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滤光器制造技术

技术编号:40553511 阅读:31 留言:0更新日期:2024-03-05 19:13
本发明专利技术提供了一种滤光器,该滤光器具有窄带通、带通内高透射率、带通外低透射率,即使当光的入射角发生变化时,光学性质也几乎没有变化,因此,在产量和每小时成本方面具有优势。此外,本发明专利技术可以提供包括滤光器的LiDAR(光检测与测距)系统以及滤光器和LiDAR系统的应用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种滤光器、一种包括该滤光器的lidar(光检测与测距)系统及其应用。


技术介绍

1、lidar(光检测和测距)系统是一种能够通过将激光照射到目标上来检测物体的距离、方向、速度、温度、物质分布和浓度特性的系统。为了检测从目标反射的激光,使用了滤光器。

2、滤光器具体为带通滤光器,并且将从目标反射的激光透射到识别传感器(如图像传感器等),同时实质上阻挡环境光,从而可以提高反射激光的识别灵敏度。换句话说,滤光器用于透射从目标反射的激光,但实质上是阻挡环境光。

3、因此,由于滤光器必须尽可能仅透射从目标反射的激光,因此必须具有包括激光波长区域的至少一部分的带通。此外,带通必须在波长区域中具有高水平的透射率,而带通是窄的,因此,它应该在带通之外呈现高水平的透射势垒。

4、对于滤光器,通常通过在基板的两个表面上交替堆叠高折射率层和低折射率层来形成介质层,其中tio2用作高折射率层,并且sio2用作低折射率层。在这种情况下,为了形成窄的高透射率的带通,并且在带通之外呈现透射势垒,需要形成相当大数量的堆叠层。这种具有带通本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种滤光器,包括:

2.根据权利要求1所述的滤光器,其中,所述透射带的中心波长在800nm至1650nm的范围内。

3.根据权利要求2所述的滤光器,其中,所述透射带内的最高透射率为90%或更大。

4.根据权利要求2所述的滤光器,其中,所述透射带内的平均透射率为70%或更大。

5.根据权利要求1所述的滤光器,其中,下式1中的L1的绝对值是0.6或更小,并且下式2中的L2的绝对值是0.6或更小:

6.根据权利要求1所述的滤光器,其中,下式3中的ΔλON的绝对值是5%或更小:

7.根据权利要求1所述的滤光器,其中,下式...

【技术特征摘要】

1.一种滤光器,包括:

2.根据权利要求1所述的滤光器,其中,所述透射带的中心波长在800nm至1650nm的范围内。

3.根据权利要求2所述的滤光器,其中,所述透射带内的最高透射率为90%或更大。

4.根据权利要求2所述的滤光器,其中,所述透射带内的平均透射率为70%或更大。

5.根据权利要求1所述的滤光器,其中,下式1中的l1的绝对值是0.6或更小,并且下式2中的l2的绝对值是0.6或更小:

6.根据权利要求1所述的滤光器,其中,下式3中的δλon的绝对值是5%或更小:

7.根据权利要求1所述的滤光器,其中,下式4的δλoff的绝对值是5%或更小:

8.根据权利要求1所述的滤光器,其中,下式5的δλc的绝对值是5%或更小:

9.根据权利要求1所述的滤光器,其中,下式6中的δb的绝对值是30%或更小:

10.根据权利要求1所述的滤光器,其中,下式7中的δl1的绝对值是3或更小,并且下式8中的δl2的绝对值是3或更小:

11.根据权利要求1所述的滤光器,其中,所述第一层在940nm的波长处具有3.3或更大的折射率,并且在1550nm的波长处具有3.1或更大的折射率。

12.根据权利要求1所述的滤光器,其中,所述第一层在60nm至300nm的厚度范围内的任何一个厚度处且在800nm至900nm的波长范围内的任何一个波长处的消光系数k为零。

13.根据权利要求11所述的滤光器,其中,所述第一层的折射率n1与所述第二层的折射率n2的比率n1...

【专利技术属性】
技术研发人员:愼重悦宋泰珍尹成龙金鎭焕
申请(专利权)人:株式会社LMS
类型:发明
国别省市:

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