System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种SiC/AlN复相微波衰减陶瓷、制备方法与应用技术_技高网

一种SiC/AlN复相微波衰减陶瓷、制备方法与应用技术

技术编号:40650164 阅读:8 留言:0更新日期:2024-03-13 21:28
本发明专利技术涉及微波衰减材料技术领域,具体涉及一种SiC/AlN复相微波衰减陶瓷、制备方法与应用,具体是以高导热、高绝缘AlN为基体,以电导率为10<supgt;–5</supgt;–10<supgt;1</supgt; S·cm<supgt;−1</supgt;的β‑SiC和电导率为10<supgt;–10</supgt;–10<supgt;–9</supgt; S·cm<supgt;−1</supgt;的α‑SiC共同作为衰减剂,将三者混料后采用热压烧结制备的SiC/AlN复相微波衰减陶瓷。本发明专利技术通过合理调节混合粉料中β‑SiC和α‑SiC的添加比例,实现了复相陶瓷电磁参数的调控与优化,同时对材料厚度进行控制,使其在不同的频率下获得较强的微波吸收能力,表现出了强吸波且吸波频率可调特性,满足AlN基微波衰减陶瓷对不同频段电磁波的有效吸收需求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微波衰减材料领域,具体涉及一种sic/aln复相微波衰减陶瓷、制备方法与应用。


技术介绍

1、微波衰减材料主要应用于行波管、微波管、速调管等微波电真空器件,其在工作过程中通过吸收特定频段的电磁波,以达到抑制边带振荡,拓宽频带,提高电磁匹配等效果,保证真空电子器件的工作稳定性。由于微波衰减材料在吸波过程中会产生大量的热量,因此,除出色的吸波能力外,其还需兼具优异的导热能力将热量及时传导出去,以避免因自身温度过高而影响其性能稳定性。

2、以高导热aln为基体、导电/半导相材料为第二相衰减剂所制备的aln基微波衰减陶瓷目前在大功率电真空器件中应用潜力最佳。sic作为一种宽禁带半导体,其热导率高,高温性能稳定,在吸波领域展现出广阔的应用前景,是aln基微波衰减陶瓷中一种常见的衰减剂。但sic总体上电导率较低,介电损耗弱,导致sic/aln复相微波衰减陶瓷吸波性能的提升有限。此外,sic/aln复相陶瓷的介电损耗主要来源于sic与aln固溶所引起的驰豫极化损耗,由于极化过程较为复杂且难以控制,因此想实现sic/aln复相陶瓷吸波频率的可控性难度较大,这也限制了其在不同工作频段的应用。

3、因此,本领域技术人员亟需提供一种sic/aln复相微波衰减陶瓷、制备方法与应用,不仅强吸波且吸波频率可调,实现sic/aln复相陶瓷电磁参数的调控和优化,从而在增强微波吸收能力的同时有效的调节吸波频率。


技术实现思路

1、本专利技术的目的是提供一种sic/aln复相微波衰减陶瓷、制备方法与应用,不仅强吸波且吸波频率可调,实现sic/aln复相陶瓷电磁参数的调控和优化,从而在增强微波吸收能力的同时有效的调节吸波频率。

2、本专利技术提供了一种sic/aln复相微波衰减陶瓷, aln为衰减陶瓷基体,以电导率为10–5–101s·cm−1的β-sic和电导率为10–10–10–9s·cm−1的α-sic共同作为衰减剂,y2o3和al2o3为复合烧结助剂;其中,sic/aln复相微波衰减陶瓷包含以下质量百分数的各组分: 50–90wt%的aln, 3-10wt%的β-sic, 5–40 wt%的α-sic,以及1–6 wt%的y2o3和1–3 wt%的al2o3。

3、优选的,所述复合烧结助剂中y2o3与al2o3的质量比为1:1–3:1。

4、优选的,所述aln的粒径为1–3 μm,β-sic和α-sic的粒径均为0.5–1 μm。

5、本专利技术还提供一种sic/aln复相微波衰减陶瓷的制备方法,包括以下步骤:

6、步骤a、 分别称取3-10 wt% β-sic粉、5–40 wt% α-sic粉、50–90 wt% aln粉以及1–6 wt% y2o3粉和1–3 wt% al2o3粉,以无水乙醇为球磨介质,以避免aln混料过程中发生水化,将混合料在行星球磨机上球磨预设时间进行混料,得到均匀的浆料;

7、步骤b、将步骤a中所得的浆料烘干后,研磨成细粉,过筛后得到均匀的复合粉料;

8、步骤c、将步骤b中所得的复合粉料装入内壁涂有氮化硼浆料的石墨模具,通过压力机预压成型;

9、步骤d、将步骤c中装好复合粉料的石墨模具放置于热压烧结炉内,通入流动的氮气,以氮气作为保护气氛避免aln在高温下发生氧化,预加压力5 mpa后开始以15–25 °/min加热升温,达到预设烧结温度后进行保温,保温开始时将压力升至设定值,在保温时间内保持压力不变,保温1–2 h后,卸压并断电,随炉冷却至室温后取出石墨模具并脱模,即可得到sic/aln复相微波衰减陶瓷。

10、优选的,所述步骤a中 分别称取9wt% β-sic粉、9 wt% α-sic粉、76 wt% aln粉以及4 wt% y2o3粉和2 wt% al2o3粉。

