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驱动元件制造技术

技术编号:40666060 阅读:3 留言:0更新日期:2024-03-18 19:00
驱动元件(1)具备固定部(10)、振动板(20)和驱动部(31)。振动板(20)与固定部(10)连接。振动板(20)具有相对于转动轴(R10)转动的可动部(24)。驱动部(31)配置在振动板(20)。驱动部(31)驱动振动板(20)。振动板(20)包括具有正的线膨胀系数的第1材料和具有负的线膨胀系数的第2材料。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及使可动部相对于转动轴转动的驱动元件


技术介绍

1、已知有使可动部相对于转动轴转动的驱动元件。在这种驱动元件中,例如在可动部配置反射镜。由此,能够使入射到反射镜的光束随着反射镜的转动进行扫描。即,在该结构中,由驱动元件和反射镜构成光偏转器。

2、在以下的专利文献1中,记载了具备由硅基板构成的多个振动板和配置在振动板上的压电换能器的蜿蜒形振子。

3、在先技术文献

4、专利文献

5、专利文献1:国际公开第2009/130902号


技术实现思路

1、专利技术要解决的课题

2、在上述那样的驱动元件中,若驱动元件周围的环境温度变化,则振动板伸缩,振动板的谐振频率变化。由此,驱动元件整体的谐振频率变化,难以使可动部以适当的摆动角转动。

3、鉴于上述课题,本专利技术的目的在于,提供能够抑制由温度变化引起的谐振频率的变动的驱动元件。

4、用于解决课题的手段

5、本专利技术的主要方式涉及的驱动元件具备:固定部;振动板,与所述固定部连接,具有相对于转动轴转动的可动部;和驱动部,配置在所述振动板,对所述振动板进行驱动。所述振动板包含具有正的线膨胀系数的第1材料和具有负的线膨胀系数的第2材料。

6、根据本方式涉及的驱动元件,第1材料以及第2材料的线膨胀系数的符号相互相反,因而在驱动元件周围的环境温度变化了的情况下,由第1材料引起的振动板的谐振频率的变化和由第2材料引起的振动板的谐振频率的变化相互反向地作用于振动板。因此,通过该相反的作用,振动板整体的谐振频率的变动被抑制。由此,能够抑制由温度变化引起的驱动元件的谐振频率的变动。

7、专利技术效果

8、如以上那样,根据本专利技术,能够提供能抑制由温度变化引起的谐振频率的变动的驱动元件。

9、本专利技术的效果或意义将通过以下示出的实施方式的说明而变得更加清楚。不过,以下示出的实施方式终究只是将本专利技术实施化时的一个例示,本专利技术不受以下的实施方式中记载的内容的任何限制。

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【技术保护点】

1.一种驱动元件,具备:

2.根据权利要求1所述的驱动元件,其特征在于,

3.根据权利要求1或2所述的驱动元件,其特征在于,

4.根据权利要求1或2所述的驱动元件,其特征在于,

5.根据权利要求3或4所述的驱动元件,其特征在于,

6.根据权利要求1至5的任一项所述的驱动元件,其特征在于,

7.根据权利要求1至6的任一项所述的驱动元件,其特征在于,

8.根据权利要求1至6的任一项所述的驱动元件,其特征在于,

9.根据权利要求1至8的任一项所述的驱动元件,其特征在于,

10.根据权利要求1至9的任一项所述的驱动元件,其特征在于,

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种驱动元件,具备:

2.根据权利要求1所述的驱动元件,其特征在于,

3.根据权利要求1或2所述的驱动元件,其特征在于,

4.根据权利要求1或2所述的驱动元件,其特征在于,

5.根据权利要求3或4所述的驱动元件,其特征在于,

6.根据权利要求1至5的任一项...

【专利技术属性】
技术研发人员:冈本庄司
申请(专利权)人:松下知识产权经营株式会社
类型:发明
国别省市:

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