一种柔性健康监测装置和钙钛矿光电器件模组及其制备方法制造方法及图纸

技术编号:40558334 阅读:19 留言:0更新日期:2024-03-05 19:20
本发明专利技术提供了一种柔性健康监测装置、一种柔性健康监测装置中的柔性钙钛矿光电器件模组以及柔性钙钛矿光电器件模组的制备方法;所述制备方法包括:制备柔性衬底层;将柔性电路板制备在得到的柔性衬底层上;制备封装层:将带有柔性电路板的柔性衬底层置于真空沉积系统的沉积仓中,聚对二甲苯Parylene放置在真空沉积系统的反应仓中,开启真空沉积系统反应仓的加热功能,将聚对二甲苯Parylene分解成单体形式,分解后的聚对二甲苯Parylene输送到真空沉积系统的沉积仓中,之后进入冷凝过程,输送到真空沉积系统的沉积仓中的聚对二甲苯Parylene分子进行凝结形成柔性封装层。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及可穿戴监测设备,尤其涉及一种柔性健康监测装置和钙钛矿光电器件模组及其制备方法


技术介绍

1、可穿戴光电传感器系统广泛用于医疗监测,如睡眠监测、运动监测、心脏健康监测以及患者的远程监护;此外,它们还被集成到智能手表、健康追踪器、智能眼镜等各种可穿戴设备中;

2、可穿戴光电传感器健康监测系统的工作原理基于光吸收和透射;传感器通常包含一个led(发光二极管)和一个光敏元件,如光电二极管或光敏电阻;led发出光线,它经过皮肤并被光敏元件检测;由于动脉里有血液的流动,那么对光的吸收自然也有所变化;因此脉搏信号会引起光吸收的变化,当我们把光转换成电信号时,可以测量心率和血氧水平等健康状况;

3、现有的可穿戴光电传感器健康监测系统通常是基于硅基半导体所制备的发光二极管以及光电探测器;硅基可穿戴光电器件的一些主要缺点:1.硅基器件通常是刚性的,难以适应身体曲线或弯曲的表面,在长时间佩戴时会影响用户的舒适性;2.硅基可穿戴光电器件通常需要微纳加工的制造技术和材料,导致较高的制造成本;3.硅基材料的加工温度较高,与有机柔性衬底的处理温度本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种柔性健康监测装置中的柔性钙钛矿光电器件模组制备方法,其特征在于:包括如下步骤:

2.如权利要求1所述的柔性健康监测装置中的柔性钙钛矿光电器件模组制备方法,其特征在于:步骤1)所述的柔性衬底层的制备过程,包括如下步骤:

3.如权利要求1所述的一种柔性健康监测装置中的柔性钙钛矿光电器件模组制备方法,其特征在于:所述的步骤2)中,将柔性电路板制备在得到的柔性衬底层上,柔性电路板包括钙钛矿光电探测器,其中钙钛矿光电探测器的制备方法,包括如下步骤:

4.如权利要求3所述的一种柔性健康监测装置中的柔性钙钛矿光电器件模组制备方法,其特征在于:所述的步骤3-1...

【技术特征摘要】

1.一种柔性健康监测装置中的柔性钙钛矿光电器件模组制备方法,其特征在于:包括如下步骤:

2.如权利要求1所述的柔性健康监测装置中的柔性钙钛矿光电器件模组制备方法,其特征在于:步骤1)所述的柔性衬底层的制备过程,包括如下步骤:

3.如权利要求1所述的一种柔性健康监测装置中的柔性钙钛矿光电器件模组制备方法,其特征在于:所述的步骤2)中,将柔性电路板制备在得到的柔性衬底层上,柔性电路板包括钙钛矿光电探测器,其中钙钛矿光电探测器的制备方法,包括如下步骤:

4.如权利要求3所述的一种柔性健康监测装置中的柔性钙钛矿光电器件模组制备方法,其特征在于:所述的步骤3-1),在柔性衬底层上制备金属电极,所述的金属电极采用au电极,真空溅射镀膜设备的真空压力范围在5e-4pa,功率为200w,持续时间为200s;所获...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱博文王睿唐颖捷赵可张思雨
申请(专利权)人:西湖大学光电研究院
类型:发明
国别省市:

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