11、优选的,所述步骤a中,混合料在行星球磨机上以160–200 r/min的转速,球磨时间5–7 h。

12、优选的,所述步骤b中,将浆料在60 ℃–120 ℃空气中烘干12–24 h, 研磨成细粉,经过60目筛后得到均匀的复合粉料。

13、优选的,所述步骤c中,压力机预压成型的预压压力为5 mpa。

14、优选的,所述步骤d中,预设烧结温度达到1850–1950 ℃后进行保温,保温开始时将压力升至设定值25–30 mpa。

15、本专利技术还提供上述sic/aln复相微波衰减陶瓷或者用上述制备方法制备的sic/aln复相微波衰减陶瓷在微波衰减材料上的应用。

16、本专利技术提供的一种sic/aln复相微波衰减陶瓷、制备方法与应用,具有以下优点:

17、1、本专利技术制备的微波衰减陶瓷采用高导热aln作为基体,电导率高的β-sic(10–5~101s·cm−1)和电导率低的的α-sic(10–10~10–9s·cm−1)共同添加作为复合衰减剂,使sic/aln复相陶瓷获得高的电导损耗,同时aln与sic烧结过程中形成固溶体,进一步增强了复相陶瓷的驰豫极化损耗,最终赋予复相陶瓷优异的电磁波损耗能力,在x波段其介电损耗均≧0.1;

18、2、本专利技术通过对β-sic和α-sic含量进行合理调控,在增强复相陶瓷介电损耗的同时,实现了陶瓷电导率的有效调控,进而实现了其最小反射损耗频率的有效调节。所制备的不同β-sic和α-sic含量的sic/aln复相微波衰减陶瓷在厚度为4.5 mm时的最小反射损耗可达–36 db (11.75 ghz)和–19 db (10.60 ghz),在厚度为5 mm时的最小反射损耗可达–25db (10.42ghz)和–20 db (9.46 ghz)。

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【技术保护点】

1.一种SiC/AlN复相微波衰减陶瓷,其特征在于,AlN为衰减陶瓷基体,以电导率为10–5–101 S·cm−1的β-SiC和电导率为10–10–10–9 S·cm−1的α-SiC共同作为衰减剂,Y2O3和Al2O3为复合烧结助剂;其中,SiC/AlN复相微波衰减陶瓷包含以下质量百分数的各组分: 50–90wt%的AlN, 3-10 wt%的β-SiC, 5–40 wt%的α-SiC,以及1–6 wt%的Y2O3和1–3 wt%的Al2O3。

2.根据权利要求1所述的SiC/AlN复相微波衰减陶瓷,其特征在于,所述复合烧结助剂中Y2O3与Al2O3的质量比为1:1–3:1。

3.根据权利要求1所述的SiC/AlN复相微波衰减陶瓷,其特征在于,所述AlN的粒径为1–3 μm,β-SiC和α-SiC的粒径均为0.5–1 μm。

4.一种SiC/AlN复相微波衰减陶瓷的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

5.根据权利要求4所述的SiC/AlN复相微波衰减陶瓷的制备方法,其特征在于,所述步骤a中分别称取9wt% β-SiC粉、9 wt% α-SiC粉、76 wt% AlN粉以及4 wt% Y2O3粉和2 wt%Al2O3粉。

6.根据权利要求4所述的SiC/AlN复相微波衰减陶瓷的制备方法,其特征在于,所述步骤a中,混合料在行星球磨机上以160–200 r/min的转速,球磨时间5–7 h。

7.根据权利要求4所述的SiC/AlN复相微波衰减陶瓷的制备方法,其特征在于,所述步骤b中,将浆料在60 ℃–120 ℃空气中烘干12–24 h, 研磨成细粉,经过60目筛后得到均匀的复合粉料。

8.根据权利要求4所述的SiC/AlN复相微波衰减陶瓷的制备方法,其特征在于,所述步骤c中,压力机预压成型的预压压力为5 MPa。

9.根据权利要求4所述的SiC/AlN复相微波衰减陶瓷的制备方法,其特征在于,所述步骤d中,预设烧结温度达到1850–1950 ℃后进行保温,保温开始时将压力升至设定值25–30MPa。

10.一种根据权利要求1-3任意一项的SiC/AlN复相微波衰减陶瓷或者权利要求4-9任意一项的制备方法制备的SiC/AlN复相微波衰减陶瓷在微波衰减材料上的应用。

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【技术特征摘要】

1.一种sic/aln复相微波衰减陶瓷,其特征在于,aln为衰减陶瓷基体,以电导率为10–5–101 s·cm−1的β-sic和电导率为10–10–10–9 s·cm−1的α-sic共同作为衰减剂,y2o3和al2o3为复合烧结助剂;其中,sic/aln复相微波衰减陶瓷包含以下质量百分数的各组分: 50–90wt%的aln, 3-10 wt%的β-sic, 5–40 wt%的α-sic,以及1–6 wt%的y2o3和1–3 wt%的al2o3。

2.根据权利要求1所述的sic/aln复相微波衰减陶瓷,其特征在于,所述复合烧结助剂中y2o3与al2o3的质量比为1:1–3:1。

3.根据权利要求1所述的sic/aln复相微波衰减陶瓷,其特征在于,所述aln的粒径为1–3 μm,β-sic和α-sic的粒径均为0.5–1 μm。

4.一种sic/aln复相微波衰减陶瓷的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

5.根据权利要求4所述的sic/aln复相微波衰减陶瓷的制备方法,其特征在于,所述步骤a中分别称取9wt% β-sic粉、9 wt% α...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨建蒋森川方厦梁钰强潘丽梅李晓云汪洋李权
申请(专利权)人:南京工业大学
类型:发明
国别省市:

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