【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及坩埚制造，尤其涉及一种用于坩埚熔制机的除尘装置及坩埚熔制机。
技术介绍
1、目前，石英坩埚一般通过坩埚熔制机制造，具体地，坩埚熔制机包括熔炉、冷却板及电极，电极由两段结构组成，其中，位于下方的一段为石墨电极，位于上方的一段为铜电极，石墨电极能够穿过冷却板上的开口并伸入熔炉内，且电极能够沿竖直方向升降，从而在熔炉内通过熔融石英粉的方式熔制坩埚，熔融过程中会产生大量热量，从而使得熔炉内形成高温环境，而冷却板则能够隔绝熔炉内的热量，从而避免坩埚熔制机上位于熔炉外侧的基架等金属部件被高温氧化甚至融化。
2、但由于热量能够经石墨电极传导至铜电极上，因此，在熔融过程中，铜电极的表面会因高温而氧化，从而生成氧化物，生成的氧化物会从铜电极上掉落形成颗粒状的尘埃，生成的尘埃容易经冷却板的开口落入熔炉内，从而影响制造得到的坩埚的品质。
3、因此，上述问题亟待解决。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种用于坩埚熔制机的除尘装置及坩埚熔制机，以解决在熔融过程中，铜电极的表面会因高温而氧化，从而生成氧化物，生成的氧化物会从铜电极上掉落形成颗粒状的尘埃，生成的尘埃容易经冷却板的开口落入熔炉内，从而影响制造得到的坩埚的品质的问题。
2、为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
3、本专利技术一方面提供了一种用于坩埚熔制机的除尘装置，坩埚熔制机包括电极、冷却板和熔炉，所述冷却板设置于所述熔炉的上方，所述电极能够穿过所述冷却板上的开口并伸入所述
4、排风机构，包括第一排风罩和排风管道，所述排风管道串联于所述第一排风罩的下游侧，所述第一排风罩的上游端形成进风口，所述排风管道的下游端形成出风口；及
5、安装架，所述第一排风罩和所述排风管道固定连接于所述安装架，所述安装架安装于所述冷却板上，且所述进风口与所述开口的上方区域正对。
6、作为优选，所述用于坩埚熔制机的除尘装置还包括水冷机构，所述水冷机构被配置为对所述排风机构进行冷却。
7、作为优选，所述水冷机构包括第一水冷管道，所述第一水冷管道设置于所述第一排风罩的外周，所述第一水冷管道的两端分别设置有第一进水口和第一出水口。
8、作为优选，所述第一排风罩和所述排风管道位于所述安装架的顶部，所述水冷机构还包括水冷板，所述水冷板安装于所述安装架的底部，且所述水冷板位于所述排风管道的正下方。
9、作为优选，所述水冷板内形成有第二水冷管道，且所述水冷板上设置有第二进水口和第二出水口，所述第二水冷管道包括若干条通路，若干条所述通路沿所述水冷板的长度方向或宽度方向依次排列，且若干条所述通路串联，最上游的所述通路的上游端与所述第二进水口连通，最下游的所述通路的下游端与所述第二出水口连通。
10、作为优选，所述排风机构还包括：
11、第二排风罩，所述第二排风罩的下游端与外界连通，所述第二排风罩的位置固定；及
12、波纹管，串联于所述排风管道的下游端和所述第二排风罩的上游端之间。
13、作为优选，所述波纹管与所述排风管道的连接处呈密封设置，所述波纹管与所述第二排风罩的连接处呈密封设置。
14、作为优选，所述安装架上设置有第三进水口和第三出水口，所述安装架内部形成有第三水冷管道，所述第三水冷管道连通于所述第三进水口和所述第三出水口之间。
15、作为优选，所述排风管道的转角位置呈圆弧过渡。
16、本专利技术另一方面还提供了一种坩埚熔制机，包括如上述的用于坩埚熔制机的除尘装置。
17、本专利技术的有益效果：本专利技术中，由从电极上掉落的氧化物颗粒形成的尘埃能够被排风机构吸走，从而避免在熔融过程中，由电极上掉落的尘埃经冷却板的开口落入熔炉内，进而避免影响制造得到的坩埚的品质。而且，在本专利技术中，由于除尘装置直接安装在冷却板上，且进风口与开口的上方区域正对，因此，即便电极在熔融过程中沿竖直方向升降，但由于掉落的尘埃必须经过冷却板的开口才能够进入熔炉，因此，所有由电极上掉落的氧化物颗粒均能够被排风机构吸走，从而充分地避免尘埃掉入熔炉内。
