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【技术实现步骤摘要】
本申请一般涉及显示,具体涉及一种显示面板及其制备方法、显示装置。
技术介绍
1、随着显示技术的发展,显示基板已广泛应用于各种显示
,而且也在朝着高分辨率不断发展。显示基板包括显示区和非显示区,非显示区设置有驱动电路,以输出信号,显示区内设置有显示结构层,以显示画面;非显示区内设置有用于向显示区传输相应信号的走线。
2、随着显示基板的屏幕分辨率越高,非显示区内的走线的数量就越多,然而,随着走线数量增多导致上层膜层在制备时会形成台阶状,在同一膜层上产生段差,尤其上层的金属层上产生的问题和风险也随之增加,上层的金属层在刻蚀时因表面不平坦带来的残留和断线等风险。
技术实现思路
1、鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种显示面板及其制备方法、显示装置,可以提高显示面板的质量,提高显示效果。
2、第一方面,本申请提供了一种显示面板,包括:
3、衬底基板;
4、设置在所述衬底基板上的薄膜晶体管层,所述薄膜晶体管层包括有源层、栅绝缘层、栅极层、无机层间介质层、有机层间介质层、源漏金属层、平坦层,其中,
5、所述无机层间介质层随形覆盖在所述栅极层的表面,所述有机层间介质层在远离所述衬底基板的一侧表面平齐,所述栅绝缘层、所述无机层间介质层和所述有机层间介质层上设置有暴露所述有源层的第一过孔,所述源漏金属层通过所述第一过孔与所述有源层接触。
6、可选地,所述栅极层包括第一栅极层和第二栅极层,所述栅绝缘层包括第一栅绝缘层和
7、可选地,所述源漏金属层包括第一源漏金属层和第二源漏金属层,所述平坦层包括第一平坦层和第二平坦层,所述薄膜晶体管层还包括设置在所述有机层间介质层远离所述衬底基板一侧的钝化层,所述第一源漏金属层通过所述第一过孔与所述有源层接触;所述第一平坦层设置在所述钝化层远离所述衬底基板的一侧,所述第二源漏金属层设置在所述第二平坦层远离所述衬底基板的一侧,所述钝化层和所述第一平坦层上设置有暴露所述第一源漏金属层的第二过孔,所述第二源漏金属层通过所述第二过孔与所述第一源漏金属层接触。
8、可选地,所述衬底基板包括显示区以及非显示区,所述非显示区包括:
9、沿第一方向延伸设置的多条第一信号走线和多条第二信号走线,所述第一信号走线设置在所述第一栅极层,所述第二信号走线设置在所述第二栅极层;
10、沿第二方向延伸设置的多条第三信号走线,所述第三信号走线设置在所述源漏金属层上,所述第一方向与所述第二方向相交。
11、可选地,所述第一信号走线和所述第二信号走线依次交替设置,相邻两所述第一信号走线与所述第二信号走线之间设置有间隔,所述无机层间介质层随形覆盖在所述第二信号走线、所述间隔以及所述第一信号走线上;所述有机层间介质层填平所述间隔且在远离所述衬底基板的表面平齐。
12、可选地,所述薄膜晶体管层包括阵列设置的多个晶体管,所述晶体管包括栅极、源极和漏极,所述栅极设置在所述栅极层上,所述源极和漏极设置在所述源漏金属层上,所述源极和所述漏极分别通过所述第一过孔与所述有源层接触。
13、可选地,所述有机层间介质层包括阵列设置的多个开口,所述开口暴露所述无机层间介质层的表面;
14、所述源极和所述漏极在所述衬底基板上的正投影分别位于所述开口在所述衬底基板上的正投影范围内。
15、第二方面,本申请提供了一种显示面板的制备方法,所述方法包括:
16、提供衬底基板;
17、在所述衬底基板上形成薄膜晶体管层,所述薄膜晶体管层包括在所述衬底基板上依次形成的有源层、栅绝缘层、栅极层、无机层间介质层、有机层间介质层、源漏金属层、平坦层,其中,
18、所述无机层间介质层随形覆盖在所述栅极层的表面,所述有机层间介质层在远离所述衬底基板的一侧表面平齐,所述栅绝缘层、所述无机层间介质层和所述有机层间介质层上设置有暴露所述有源层的第一过孔,所述源漏金属层通过所述第一过孔与所述有源层接触。
19、可选地,所述第一过孔的形成方法包括:
