【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种圆形封装器件用内部气氛测试保护装置，属于元器件气氛测试，适用于圆形封装器件的内部气氛测试试验。
技术介绍
1、气密封器件的封装内部气氛如水汽、氧气、氢气及二氧化碳过高，会对器件内部产生腐蚀、参数漂移、电迁移等危害，在外部因素的作用下，这些危害或潜在缺陷还会恶化，导致器件功能丧失，因此内部气氛含量是评价气密封器件封装可靠性的重要指标之一。gjb128半导体分立器件试验方法中方法1018内部气体成分分析和mil-std-750中method1018.3internal gas analysis中对该测试方法进行了详细规定。
2、两个标准中均对器件如何进行内部气氛测试进行了规定，但测试方法均是从顶部对其进行穿刺并测试其内部气氛，由于圆形器件内部结构复杂，且内部结构最高处距离管壳顶部间距过小，内部气氛测试设备在进行顶部穿刺时常常会损伤器件内部结构，造成试验失败。
技术实现思路
1、本专利技术解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提出一种圆形封装器件用内部气氛测试保护装置，将圆形封装器件采用特定方向进行保护、固定，可以使其试验气体收集面位于侧面，以便在保证不损伤圆形器件内部结构的同时进行测试。
2、本专利技术解决技术的方案是：一种圆形封装器件用内部气氛测试保护装置，用于将圆形器件装入该装置中并固定，从侧面对其进行穿刺，对其进行内部气氛测试，该测试保护装置包括载物底座、密封圈、固定栓、张紧器；
3、载物底座的中部设有样品槽，用于容纳待测器件
4、密封圈，用于放置于载物底座的样品槽中，为待测器件提供缓冲和密封；
5、固定栓置于样品槽中，张紧器用于旋转紧固固定栓，确保待测器件顶部水平紧贴在样品槽底部且无法移动。
6、优选地，所述载物底座底部设有第一紧固螺钉孔、第二紧固螺钉孔，用于通过螺钉将载物底座安装固定到水汽测试设备上。
7、优选地，所述载物底座采用金属材质制成。
8、优选地，所述样品槽为圆柱槽，侧壁设有螺纹。
9、优选地，所述固定栓包括固定座、固定器；固定器为t型金属结构，头部为圆盘结构，尾部为圆柱体结构，固定座为圆环结构，套在t型金属结构尾部，固定座的外周设有与载物底座样品槽侧壁相匹配的螺纹，固定座拧入样品槽中，将待测器件固定。
10、优选地，所述固定座有两处凹槽，张紧器为中空圆柱体，底部设有两处凸起，张紧器穿过t型金属结构尾部，底部的凸起插入固定座凹槽中，对固定座进行扭紧将固定座固定于载物座上。
11、优选地，所述张紧器外表面刻有纹路。
12、本专利技术的另一个技术方案是：一种圆形封装器件用内部气氛测试，该方法包括如下步骤：
13、s1、将密封圈放置于载物底座的样品槽中；
14、s2、将被测器件放置于有密封圈的圆形样品槽中；
15、s3、将固定栓置于于载物底座的样品槽中，采用张紧器旋转紧固固定栓，确保圆形器件顶部水平紧贴在样品槽底部且无法移动；
16、s4、将于载物底座通过第一紧固螺钉孔和第二螺纹孔固定于水汽操作台上，使圆形样品在真空状态下与穿刺取样台密封连接；
17、s5、通过穿刺孔将穿刺针从圆形器件的侧面穿入器件，并进行内部气氛测试。
18、本专利技术与现有技术相比的有益效果是：
19、(1)、本专利技术由于通过设计一个适合圆形器件的保护固定装置，实现了从圆形器件侧面进行固定穿刺的方式，相比现有装置中仅可以从正面进行穿刺且极易损伤圆形器件内部结构的方法，在满足对圆形器件内部气氛进行测试的前提下，穿刺方向的改变既保证了不损伤器件内部结构，又提高了后续其他试验的成功率。
20、(2)、本专利技术保护固定装置，针对圆形器件内部结构设计了特有的固定、密封方式，保证了内部气氛测试过程的密封性和测试准确度。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种圆形封装器件用内部气氛测试保护装置，用于将圆形器件装入该装置中并固定，从侧面对其进行穿刺，对其进行内部气氛测试，其特征在于包括载物底座(1)、密封圈、固定栓(3)、张紧器(4)；
2.根据权利要求1所述的一种圆形封装器件用内部气氛测试保护装置，其特征在于所述载物底座(1)底部设有第一紧固螺钉孔(103)、第二紧固螺钉孔(104)，用于通过螺钉将载物底座(1)安装固定到水汽测试设备上。
3.根据权利要求1所述的一种圆形封装器件用内部气氛测试保护装置，其特征在于所述载物底座采用金属材质制成。
4.根据权利要求1所述的一种圆形封装器件用内部气氛测试保护装置，其特征在于所述样品槽为圆柱槽，侧壁设有螺纹。
5.根据权利要求4所述的一种圆形封装器件用内部气氛测试保护装置，其特征在于所述固定栓包括固定座、固定器；固定器为T型金属结构，头部为圆盘结构，尾部为圆柱体结构，固定座为圆环结构，套在T型金属结构尾部，固定座的外周设有与载物底座(1)样品槽侧壁相匹配的螺纹，固定座拧入样品槽中，将待测器件固定。
6.根据权利要求5所述的一种
7.根据权利要求6所述的一种圆形封装器件用内部气氛测试保护装置，其特征在于所述张紧器外表面刻有纹路。
8.基于权利要求1～7任一项所述的气氛测试保护装置的一种圆形封装器件用内部气氛测试方法，其特征在于包括如下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种圆形封装器件用内部气氛测试保护装置，用于将圆形器件装入该装置中并固定，从侧面对其进行穿刺，对其进行内部气氛测试，其特征在于包括载物底座(1)、密封圈、固定栓(3)、张紧器(4)；
2.根据权利要求1所述的一种圆形封装器件用内部气氛测试保护装置，其特征在于所述载物底座(1)底部设有第一紧固螺钉孔(103)、第二紧固螺钉孔(104)，用于通过螺钉将载物底座(1)安装固定到水汽测试设备上。
3.根据权利要求1所述的一种圆形封装器件用内部气氛测试保护装置，其特征在于所述载物底座采用金属材质制成。
4.根据权利要求1所述的一种圆形封装器件用内部气氛测试保护装置，其特征在于所述样品槽为圆柱槽，侧壁设有螺纹。
5.根据权利要求4所述的一种圆形封装器件用内部气氛测试保护...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁鸷敏，倪晓亮，吴凯莲，程晓冉，栗超，吴照玺，段超，孟猛，
申请(专利权)人：中国空间技术研究院，
类型：发明
国别省市：
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