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1.用于坩埚熔制机的除尘装置，坩埚熔制机包括电极(110)、冷却板(120)和熔炉(130)，所述冷却板(120)设置于所述熔炉(130)的上方，所述电极(110)能够穿过所述冷却板(120)上的开口(121)并伸入所述熔炉(130)内，且所述电极(110)能够沿竖直方向升降，其特征在于，所述用于坩埚熔制机的除尘装置包括：
2.根据权利要求1所述的用于坩埚熔制机的除尘装置，其特征在于，所述用于坩埚熔制机的除尘装置还包括水冷机构，所述水冷机构被配置为对所述排风机构(210)进行冷却。
3.根据权利要求2所述的用于坩埚熔制机的除尘装置，其特征在于，所述水冷机构包括第一水冷管道(231)，所述第一水冷管道(231)设置于所述第一排风罩(211)的外周，所述第一水冷管道(231)的两端分别设置有第一进水口(2311)和第一出水口(2312)。
4.根据权利要求3所述的用于坩埚熔制机的除尘装置，其特征在于，所述第一排风罩(211)和所述排风管道(212)位于所述安装架(220)的顶部，所述水冷机构还包括水冷板(232)，所述水冷板(232)安装于所述安装
5.根据权利要求4所述的用于坩埚熔制机的除尘装置，其特征在于，所述水冷板(232)内形成有第二水冷管道(2321)，且所述水冷板(232)上设置有第二进水口(2322)和第二出水口(2323)，所述第二水冷管道(2321)包括若干条通路(23211)，若干条所述通路(23211)沿所述水冷板(232)的长度方向或宽度方向依次排列，且若干条所述通路(23211)串联，最上游的所述通路(23211)的上游端与所述第二进水口(2322)连通，最下游的所述通路(23211)的下游端与所述第二出水口(2323)连通。
6.根据权利要求1所述的用于坩埚熔制机的除尘装置，其特征在于，所述排风机构(210)还包括：
7.根据权利要求6所述的用于坩埚熔制机的除尘装置，其特征在于，所述波纹管(213)与所述排风管道(212)的连接处呈密封设置，所述波纹管(213)与所述第二排风罩的连接处呈密封设置。
8.根据权利要求1所述的用于坩埚熔制机的除尘装置，其特征在于，所述安装架(220)上设置有第三进水口(221)和第三出水口(222)，所述安装架(220)内部形成有第三水冷管道，所述第三水冷管道连通于所述第三进水口(221)和所述第三出水口(222)之间。
9.根据权利要求1所述的用于坩埚熔制机的除尘装置，其特征在于，所述排风管道(212)的转角位置呈圆弧过渡。
10.坩埚熔制机，其特征在于，包括如权利要求1-9任意一项所述的用于坩埚熔制机的除尘装置。
...【技术特征摘要】
1.用于坩埚熔制机的除尘装置，坩埚熔制机包括电极(110)、冷却板(120)和熔炉(130)，所述冷却板(120)设置于所述熔炉(130)的上方，所述电极(110)能够穿过所述冷却板(120)上的开口(121)并伸入所述熔炉(130)内，且所述电极(110)能够沿竖直方向升降，其特征在于，所述用于坩埚熔制机的除尘装置包括：
2.根据权利要求1所述的用于坩埚熔制机的除尘装置，其特征在于，所述用于坩埚熔制机的除尘装置还包括水冷机构，所述水冷机构被配置为对所述排风机构(210)进行冷却。
3.根据权利要求2所述的用于坩埚熔制机的除尘装置，其特征在于，所述水冷机构包括第一水冷管道(231)，所述第一水冷管道(231)设置于所述第一排风罩(211)的外周，所述第一水冷管道(231)的两端分别设置有第一进水口(2311)和第一出水口(2312)。
4.根据权利要求3所述的用于坩埚熔制机的除尘装置，其特征在于，所述第一排风罩(211)和所述排风管道(212)位于所述安装架(220)的顶部，所述水冷机构还包括水冷板(232)，所述水冷板(232)安装于所述安装架(220)的底部，且所述水冷板(232)位于所述排风管道(212)的正下方。
5.根据权利要求4所述的用于坩埚熔制机的除尘装置，其特征在于，所述水冷板(232)内形成有第二水冷管道(2321...
【专利技术属性】
技术研发人员：林奇辉，毛炳全，李连仲，王洋洋，陶飞，方志远，
申请(专利权)人：浙江美晶新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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