一种室温MEMES氢气传感器的制备方法及其应用技术

本发明专利技术属于氢气气体检测领域，提供了一种室温MEMES氢气传感器的制备方法及其应用，首先将复合敏感材料和氧化铝分散液、乙醇、异丙醇混合球磨得到所需的Pt修饰Nb掺杂T iO2浆料，接着将所述浆料滴涂至带有Pt电极的MEMES气体传感器基底上，在室温下自然干燥后使用金丝球焊机打线封装后得到电阻型MEMES氢气传感器；本发明专利技术通过Pt修饰和Nb掺杂可提升T iO2对氢气的灵敏度和选择性，室温工作的Pt修饰Nb掺杂T iO2半导体气敏材料与MEMES器件的结合，可以利用MEMES器件的小型化，易集成，功耗小，稳定性好等特点，大幅提升T iO2气敏材料的长期稳定性和工作时的一致性，对进一步推进半导体气敏器件的发展具有重要的实际应用价值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于氢气气体检测，具体地说是一种室温memes氢气传感器的制备方法及其应用。

技术介绍

1、memes气体传感器是一种体积小，功耗小，易集成的传感器器件，目前多使用zno、sno2、t io2、wo3等半导体氧化物材料作为敏感材料；

2、在锂电池中电池失效前期会产生氢气，导致热失控现象进而引发火灾，这时若能在锂电池热失控发展初期迅速检测出氢气并及时报警，就可以有效防范锂电池的安全事故。

3、然而，目前的memes气体传感器大多均需要在高温下工作，应用于锂电池中有一定的安全风险，为此，本领域技术人员提出了一种室温memes氢气传感器的制备方法及其应用来解决
技术介绍
提出的问题。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种室温memes氢气传感器的制备方法及其应用，以解决现有技术中存在的问题。

2、一种室温memes氢气传感器的制备方法及其应用，包括以下步骤：

3、s1:将复合敏感材料和氧化铝分散液、乙醇、异丙醇混合球磨得到所需的pt修饰nb本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种室温MEMES氢气传感器的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.如权利要求1所述一种室温MEMES氢气传感器的制备方法，其特征在于：在步骤S1中，所述复合敏感材料的制备方法为采用水热法制备不同浓度的Nb掺杂TiO2纳米片粉体，其包括以下步骤：

3.如权利要求2所述一种室温MEMES氢气传感器的制备方法及其应用，其特征在于：在步骤S11中，所述氢氟酸的量最佳为8ml，Nb掺杂量最佳为0.4％。

4.如权利要求1所述一种室温MEMES氢气传感器的制备方法，其特征在于：所述Pt修饰Nb掺杂TiO2浆料的制备方法采用的是光沉积法，其制备方法如下：<...

【技术特征摘要】

1.一种室温memes氢气传感器的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.如权利要求1所述一种室温memes氢气传感器的制备方法，其特征在于：在步骤s1中，所述复合敏感材料的制备方法为采用水热法制备不同浓度的nb掺杂tio2纳米片粉体，其包括以下步骤：

3.如权利要求2所述一种室温memes氢气传感器的制备方法及其应用，其特征在于：在步骤s11中，所述氢氟酸的量最佳为8ml，nb掺杂量最佳为0.4％。

4.如权利要求1所述一种室温memes氢气传感器的制备方法，其特征在于：所述pt修饰nb掺杂tio2浆料的制备方法采用的是光沉积法，...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏晓红，张梦晗，鲍钰文，高云，
申请(专利权)人：湖北大学，
类型：发明
国别省市：