【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及惯性测量装置。
技术介绍
1、已知有具有加速度传感器、角速度传感器等多个惯性传感器的惯性测量装置。例如，专利文献1中公开了具备由三轴的加速度传感器和三轴的角速度传感器构成的六轴运动传感器的传感器单元。根据该文献，加速度传感器是通过mems技术对硅基板进行加工而成的静电电容式的加速度传感器，与角速度传感器一同被安装于电路基板，并被收纳于金属制的壳体。另外，加速度传感器为表面安装型的部件，通过软钎焊而表面安装于基板。
2、根据该文献，在铝制的内壳上形成有凹部，安装于基板的第一面的加速度传感器收纳于由基板及凹部形成的空间中。此外，该空间中填充有填充部件。另外，在基板的与第一面相反的第二面侧也安装有电子部件，但在第二面侧未设置填充部件。由此，降低了来自外部的噪声振动的影响，提高了检测精度的稳定性。
3、专利文献1：日本特开2017-20829号公报
4、然而，专利文献1的传感器单元存在改良的余地。详细而言，缘于填充部件仅位于基板的第一面侧，因此应力有可能变得不均匀。例如，当水分从基板的第二面侧进入而使填充部件吸湿时，担心填充部件会膨胀。此时，填充部件的膨胀产生于基板的第二面侧而非背衬于刚性高的内壳的第一面侧，使基板以向第二面侧凸出的方式挠曲。担心该挠曲会对加速度传感器的检测精度带来影响。
5、也就是说，要求有一种耐湿性优异、检测精度良好的惯性测量装置。
技术实现思路
1、本申请涉及的一方面的惯性测量装置具备：具有刚性的第一壳体和
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种惯性测量装置，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的惯性测量装置，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其特征在于，
6.根据权利要求3或5所述的惯性测量装置，其特征在于，
7.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其特征在于，
8.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其特征在于，
9.根据权利要求8所述的惯性测量装置，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种惯性测量装置，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的惯性测量装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的惯性测量装置，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的惯性测量...
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