【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及用于确定编码器-解码器网络的操作和用于使用编码器-解码器网络对准失真图像的方法，特别是用于使用光刻设备的器件制造。本公开还涉及用于增加诸如编码器-解码器网络的机器学习技术的图像训练集的方法。
技术介绍
1、光刻设备是将所需图案施加到衬底上，通常施加到衬底的目标部分上的机器。光刻设备可用于例如集成电路(ic)的制造中。在这种情况下，图案形成装置(或者称为掩模或掩模版)可用于产生要在ic的单个层上形成的电路图案。可将此图案转印到衬底(例如，硅晶片)上的目标部分(例如，包括管芯的一部分、一个管芯或若干管芯)上。图案的转印通常经由成像到设置在衬底上的辐射敏感材料(抗蚀剂)层上。通常，单个衬底将包含连续图案化的相邻目标部分的网络。
2、大多数半导体器件需要形成多个图案层并将其转移到衬底上。为了使器件正常工作，通常对边缘定位中的可容忍误差存在限制、用边缘放置误差或epe来量化。epe可能由于连续层的相对定位中的误差(称为套刻)或由于特征的尺寸(特别是关键尺寸或cd)中的误差而产生。随着光刻技术中不断期望减小(收缩)可以被形成的特征的尺寸，对epe的限制变得更加严格。
3、套刻可由光刻工艺中的各种原因引起，例如曝光期间衬底定位中的误差和投影图像中的像差。也可在用于将图案转印到衬底上的工艺步骤(诸如蚀刻)期间引起套刻。一些这样的工艺步骤在衬底内产生应力，应力导致衬底的局部或整体变形。在衬底上形成三维结构(诸如最近开发的存储器类型和mems所需要的)也可导致衬底的显著变形。cd变化也可以来源于各种原因，包括剂量或
技术实现思路
1、本公开旨在实现更精确的计量，例如，用于光刻器件制造工艺。
2、根据一个实施例，提供了一种其中存储有计算机程序的非暂态计算机可读介质，其中计算机程序包括代码，代码在由计算机系统执行时指示计算机系统执行用于生成合成失真图像的方法，方法包括：
3、获取包括多个失真图像的输入集；
4、使用模型确定输入集中的失真图像的失真模式；
5、生成失真模式的多个不同组合；
6、对于失真模式的多个组合中的每一个组合，根据组合生成合成失真图像；以及
7、将每个合成失真图像包括在输出集中。
8、根据一个实施例，提供了一种用于生成合成失真图像的计算机实现的方法，该方法包括：
9、获取包括多个失真图像的输入集；
10、使用模型确定输入集中的失真图像的失真模式；
11、生成失真模式的多个不同组合；
12、对于失真模式的多个组合中的每一个组合，根据组合生成合成失真图像；以及
13、将每个合成失真图像包括在输出集中。
14、根据一个实施例，提供了一种包括代码的计算机程序，当由计算机系统执行该代码时，该代码指示该计算机系统执行上述方法中的任何一种方法。
15、根据一个实施例，提供了一种其中存储有任何上述计算机程序的非暂态计算机可读介质。
16、根据一个实施例，提供了一种用于生成合成失真图像的系统，该系统包括由机器可读指令配置的一个或多个处理器，以执行上述方法中的任何一种方法。
17、根据一个实施例，提供了一种用于训练机器学习模型的方法，该方法包括：
18、接收多个失真图像；
19、根据接收到的失真图像中的失真生成多个合成失真图像；以及
20、根据所生成的合成失真图像来训练机器学习模型。
21、根据一个实施例，提供了一种包括代码的计算机程序，当由计算机系统执行该代码时，该代码指示该计算机系统执行上述方法中的任何一种方法。
22、根据一个实施例，提供了一种其中存储有任何上述计算机程序的非暂态计算机可读介质。
23、根据一个实施例，提供了一种用于训练机器学习模型的系统，该系统包括由机器可读指令配置的一个或多个处理器，以执行上述方法中的任一种方法。
24、根据一个实施例，提供了一种用于对准失真图像的方法，该方法包括：
25、通过使用机器学习模型来确定用于对准失真图像的变换；以及
26、基于所确定的变换来对准失真图像；
27、其中机器学习模型已经根据上述任何方法被训练。
28、根据一个实施例，提供了一种包括代码的计算机程序，当由计算机系统执行该代码时，该代码指示该计算机系统执行上述方法中的任何一种方法。
29、根据一个实施例，提供了一种其中存储有任何上述计算机程序的非暂态计算机可读介质。
30、根据一个实施例，提供了一种用于对准失真图像的系统，该系统包括由机器可读指令配置的一个或多个处理器，以执行上述方法中的任何一种方法。
31、根据一个实施例，提供了一种用于确定在编码器-解码器网络中使用的权重的方法，该方法包括：
32、接收多个失真图像；
33、根据接收到的失真图像中的失真生成多个合成失真图像；以及
34、根据合成失真图像来确定权重。
35、根据一个实施例，提供了一种包括代码的计算机程序，当由计算机系统执行该代码时，该代码指示该计算机系统执行上述方法中的任何一种方法。
36、根据一个实施例，提供了一种其中存储有任何上述计算机程序的非暂态计算机可读介质。
