通过桥芯片实现芯片之间的互连制造技术

技术编号:40575967 阅读:18 留言:0更新日期:2024-03-06 17:17
一种制造桥接多芯片组件结构(150)的方法包括提供载体基板(300)。该方法还包括将多个芯片(100)以预定布局布置在载体基板(300)上。每个芯片(100)具有前表面(102),该前表面(102)包括形成在其上的一组端子(108)。该方法还包括在多个芯片(100)之间以及在载体基板(300)上沉积模制材料(310)。该方法还包括从通过模制材料(310)固定的多个芯片(100)去除载体基板(300)。该方法还包括将桥芯片(120)接合到由模制材料(310)固定的多个芯片(100)中的至少两个芯片(100A,100B)的对应端子组(108)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】


技术介绍

1、本公开总体上涉及多芯片互连技术,并且更具体地涉及一种用于制造桥接多芯片组件结构的方法以及通过该方法制造的桥接多芯片组件结构。

2、当前的计算技术需要在多个芯片之间(诸如在中央处理单元(cpu)和存储器之间以及人工智能(ai)加速器和存储器之间)的高密度互连。用于互连多个芯片的一个结构是桥结构,其中多个芯片通过实现高密度互连的桥芯片连接。

3、嵌入式多芯片互连桥(emib)结构已经被用作用于互连多个芯片的结构,其中小的硅裸片(die)被嵌入在两个互连裸片的边缘下方的有机基板中。然而,这种结构具有组装问题。例如,由于芯片和有机基板之间热膨胀系数的差异,芯片和桥裸片之间的接合部周围的机械应力相对较大。这种机械应力可能会在芯片与有机基板之间的粘结工艺期间造成故障,这降低了封装产品的产率。因此,希望开发一种新颖的多芯片互连技术,该技术能够通过桥芯片连接多个芯片,同时减轻在芯片与桥芯片之间的接合部周围产生的机械应力。


技术实现思路

1、根据本专利技术的实施例,提供了一种制造桥接多芯本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种制造桥接多芯片组件结构的方法,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其中:

3.根据权利要求1或2所述的方法,进一步包括:

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,固定所述多个芯片中的所述至少两个芯片的所述模制材料的一部分具有与所述多个芯片中的所述至少两个芯片的所述前表面齐平的表面。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中:

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,放置所述桥芯片包括:

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,沉积所述模制材料包括:

8.根据前述权利要求中任...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种制造桥接多芯片组件结构的方法,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其中:

3.根据权利要求1或2所述的方法,进一步包括:

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,固定所述多个芯片中的所述至少两个芯片的所述模制材料的一部分具有与所述多个芯片中的所述至少两个芯片的所述前表面齐平的表面。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中:

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,放置所述桥芯片包括:

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,沉积所述模制材料包括:

8.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中,沉积所述模制材料包括:

9.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中:

10.根据权利要求1所述的方法,进一步包括:

11.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中:

12.一种桥接多芯片组件结构,包括:

13.根据权利要求12所述的桥接多芯片组件结构,进一步包括:

14.根据权利要求13所述的桥接多芯片组件结构,进一步包括:

15.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员:青木丰广久田隆史堀部晃启
申请(专利权)人:国际商业机器公司
类型:发明
国别省市:

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