【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于低温泵，尤其涉及一种低温面均匀吸附的低温泵。
技术介绍
1、低温泵是获得清洁真空的极限压力低、抽气速率大的真空泵，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
2、现有技术中，低温泵的各级低温面之间对气体量吸附很难均匀，尤其是大量工作气体会被距离防辐射挡板最近的顶端低温面吸附，导致一旦顶端低温面吸附量接近饱和时，低温泵抽速会出现明显下降；同时由前级防辐射屏蔽壁面和后级防辐射屏蔽壁面之间的空隙进入的气体存在气体量小的特点，加上气体导流挡板和气体导流斜板的作用，气体流动方向具有定向性，现有技术往往采用多级式圆盘结构的低温面，这又会导致单位面积对气体吸附效率低，低温面面积过大给制冷机造成较大制冷负担，容易造成低温泵效率降低或出现安全隐患。因此现有技术中低温泵还存在较大的改进空间。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种低温面均匀吸附的低温泵，旨在解决上述
技术介绍
中所提出的技术问题。
2、本专利技术采用了如下的技术方案。
3、一种低温面均匀吸附的低温泵，包括泵体、连接泵体的制冷机和设置在所述泵体内部的低温阵列，所述泵体上具有主空气进口，环绕所述主空气进口设置前级防辐射屏蔽筒，所述制冷机的冷头和冷缸设置在所述泵体内部并伸入所述前级防辐射屏蔽筒内，所述低温阵列设置在所述冷头上，包括一个朝向所述冷缸设置并罩设在所述冷缸外侧的低温面箱和一个连接所述冷头的低温面组，所
4、优选的，所述制冷机包括与压缩机依次连接的一级冷缸、一级冷头、二级冷缸和二级冷头，所述低温阵列设置在所述二级冷头上，包括一个朝向所述二级冷缸设置并罩设在所述二级冷缸外侧的低温面箱和一个连接所述二级冷头的低温面组，所述后级防辐射屏蔽筒设置在所述一级冷头和二级冷缸之间，使得低温阵列处于所述前级防辐射屏蔽筒和后级防辐射屏蔽筒构成的空间内。
5、优选的，所述低温面箱为矩形箱体，低温面箱朝向二级冷缸的一侧开放设置，所述低温面箱的箱体上布置多个通气孔。
6、优选的，每个所述低温面板包括圆形板和与所述圆形板同轴设置的圆环，所述同心圆环与所述圆形板间具有环形间隙，环形间隙内间隔设定距离布置连接件用于连接所述同心圆环和圆形板。
7、优选的，所述低温面板最外层的圆环，其环面倾斜向下设置。
8、优选的，所述低温面箱和低温面板的内、外表面均设置有吸附层，所述吸附层的材质为活性炭、分子筛或多孔陶瓷。
9、优选的，所述主空气进口上设置防辐射挡板，所述防辐射挡板为具有环形间隙的多层波纹圆板，每层波纹圆板的外板面倾斜向下设置，波纹圆板之间通过支架形成固定连接。
10、优选的，所述后级防辐射屏蔽筒和前级防辐射屏蔽筒的末端交错处，设置连接件以固定后级防辐射屏蔽筒和前级防辐射屏蔽筒的筒壁之间形成的间隙，所述后级防辐射屏蔽筒和前级防辐射屏蔽筒的末端分别连接气体导流斜板，形成次空气进口的出风通道。
11、优选的，所述后级防辐射屏蔽筒和前级防辐射屏蔽筒均使用绝热材料制备。
12、优选的，所述后级防辐射屏蔽筒内还设置有导流挡板，所述导流挡板设置在次空气进口的出风路径上，所述导流挡板的一端与所述后级防辐射屏蔽筒的内筒壁固定，一端朝向所述低温阵列方向延伸。
13、优选的，所述导流挡板与电机电连接，电机控制所述导流挡板的倾斜角度，从而引导所述次空气进口的出风朝向低温面箱和/或低温阵列流动。
14、本专利技术的有益效果在于：
