一种镀膜电源及其控制方法技术

本发明专利技术公开了一种镀膜电源及其控制方法，镀膜电源包括：三相LLC谐振电路，其整流电路包括三相桥和输出电阻；辅助模块，包括电压输入电路、升降压变换电路和辅助LLC谐振电路，辅助LLC谐振电路与三相桥串联，且与三相LLC谐振电路的电路结构相同；反馈控制电路，用于生成第一调频控制信号发送至三相LLC谐振电路的开关管，控制升降压变换电路的输出电压与第一输出电压的第一输出纹波的大小相同且极性相反，生成第一辅助控制信号发送至辅助LLC谐振电路的开关管，以使得辅助LLC谐振电路的第二输出电压与第一输出纹波的大小相同且极性相反。本发明专利技术能够降低残余能量，降低输出纹波，提高电源响应速度，提高电源效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电源相关，尤其是涉及一种镀膜电源及其控制方法。

技术介绍

1、镀膜电源广泛应用于太阳能光伏板制造、半导体制造和等离子注入等领域。但传统镀膜电源为降低输出电压、电流纹波，需要采用较大感值和容值的输出电感和输出电容进行滤波，这使得电源内部残余能量大，限制了响应速度，电源无法及时根据负载变化实现实时调节，导致镀膜工艺精度降低，镀件良品率低，生产成本增大。

技术实现思路

1、本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种镀膜电源，能够降低残余能量，降低输出纹波，提高电源响应速度，提高电源效率。

2、本专利技术还提供了一种镀膜电源的控制方法、用于执行上述镀膜电源的控制方法的控制装置以及计算机可读存储介质。

3、根据本专利技术的第一方面实施例的镀膜电源，包括：

4、三相llc谐振电路，包括依次连接的斩波电路、三个谐振电容、三个谐振电感、变压器电路和整流电路，其中，所述整流电路包括三相桥和输出电阻，所述三相桥具有第一整流输出端和第二整流输出端，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种镀膜电源，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的镀膜电源，其特征在于，所述辅助LLC谐振电路为单相LLC谐振电路，所述单相LLC谐振电路与所述三相LLC谐振电路的基础电路结构相同，所述单相LLC谐振电路的最低谐振频率点为所述三相LLC谐振电路的最低谐振频率点的三倍，所述第一辅助控制信号的工作频率为所述第一调频控制信号的三倍，占空比与所述第一调频控制信号相同。

3.一种镀膜电源的控制方法，其特征在于，应用于如权利要求1或2所述的镀膜电源，所述镀膜电源的控制方法包括以下步骤：

4.根据权利要求3所述的镀膜电源的控制方法，其特征在于，所述辅助L...

【技术特征摘要】

1.一种镀膜电源，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的镀膜电源，其特征在于，所述辅助llc谐振电路为单相llc谐振电路，所述单相llc谐振电路与所述三相llc谐振电路的基础电路结构相同，所述单相llc谐振电路的最低谐振频率点为所述三相llc谐振电路的最低谐振频率点的三倍，所述第一辅助控制信号的工作频率为所述第一调频控制信号的三倍，占空比与所述第一调频控制信号相同。

3.一种镀膜电源的控制方法，其特征在于，应用于如权利要求1或2所述的镀膜电源，所述镀膜电源的控制方法包括以下步骤：

4.根据权利要求3所述的镀膜电源的控制方法，其特征在于，所述辅助llc谐振电路为单相llc谐振电路，所述单相llc谐振电路与所述三相llc谐振电路的基础电路结构相同，所述单相llc谐振电路的最低谐振频率点为所述三相llc谐振电路的最低谐振频率点的三倍；

5.根据权利要求3所述的镀膜电源的控制方法，其特征在于，所述根据所述初级电流、所述输出电流和预设的电流输出阈值生成第一调频控制信号并发送至所述三相llc谐振电路的开关管，包...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑启发，朱积嘉，赵振兴，贺超，陈利军，陈大为，
申请(专利权)人：湖南众源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：