【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光学薄膜材料生产,尤其涉及一种氧化锆蒸发料及其制备方法。
技术介绍
1、氧化锆(zro2)拥有较高的折射率,在可见光范围内吸收率低,具有良好的热稳定性和机械性能,且制成的薄膜膜层牢固致密稳定,广泛用于制备各类眼镜行业的镜片镀膜中;然而,氧化锆在不同温度下会发生多种相变,这些相变会导致很大的体积变化效应,如当加热温度大于1170℃时,氧化锆晶型由单斜晶变为四方晶,体积收缩7~9%,加上氧化锆材料导热系数小,抗热冲击性能差,导致蒸发料在蒸发镀膜过程中容易开裂,影响产品品质。
2、中国专利申请201810637368.7公开了一种稳定氧化锆镀膜靶材及其制备方法采用氧化锆和氧化钇(稳定剂)粉料为原料,其重量份配比:300目氧化锆100份,1400目氧化锆90~110份,稳定剂30~50份,所述稳定剂为氧化钇或氧化铈,或者,采用复合稳定剂,并将上述原料混合均匀,获得混合氧化物;在混合氧化物中,加入粘合剂,其重量份数配比为:混合氧化物100份,粘合剂0.5份~5份,加水适量,调和均匀,获得粘合配料;将前道获得的粘合配料在烘箱中
...【技术保护点】
1.一种氧化锆蒸发料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的氧化锆蒸发料的制备方法,其特征在于,所述步骤1具体为:将氧化锆粉末和纯水按照20~50:1的比例称重,随后将纯水采用雾化喷雾的方式加入处于旋转搅拌机中的氧化锆粉末中进行混合均质、喷雾造粒、过筛,制得粉体一。
3.根据权利要求1所述的氧化锆蒸发料的制备方法,其特征在于,所述步骤2具体为:将步骤1制得的粉体一装入烧结炉中,在空气常压条件下进行一次烧结,且一次烧结过程中先以10~30℃/min的升温速率升温至1300~1600℃,随后保温3~10h,保温完成后以10~
...【技术特征摘要】
1.一种氧化锆蒸发料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的氧化锆蒸发料的制备方法,其特征在于,所述步骤1具体为:将氧化锆粉末和纯水按照20~50:1的比例称重,随后将纯水采用雾化喷雾的方式加入处于旋转搅拌机中的氧化锆粉末中进行混合均质、喷雾造粒、过筛,制得粉体一。
3.根据权利要求1所述的氧化锆蒸发料的制备方法,其特征在于,所述步骤2具体为:将步骤1制得的粉体一装入烧结炉中,在空气常压条件下进行一次烧结,且一次烧结过程中先以10~30℃/min的升温速率升温至1300~1600℃,随后保温3~10h,保温完成后以10~30℃/min的降温速率冷却至室温,冷却后过筛并将过筛后的粉体一分别球磨3~8h、15~30h,制得粒径为15~35um的粉体二,粒径为2~8um的粉体三。
4.根据权利要求1所述的氧化锆蒸发料的制备方法,其特征在于,步骤3中的压制生坯过程具体为:将步骤2制得的粉体二...
【专利技术属性】
技术研发人员:罗洋,陈鹏舟,余芳,刘文杰,
申请(专利权)人:先导薄膜材料广东有限公司,
类型:发明
国别省市:
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