15、1、本专利技术低温泵设置了前后两级防辐射屏蔽壁面，其中前级屏蔽筒的壁面与后级屏蔽筒的壁面之间具有空隙并设置气体引流板，可以有效将进入泵体内部分气体入射到低温面箱，低温面箱作为次于低温阵列的第二级低温面，能避免所有气体只透过防辐射挡板进入泵体，导致低温阵列过早达到饱和，而其余低温面相比靠近主空气进口的低温面组吸附量饱和度较小的情况发生。
16、2、在低温面板的结构设计上增加了多层圆环涉及，圆环与圆盘间镂空的气体导流区域，能保证气体分子透过防辐射挡板区域后碰撞到顶端低温面时，有部分气体从气体导流区域直接渗透到下级低温面，如此逐级渗透到底端低温面，起到有效减轻顶端低温面的气体吸附量的负载压力的效果，改善了各级低温面吸附量不均匀的问题，避免低温泵抽速在短时间内出现明显下降的现象。
17、3、通过在低温面箱的表面开设孔洞，有助于增大气流与低温面箱两侧壁面接触的几率，提高冷传导效率。
18、4、通过将第二级低温面设置为矩形筒状结构并安装在二级冷头的中底端，使得从次空气进口进入的气体直接与筒体的四周壁面碰撞后被吸附，由于矩形筒状低温面的面积相比占据同等区域的圆盘结构的低温面小很多，能有效减轻制冷机的负担。
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1.一种低温面均匀吸附的低温泵，包括带泵壳(10)的泵体、连接泵体的制冷机(20)和设置在所述泵体内部的低温阵列，所述泵壳(10)上具有主空气进口(11)，其特征在于，环绕所述主空气进口(11)设置前级防辐射屏蔽筒(51)，所述制冷机(20)的冷头和冷缸设置在所述泵体内部并伸入所述前级防辐射屏蔽筒(51)内，所述低温阵列设置在所述冷头上，包括一个朝向所述冷缸设置并罩设在所述冷缸外侧的低温面箱(40)和一个连接所述冷头的低温面组(30)，所述低温面组(30)由若干低温面板(31)间隔设定距离固定在所述冷头上构成；所述冷缸还连接一个朝向所述主空气进口(11)设置的后级防辐射屏蔽筒(52)，所述后级防辐射屏蔽筒(52)的直径大于所述前级防辐射屏蔽筒(51)的直径，所述后级防辐射屏蔽筒(52)和前级防辐射屏蔽筒(51)的末端交错形成泵体内的次空气进口(12)，所述次空气进口(12)连接气体导流斜板(60)，所述气体导流斜板(60)的出风口朝向所述低温阵列设置。
2.如权利要求1所述的一种低温面均匀吸附的低温泵，其特征在于，所述制冷机(20)包括与压缩机依次连接的一级冷缸(21
3.如权利要求2所述的一种低温面均匀吸附的低温泵，其特征在于，所述低温面箱(40)为矩形箱体，低温面箱(40)朝向二级冷缸(23)的一侧开放设置，所述低温面箱(40)的箱体上布置多个通气孔(41)。
4.如权利要求2所述的一种低温面均匀吸附的低温泵，其特征在于，每个所述低温面板(31)包括圆形板(311)和与所述圆形板(311)同轴设置的圆环(312)，所述同心圆环(312)与所述圆形板(311)间具有环形间隙，环形间隙内间隔设定距离布置连接件(313)用于连接所述同心圆环(312)和圆形板(311)。
5.如权利要求4所述的一种低温面均匀吸附的低温泵，其特征在于，所述低温面板(31)最外层的圆环(312)，其环面倾斜向下设置。
6.如权利要求1-5任一项所述的一种低温面均匀吸附的低温泵，其特征在于，所述低温面箱(40)和低温面板(31)的内、外表面均设置有吸附层，所述吸附层的材质为活性炭、分子筛或多孔陶瓷。
7.如权利要求1所述的一种低温面均匀吸附的低温泵，其特征在于，所述主空气进口(11)上设置防辐射挡板(70)，所述防辐射挡板(70)为具有环形间隙的多层波纹圆板(61)，每层波纹圆板(61)的外板面倾斜向下设置，波纹圆板(61)之间通过支架(62)形成固定连接。
