工装置、导电性粉末提供装置和微波馈入装置，其中，
2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，其中，所述工件加工机构包括：夹具、机床导向轴、机床主轴、机床立柱和机床工作台；所述加工工具、所述夹具、所述机床导向轴、所述机床主轴、所述机床立柱依次连接后与所述机床工作台垂直设置；所述微波谐振腔包括端盖和腔体，所述腔体没有底面，所述端盖和所述腔体能够相对运动，在所述端盖或所述腔体上设有可开合的门，用于放入所述工件以便将其固定在所述机床工作台上以及从所述机床工作台上拿出所述工件；
<...【技术特征摘要】
1.一种用于加工硬脆绝缘材料的设备，其特征在于，所述设备包括：微波谐振腔、工件加工装置、导电性粉末提供装置和微波馈入装置，其中，
2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，其中，所述工件加工机构包括：夹具、机床导向轴、机床主轴、机床立柱和机床工作台；所述加工工具、所述夹具、所述机床导向轴、所述机床主轴、所述机床立柱依次连接后与所述机床工作台垂直设置；所述微波谐振腔包括端盖和腔体，所述腔体没有底面，所述端盖和所述腔体能够相对运动，在所述端盖或所述腔体上设有可开合的门，用于放入所述工件以便将其固定在所述机床工作台上以及从所述机床工作台上拿出所述工件；
3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，其中，
4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，其中，
5.根据权利要求2～4任一项所述的设备，其特征在于，其中，所述导电性粉末提供装置与所述工件加工装置连接，包括：供粉机构和供粉管道，所述导电性粉末提供装置具体设置为：
6.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，其中，所述供粉管道与所述加工工具具有相同轴向。
7.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，其中，所述供粉机构包括：供粉桶、吸粉管、吸粉泵和送粉管；所述吸粉泵的入口通过所述吸粉管连接到所述供粉桶，所述吸粉泵的出口通过所述送粉管透过设...
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