微型加热器和气体传感器制造技术

技术编号：40670028 阅读：4 留言：0更新日期：2024-03-18 19:06

一种微型加热器(1)，其具备：基板(10)，其设有通孔(11)；薄膜(30)，其以将通孔(11)的表面侧(10F)封闭的方式配置而形成隔膜(DP)；发热电阻体(50)，其配置于薄膜(30)，通过供电而发热；以及第1引线部(70A)和第2引线部(70B)，它们配置于薄膜(30)，向发热电阻体(50)供电，通孔(11)的表面侧(10F)的开口即表面侧开口(11F)构成圆形形状，发热电阻体(50)以使将外周连结起来的第1假想线(VC1)构成圆周的方式配设，与所述发热电阻体(50)连接的第1引线部(70A)在第1连接部(71A)与所述发热电阻体(50)连接，第2引线部(70B)在第2连接部(71B)与所述发热电阻体(50)连接。第2连接部(71B)相对于与将第1假想线(VC1)的中心即配设中心(O)和所述第1连接部(71A)连结起来的第1半径(RA)正交的基准直径线(RL)而言位于第1连接部(71A)的相反侧。

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【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及微型加热器和气体传感器。

技术介绍

1、已知一种具备微型加热器的气体传感器，该微型加热器包含具有通孔的基板、张设于所述通孔而形成隔膜的薄膜、以及设于所述薄膜的发热电阻体。在这样的微型加热器中，若电阻体发热时的隔膜的热分布存在偏差，则薄膜有可能因温度差引起的热应力而破损。另外，如果在电阻体发热时隔膜局部地成为高温，则由于应力迁移而高温部分经时劣化，产生产品寿命变短这样的问题。

2、例如下述专利文献1所记载的气体传感器具有：硅制的基板，其具有开口部(通孔)；隔膜，其覆盖所述开口部并由多层绝缘膜构成；以及圆形形状的加热器，其布线在所述隔膜上，通过将所述加热器布线成漩涡状并且根据距中心的距离来调整布线宽度，从而调整每单位面积的发热量而实现均热性的提高。

3、在上述气体传感器中，开口部在俯视基板时呈四边形形状，从隔膜中心到基板的开口缘的距离不一定。因此，从隔膜去向基板的热传导(散热)不均匀，加热器发热时的热分布有可能产生偏差。另外，由于在开口缘包含成为特异点的角部，因此作用于构成隔膜的多层绝缘膜的应力有可能集中于特定部分。而且，呈漩涡状布线的加热器的外形严格来说呈椭圆形状，因此也担心从隔膜中心观察的热分布产生各向异性。

4、现有技术文献

5、专利文献

6、专利文献1：日本特许第5436147号公报

技术实现思路

1、专利技术要解决的问题

2、本技术鉴于上述状况，其课题在于提供减轻隔膜中的热分布、应力分布的偏

3、用于解决问题的方案

4、本专利技术提供一种微型加热器，其中，该微型加热器具备：基板，其设有使表面与背面之间贯通的通孔；薄膜，其以将所述通孔的所述表面侧封闭的方式配置在所述表面上而形成隔膜；发热电阻体，其配置于所述薄膜，通过供电而发热；以及一对引线部，它们配置于所述薄膜，向所述发热电阻体供电，所述通孔的所述表面侧的开口即表面侧开口构成圆形形状，所述发热电阻体以使将该发热电阻体的外周连结起来的第1假想线构成圆周的方式配设，一对所述引线部由与设于所述发热电阻体的第1连接部连接的第1引线部和与设于所述发热电阻体的第2连接部连接的第2引线部构成，所述第2连接部相对于基准直径线而言位于所述第1连接部的相反侧，所述基准直径线与将所述第1假想线的中心即配设中心和所述第1连接部连结起来的第1半径正交。

5、专利技术的效果

6、根据本专利技术，能够提供减轻隔膜中的热分布、应力分布的偏差且耐久性优异的微型加热器和气体传感器。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种微型加热器，其中，

2.根据权利要求1所述的微型加热器，其中，

3.根据权利要求1或2所述的微型加热器，其中，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的微型加热器，其中，

5.根据权利要求4所述的微型加热器，其中，

6.根据权利要求4所述的微型加热器，其中，

7.根据权利要求4至6中任一项所述的微型加热器，其中，

8.根据权利要求4至7中任一项所述的微型加热器，其中，

9.根据权利要求4至8中任一项所述的微型加热器，其中，

10.一种气体传感器，其中，

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种微型加热器，其中，

2.根据权利要求1所述的微型加热器，其中，

3.根据权利要求1或2所述的微型加热器，其中，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的微型加热器，其中，

5.根据权利要求4所述的微型加热器，其中，

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【专利技术属性】
技术研发人员：岛田悠斗，八木宏明，森高，七田贵史，
申请(专利权)人：日本特殊陶业株式会社，
类型：发明
国别省市：

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