8.如权利要求1所述的一种低温面均匀吸附的低温泵，其特征在于，所述后级防辐射屏蔽筒(52)和前级防辐射屏蔽筒(51)的末端交错处，设置连接件(313)以固定后级防辐射屏蔽筒(52)和前级防辐射屏蔽筒(51)的筒壁之间形成的间隙，所述后级防辐射屏蔽筒(52)和前级防辐射屏蔽筒(51)的末端分别连接气体导流斜板(60)，形成次空气进口(12)的出风通道；所述后级防辐射屏蔽筒(52)和前级防辐射屏蔽筒(51)均使用绝热材料制备。
9.如权利要求8所述的一种低温面均匀吸附的低温泵，其特征在于，所述后级防辐射屏蔽筒(52)内还设置有导流挡板(80)，所述导流挡板(80)设置在次空气进口(12)的出风路径上，所述导流挡板(80)的一端与所述后级防辐射屏蔽筒(52)的内筒壁固定，一端朝向所述低温阵列方向延伸。
10.如权利要求9所述的一种低温面均匀吸附的低温泵，其特征在于，所述导流挡板(80)与电机电连接，电机控制所述导流挡板(80)的倾斜角度，从而引导所述次空气进口(12)的出风朝向低温面箱(40)和/或低温面组(30)流动。
...【技术特征摘要】
1.一种低温面均匀吸附的低温泵，包括带泵壳(10)的泵体、连接泵体的制冷机(20)和设置在所述泵体内部的低温阵列，所述泵壳(10)上具有主空气进口(11)，其特征在于，环绕所述主空气进口(11)设置前级防辐射屏蔽筒(51)，所述制冷机(20)的冷头和冷缸设置在所述泵体内部并伸入所述前级防辐射屏蔽筒(51)内，所述低温阵列设置在所述冷头上，包括一个朝向所述冷缸设置并罩设在所述冷缸外侧的低温面箱(40)和一个连接所述冷头的低温面组(30)，所述低温面组(30)由若干低温面板(31)间隔设定距离固定在所述冷头上构成；所述冷缸还连接一个朝向所述主空气进口(11)设置的后级防辐射屏蔽筒(52)，所述后级防辐射屏蔽筒(52)的直径大于所述前级防辐射屏蔽筒(51)的直径，所述后级防辐射屏蔽筒(52)和前级防辐射屏蔽筒(51)的末端交错形成泵体内的次空气进口(12)，所述次空气进口(12)连接气体导流斜板(60)，所述气体导流斜板(60)的出风口朝向所述低温阵列设置。
2.如权利要求1所述的一种低温面均匀吸附的低温泵，其特征在于，所述制冷机(20)包括与压缩机依次连接的一级冷缸(21)、一级冷头(22)、二级冷缸(23)和二级冷头(24)，所述低温阵列设置在所述二级冷头(24)上，包括一个朝向所述二级冷缸(23)设置并罩设在所述二级冷缸(23)外侧的低温面箱(40)和一个连接所述二级冷头(24)的低温面组(30)，所述后级防辐射屏蔽筒(52)设置在所述一级冷头(22)和二级冷缸(23)之间，使得低温阵列处于所述前级防辐射屏蔽筒(51)和后级防辐射屏蔽筒(52)构成的空间内。
3.如权利要求2所述的一种低温面均匀吸附的低温泵，其特征在于，所述低温面箱(40)为矩形箱体，低温面箱(40)朝向二级冷缸(23)的一侧开放设置，所述低温面箱(40)的箱体上布置多个通气孔(41)。
4.如权利要求2所述的一种低温面均匀吸附的低温泵，其特征在于，每个所述低温面板(31)包括圆形板(311)和与所述圆形板(311)同轴...
【专利技术属性】
技术研发人员：郎嘉琪，程立权，孔晓鸣，商允恒，高启明，许敬德，
申请(专利权)人：合肥通用机械研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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