37、根据一个实施例，提供了一种用于确定在编码器-解码器网络中使用的权重的系统，该系统包括由机器可读指令配置的一个或多个处理器，以执行上述方法中的任何一种方法。
38、根据一个实施例，提供了一种用于对准失真图像的方法，该方法包括：
39、使用以根据上述方法中的任一种方法确定的权重操作的编码器-解码器网络来执行以下操作：
40、使用编码器将参考图像和失真图像编码到潜在空间中以形成编码；
41、使用解码器解码编码以形成失真映射；以及
42、使用失真映射对失真图像进行空间变换以便获得对准的图像。
43、根据一个实施例，提供了一种包括代码的计算机程序，当由计算机系统执行该代码时，该代码指示该计算机系统执行上述方法中的任何一种方法。
44、根据一个实施例，提供了一种其中存储有任何上述计算机程序的非暂态计算机可读介质。
45、根据一个实施例，提供了一种用于对准失真图像的系统，该系统包括由机器可读指令配置的一个或多个处理器，以执行任何上述方法。
46、根据一个实施例，提供了一种制造半导体衬底的方法，该方法包括以下步骤：
47、制造半导体衬底的至少一部分；
48、执行任何上述方法；
49、分析对准的图像以获得图像的度量；以及
50、将度量与目标度量进行比较，并且当度量不满足目标度量时采取补救措施。
51、根据一个实施例，提供了一种半导体衬底制造系统，其包括被配置为执行上述方法中的本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种其中存储有计算机程序的非暂态计算机可读介质，其中所述计算机程序包括代码，所述代码在由计算机系统执行时指示所述计算机系统执行用于生成合成失真图像的方法，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的计算机可读介质，其中生成所述输出集中的每个合成失真图像包括：
3.根据权利要求1所述的计算机可读介质，还包括：对于所述输入集中的所述失真图像中的每一个失真图像，根据所述失真图像生成失真映射；其中所述模型根据所述输入集中的所述失真图像的所述失真映射来确定所述失真模式。
4.根据权利要求1所述的计算机可读介质，其中所述模型根据一个或多个局部性过程来确定所述失真模式。
5.根据权利要求4所述的计算机可读介质，其中所述一个或多个局部性过程有效地将发生在每个失真映射的不同区域中的变形彼此隔离。
6.根据权利要求1所述的计算机可读介质，其中所述失真模式都彼此正交。
7.根据权利要求1所述的计算机可读介质，其中所述失真模式的所述不同的多个组合中的每一个组合是失真模式的加权组合。
8.根据权利要求7所述的计算机可读介质
9.根据权利要求1所述的计算机可读介质，其中所述失真模式的所述不同的多个组合是根据所述失真模式的随机或伪随机组合而生成的。
10.根据权利要求1所述的计算机可读介质，其中所述模型是统计变形模型。
11.根据权利要求1所述的计算机可读介质，还包括执行用于根据失真图像的输入集来生成失真图像的输出集的过程的两个或更多个周期；
12.根据权利要求1所述的计算机可读介质，其中每个失真图像是扫描电子显微镜图像。
13.一种用于生成合成失真图像的系统，所述系统包括根据权利要求1所述的计算机可读介质。
14.一种用于对准合成失真图像的系统，所述系统包括：
15.一种检查工具，包括：
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种其中存储有计算机程序的非暂态计算机可读介质，其中所述计算机程序包括代码，所述代码在由计算机系统执行时指示所述计算机系统执行用于生成合成失真图像的方法，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的计算机可读介质，其中生成所述输出集中的每个合成失真图像包括：
3.根据权利要求1所述的计算机可读介质，还包括：对于所述输入集中的所述失真图像中的每一个失真图像，根据所述失真图像生成失真映射；其中所述模型根据所述输入集中的所述失真图像的所述失真映射来确定所述失真模式。
4.根据权利要求1所述的计算机可读介质，其中所述模型根据一个或多个局部性过程来确定所述失真模式。
5.根据权利要求4所述的计算机可读介质，其中所述一个或多个局部性过程有效地将发生在每个失真映射的不同区域中的变形彼此隔离。
6.根据权利要求1所述的计算机可读介质，其中所述失真模式都彼此正交。
7.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员：M·皮萨伦科，S·A·米德尔布鲁克，M·G·M·M·范克莱杰，C·A·弗舒伦，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：
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