20、在随形覆盖在所述栅极层的表面的所述无机层间介质层上形成中间过孔,所述中间过孔的位置与所述第一过孔的位置对应,所述中间过孔贯穿所述无机层间介质层和所述栅绝缘层并暴露所述有源层的表面;
21、在所述无机层间介质层上形成有机层间介质层,所述有机层间介质层填充所述中间过孔且所述有机层间介质层在远离所述衬底基板的一侧表面平齐;
22、在所述有机层间介质层上形成所述第一过孔,所述第一过孔贯穿所述有机层间介质层并暴露所述有源层的表面。
23、第三方面,本申请提供了一种显示装置,包括如以上任一所述的显示面板。
24、本申请的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果:
25、本申请实施例提供的显示面板,通过在无机层间介质层上增加有机层间介质层,为上层的源漏金属层提供平坦化表面,改善源漏金属层刻蚀时因表面不平坦带来的残留和断线等风险,可以提高显示面板的质量,提高显示效果。
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1.一种显示面板,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述栅极层包括第一栅极层和第二栅极层,所述栅绝缘层包括第一栅绝缘层和第二栅绝缘层,所述第一栅绝缘层设置在所述有源层与所述第一栅极层之间,所述第二栅绝缘层设置在所述第一栅极层与所述第二栅极层之间,所述无机层间介质层设置在所述第二栅极层远离所述衬底基板的一侧。
3.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述源漏金属层包括第一源漏金属层和第二源漏金属层,所述平坦层包括第一平坦层和第二平坦层,所述薄膜晶体管层还包括设置在所述有机层间介质层远离所述衬底基板一侧的钝化层,所述第一源漏金属层通过所述第一过孔与所述有源层接触;所述第一平坦层设置在所述钝化层远离所述衬底基板的一侧,所述第二源漏金属层设置在所述第二平坦层远离所述衬底基板的一侧,所述钝化层和所述第一平坦层上设置有暴露所述第一源漏金属层的第二过孔,所述第二源漏金属层通过所述第二过孔与所述第一源漏金属层接触。
4.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述衬底基板包括显示区以及非显示区,所述非显示区包括:
...【技术特征摘要】
1.一种显示面板,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述栅极层包括第一栅极层和第二栅极层,所述栅绝缘层包括第一栅绝缘层和第二栅绝缘层,所述第一栅绝缘层设置在所述有源层与所述第一栅极层之间,所述第二栅绝缘层设置在所述第一栅极层与所述第二栅极层之间,所述无机层间介质层设置在所述第二栅极层远离所述衬底基板的一侧。
3.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述源漏金属层包括第一源漏金属层和第二源漏金属层,所述平坦层包括第一平坦层和第二平坦层,所述薄膜晶体管层还包括设置在所述有机层间介质层远离所述衬底基板一侧的钝化层,所述第一源漏金属层通过所述第一过孔与所述有源层接触;所述第一平坦层设置在所述钝化层远离所述衬底基板的一侧,所述第二源漏金属层设置在所述第二平坦层远离所述衬底基板的一侧,所述钝化层和所述第一平坦层上设置有暴露所述第一源漏金属层的第二过孔,所述第二源漏金属层通过所述第二过孔与所述第一源漏金属层接触。
4.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述衬底基板包括显示区以及非显示区,所...
【专利技术属性】
技术研发人员:张云鹏,景阳钟,杨晶利,冯双,李文,
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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