【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于电磁波吸收，具体涉及一种深紫外-可见-近红外超宽带波段吸收器及其制备方法。
技术介绍
1、深紫外-可见-近红外超宽带吸收器是一种超宽带高吸收器件，在光电探测、紫外防护、热发射器、军事隐身等众多领域具有广泛应用前景。
2、传统的深紫外-可见-近红外超宽带吸收器主要为平面薄膜堆栈或人工超构表面微纳结构。采用薄膜堆栈形式来扩展吸收带宽，但是这种形式主要缺点是厚度大于250nm，不利于吸收器集成。人工超构表面微纳结构可以采用多种等离激元扩展吸收带宽，这种方式实现的超宽带高吸收主要缺点是加工成本高、角度敏感性高。目前设计的吸收器很难同时满足工作频率宽、偏振不敏感、角度不敏感等特点。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种深紫外-可见-近红外超宽带波段吸收器及其制备方法，本专利技术提供的深紫外-可见-近红外超宽带波段吸收器具有工作频率宽、偏振不敏感和角度不敏感的特点。
2、为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、本专利技术提供了一种深紫外-可见-近红外超宽带波段吸收器，包括由下到上依次层叠设置的衬底、金属薄膜反射层和功能层；
4、所述功能层包括由下到上复折射率依次降低的多层介质吸收层。
5、优选的，所述金属薄膜反射层的材料包括ti、al、ni、au和ag中一种或几种。
6、优选的，所述金属薄膜反射层的厚度大于50nm。
7、优选的，所述功能层的材料包括氧化钨。
8、
9、在紫外光下的折射率为1.8～2.63，消光系数为0.06～1.22，所述紫外光的波长范围为193～400nm；在可见光下的折射率为2.04～2.78，消光系数为0.06～0.78)，所述可见光的波长范围为400～800nm；在近红外光下的折射率为2.05～3.25，消光系数为0.2～0.81，所述近红外光的波长范围为800～1690nm。
10、优选的，所述多层介质吸收层的总厚度为90～200nm。
11、优选的，每层介质吸收层的厚度为8～50nm。
12、优选的，所述深紫外-可见-近红外超宽带波段吸收器的吸收波段范围为190～1700nm。
13、本专利技术还提供了上述技术方案所述深紫外-可见-近红外超宽带波段吸收器的制备方法，包括以下步骤：
14、在衬底的表面依次制备金属薄膜反射层和功能层。
15、优选的，所述金属薄膜反射层的制备方法为电子束蒸发沉积；
16、所述功能层的制备方法为磁控溅射。
17、本专利技术提供了一种深紫外-可见-近红外超宽带波段吸收器，包括由下到上依次层叠设置的衬底、金属薄膜反射层和功能层；所述功能层包括由下到上复折射率依次降低的多层介质吸收层。本专利技术利用薄膜堆栈结构，具有偏振不敏感、角度不敏感的特点。且得到的波段吸收器吸收带宽极宽，波段范围从190～1700nm。
18、本专利技术还提供了上述技术方案所述深紫外-可见-近红外超宽带波段吸收器的制备方法，包括以下步骤：在衬底的表面依次制备金属薄膜反射层和功能层。本专利技术无需光刻，从而避开了微纳加工制造成本高的问题，提供了大面积制备的可能性。在制备每一层介质吸收层时，调节复折射率与厚度大小，进而调控其在不同波段的吸收特性，用于深紫外-可见-近红外光吸收。
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1.一种深紫外-可见-近红外超宽带波段吸收器，其特征在于，包括由下到上依次层叠设置的衬底、金属薄膜反射层和功能层；
2.根据权利要求1所述的深紫外-可见-近红外超宽带波段吸收器，其特征在于，所述金属薄膜反射层的材料包括Ti、Al、Ni、Au和Ag中一种或几种。
3.根据权利要求1所述的深紫外-可见-近红外超宽带波段吸收器，其特征在于，所述金属薄膜反射层的厚度大于50nm。
4.根据权利要求1所述的深紫外-可见-近红外超宽带波段吸收器，其特征在于，所述功能层的材料包括氧化钨。
5.根据权利要求1或4所述的深紫外-可见-近红外超宽带波段吸收器，其特征在于，每层介质吸收层同时满足下列三个条件：
6.根据权利要求1所述的深紫外-可见-近红外超宽带波段吸收器，其特征在于，所述多层介质吸收层的总厚度为90～200nm。
7.根据权利要求1或6所述的深紫外-可见-近红外超宽带波段吸收器，其特征在于，每层介质吸收层的厚度为8～50nm。
8.根据权利要求1所述的深紫外-可见-近红外超宽带波段吸收器，其特征在于，所
9.权利要求1～8任一项所述深紫外-可见-近红外超宽带波段吸收器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，所述金属薄膜反射层的制备方法为电子束蒸发沉积；
...【技术特征摘要】
1.一种深紫外-可见-近红外超宽带波段吸收器，其特征在于，包括由下到上依次层叠设置的衬底、金属薄膜反射层和功能层；
2.根据权利要求1所述的深紫外-可见-近红外超宽带波段吸收器，其特征在于，所述金属薄膜反射层的材料包括ti、al、ni、au和ag中一种或几种。
3.根据权利要求1所述的深紫外-可见-近红外超宽带波段吸收器，其特征在于，所述金属薄膜反射层的厚度大于50nm。
4.根据权利要求1所述的深紫外-可见-近红外超宽带波段吸收器，其特征在于，所述功能层的材料包括氧化钨。
5.根据权利要求1或4所述的深紫外-可见-近红外超宽带波段吸收器，其特征在于，每层介质吸收层同时满足下列三个条件：
【专利技术属性】
技术研发人员：孙艳，陈振概，文政绩，章晋国，戴宁，吴郅轩，邓志祥，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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