【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及包括多个暂时接受基板的接受部并处理基板的基板处理系统，特别涉及其用户界面功能。
技术介绍
1、在处理半导体基板、液晶显示装置用玻璃基板等各种基板(以下简称为“基板”)的基板处理系统中，有时设置gui(graphical user interface：图形用户界面)装置。这是集中且实时地显示系统各部的工作状况并向用户提示的装置。例如，在日本特开2002-170755号公报中，记载有包括多个处理单元的基板处理系统。在该系统中，显示布局画面，在布局画面中，这些处理单元以接近实际系统内的配置的状态下，被分配到二维矩阵内的各位置。并且，在该布局画面中，文本显示各处理单元中的基板的有无、或在存在基板的情况下其固有编号等信息。
2、当前，构成基板处理系统的处理单元的数量变多，并且其布局也变得复杂。因此，在上述现有技术那样的二维矩阵显示中，产生不能表示系统整体的状态的情况。另外，例如，在占用面积大的基板处理系统中，为了提高管理的便利性，有时在多处设置gui装置。但是，在统一的布局显示的情况下，画面上的配置与实际的系统配置不一定一致，因此操作者难以将它们相关联地掌握。
3、另外，例如，在这种基板处理系统中，相互不同的多种处理单元不限于按照处理顺序排列配置。即，为了提高生产率，一般进行将相同功能的处理单元上下层叠的、所谓的多层层叠。然而，在现有技术中，不能以视觉上容易判断的方式显示这样的结构。
4、因此，即使是近年来的具有复杂布局的基板处理系统，也需要能够在视觉上容易判断地显示各部分的状态的gui装
技术实现思路
1、本专利技术是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种即使是复杂且大规模的系统也能够容易理解地显示基板处理系统的各部分的状态的技术。
2、本专利技术的一个方式是用于具有多个暂时接受基板的接受部的基板处理系统的gui(图形用户界面)装置，其中，具备：信息获取部，获取各个所述接受部的状态信息；图像处理部，输出反映了所获取的所述状态信息的显示图像；以及显示部，显示所述显示图像。其中，所述图像处理部向所述显示部输出以下的图像作为所述显示图像：在将与各个所述接受部对应的对象配置于与从一个视点俯瞰的所述基板处理系统内的配置对应的位置的系统全景图中，针对至少一个所述对象附加了基于所述状态信息的视觉信息的图像。
3、其中，“接受部”是表示构成基板处理系统的各种结构中的、有可能接受基板并暂时留置的结构的概念。例如，相当于对所接受的基板执行规定的处理的处理部、搬运基板的搬运机构等对基板具有主动的作用的部件。此外，不作用于基板而仅为了暂时保管而接受基板的部件也包含在这里所说的接受部中。
4、在如上述那样构成的专利技术中，基板处理系统(以下，有时简称为“系统”)的整体作为与其俯瞰图相当的系统全景图而显示。因此，能够使画面上的配置与现实的系统中的各部的配置很好地一致。例如，除了在实际的系统中相邻配置的各部分之外，对于在空间上上下配置的部分、前后配置的部分等，也能够将它们相互区别，并且以模仿实际的配置的布局进行显示。
5、并且，在显示部上显示对表示接受部的各个对象赋予了基于从各接受部获取的状态信息的视觉信息的显示图像。因此，用户(操作者)通过概观显示图像，能够简单地掌握系统当前处于怎样的状态。即，根据本专利技术，能够容易理解地显示基板处理系统的各部的状态。
6、另外，本专利技术的另一个方式是一种基板处理系统，其中，具备：多个接受部，暂时接受基板；以及上述结构的gui装置。在这样构成的专利技术中，即使是大型且复杂的系统，也能够将该系统的状态容易理解地显示在显示部上。因此，能够有效地管理并运用系统。
7、专利技术效果
8、如上所述，根据本专利技术，在以相当于基板处理系统的俯瞰图的布局配置了表示多个接受部的对象的系统全景图中，显示作为视觉信息赋予了各接受部的状态的图像。因此，即使是大规模且复杂的系统，也能够容易理解地表示各部的状态。
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1.一种图形用户界面装置，用于基板处理系统，该基板处理系统具有多个暂时接受基板的接受部，其中，该图形用户界面装置具备：
2.根据权利要求1所述的图形用户界面装置，其中，
3.根据权利要求2所述的图形用户界面装置，其中，
4.根据权利要求1所述的图形用户界面装置，其中，
5.根据权利要求4所述的图形用户界面装置，其中，
6.根据权利要求1至5中任一项所述的图形用户界面装置，其中，
7.根据权利要求1～5中任一项所述的图形用户界面装置，其中，
8.根据权利要求1～5中任一项所述的图形用户界面装置，其中，
9.一种基板处理系统，其中，具备：
10.根据权利要求9所述的基板处理系统，其中，
【技术特征摘要】
1.一种图形用户界面装置，用于基板处理系统，该基板处理系统具有多个暂时接受基板的接受部，其中，该图形用户界面装置具备：
2.根据权利要求1所述的图形用户界面装置，其中，
3.根据权利要求2所述的图形用户界面装置，其中，
4.根据权利要求1所述的图形用户界面装置，其中，
5.根据权利要求4所述的图形用...
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