电子显微镜及其图像配准方法和装置、存储介质制造方法及图纸

技术编号:40579733 阅读:21 留言:0更新日期:2024-03-06 17:22
本发明专利技术公开了一种电子显微镜及其图像配准方法和装置、存储介质,其中,电子显微镜的图像配准方法包括:获取电子显微镜中样品台的标准图像的特征信息;根据标准图像的特征信息确定浮动图像的调整参数并对浮动图像进行调整;根据标准图像和经过调整后的浮动图像建立浮动图像的透视矩阵;根据透视矩阵和调整参数确定浮动图像的变换矩阵;根据变换矩阵对电子显微镜实时获取到的浮动图像进行配准。由此,可以获取到通用的变换矩阵,进而通过变换矩阵对电子显微镜实时获取到的图像进行配准,从而使用户可以快速并准确的获取到所需图像。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电子显微镜,尤其涉及一种电子显微镜的图像配准方法、一种计算机可读存储介质、一种电子显微镜的图像配准装置和一种电子显微镜。


技术介绍

1、随着扫描电子显微镜的发展,电镜使用者可以方便地对样品做真实的微观观察,但是在成像之前,样品位置需要初步的导航信息,否则用户难以定位到所需区域,描电子显微镜一般都配有光学导航模块,该模块通过获取大视野的光学图像,获得样品在仓内样品台上的位置,移动位移台将目标放置在电子枪正下方,然后获得电子束扫描图像。

2、光学图像与电子束之间需要有对应关系,才能完成上述导航,如果样品台的光学图像能一直保持固定位置,那么该对应关系可以固化下来。但是在实际使用场景中,样品台的位置可能由于安装的偏差或者手动重新放置等原因,导致位置变化,用户难以获取到所需区域的图像。


技术实现思路

1、本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此,本专利技术的一个目的在于提出一种电子显微镜的图像配准方法,可以获取到通用的变换矩阵,进而通过变换矩阵对电子显微镜实时获取到的图本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电子显微镜的图像配准方法,其特征在于,所述方法包括:

2.根据权利要求1所述的电子显微镜的图像配准方法,其特征在于,所述标准图像的特征信息包括:形状特征信息和位置信息。

3.根据权利要求2所述的电子显微镜的图像配准方法,其特征在于,根据所述标准图像的特征信息确定浮动图像的调整参数并对所述浮动图像进行调整,包括:

4.根据权利要求2所述的电子显微镜的图像配准方法,其特征在于,所述根据所述标准图像和经过调整后的浮动图像建立所述浮动图像的透视矩阵,包括:

5.根据权利要求4所述的电子显微镜的图像配准方法,其特征在于,所述样品台包括多个用于...

【技术特征摘要】

1.一种电子显微镜的图像配准方法,其特征在于,所述方法包括:

2.根据权利要求1所述的电子显微镜的图像配准方法,其特征在于,所述标准图像的特征信息包括:形状特征信息和位置信息。

3.根据权利要求2所述的电子显微镜的图像配准方法,其特征在于,根据所述标准图像的特征信息确定浮动图像的调整参数并对所述浮动图像进行调整,包括:

4.根据权利要求2所述的电子显微镜的图像配准方法,其特征在于,所述根据所述标准图像和经过调整后的浮动图像建立所述浮动图像的透视矩阵,包括:

5.根据权利要求4所述的电子显微镜的图像配准方法,其特征在于,所述样品台包括多个用于放置样品的孔位,所述位置信息包括孔位的位置信息。

6.根据权利要求5所述的电子显微镜的图像配准方法,其特征在于,所述根据所述标准图像的位置信息和经过调整后的浮动...

【专利技术属性】
技术研发人员:雷静张伟曹峰吴亚贺羽
申请(专利权)人:国仪量子技术合肥股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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