【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及高纯石英提纯检测领域，尤其涉及一种高温振荡氯化焙烧制备石英坩埚用5n级石英砂的方法。
技术介绍
1、石英(quartz)，化学式为sio2，是一种重要的非金属矿物材料，普通石英砂常用于陶瓷、玻璃及玻璃制品等。而超纯石英砂(sio2含量≥99.999％)因具有优异的热性能、光学性能和电学性能等，被广泛用于半导体、光纤通信、航空航天、军工、电子技术等战略性新兴产业，随着半导体及光伏行业的飞速发展，超纯石英材料显得越来越重要。超纯石英砂对sio2含量要求高，同时杂质元素(如fe、al、k、na、li、ca等元素)也需要降低到非常低的水平。目前国产石英砂中杂质含量较高、包裹体较多，导致制备的石英坩埚往往不透明或含有气泡，极大的限制了半导体及光伏行业的可持续发展。
2、天然石英资源普遍存在伴生杂质矿物、气液固包裹体、晶格取代及填隙金属元素等杂质，尤其是晶格杂质元素难以通过常规选矿方法实现有效分离，是高纯石英砂领域的重大技术难题。
3、因此，亟需一种高温振荡氯化焙烧制备石英坩埚用5n级石英砂的方法以解决上述技术
【技术保护点】
1.一种高温振荡氯化焙烧制备石英坩埚用5N级石英砂的方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的高温振荡氯化焙烧制备石英坩埚用5N级石英砂的方法，其特征在于，所述S10步骤中，所述第一温度范围为673～873℃。
3.根据权利要求2所述的高温振荡氯化焙烧制备石英坩埚用5N级石英砂的方法，其特征在于，所述S10步骤中，所述第一次焙烧处理的气体氛围为Cl2、HCl以及N2组成的混合气体；其中，Cl2、HCl以及N2的气体配比为1：3：4，所述混合气体的气体流速为600～800mL/min。
4.根据权利要求1所述的高温振荡...
【技术特征摘要】
1.一种高温振荡氯化焙烧制备石英坩埚用5n级石英砂的方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的高温振荡氯化焙烧制备石英坩埚用5n级石英砂的方法，其特征在于，所述s10步骤中，所述第一温度范围为673～873℃。
3.根据权利要求2所述的高温振荡氯化焙烧制备石英坩埚用5n级石英砂的方法，其特征在于，所述s10步骤中，所述第一次焙烧处理的气体氛围为cl2、hcl以及n2组成的混合气体；其中，cl2、hcl以及n2的气体配比为1：3：4，所述混合气体的气体流速为600～800ml/min。
4.根据权利要求1所述的高温振荡氯化焙烧制备石英坩埚用5n级石英砂的方法，其特征在于，所述s10步骤中，采用管式焙烧炉对所述石英砂进行所述第一次焙烧处理，所述第一次焙烧处理的保温时间为1～3h。
5.根据权利要求4所述的高温振荡氯化焙烧制备石英坩埚用5n级石英砂的方法，其特征在于，所述s10步骤中，所述管式焙烧炉的后端连接有尾气处理装置，所述尾气处理装置包括饱和naoh溶液。
6.根据权利要求1所述的高温振荡氯化焙烧制备石英坩埚用5n级石英砂的方法，其特征在于，所述s2...
【专利技术属性】
技术研发人员：李育彪，田妍，魏桢伦，顾雲翔，向丞睿，
申请(专利权)人：武汉理工大学，
类型：发明
国别省市：
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