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振动器件制造技术

技术编号:40545277 阅读:4 留言:0更新日期:2024-03-05 19:02
本发明专利技术提供振动器件,降低支承应力对振动的影响,抑制主振动的泄漏。振动器件具有:振动片;容器,其收纳振动片;以及粘接部件,其将振动片与容器接合,振动片具有:振动部,其包含设置有第一激励电极的第一主面、设置有第二激励电极且与第一主面处于正反关系的第二主面、以及在沿着通过第一激励电极和第二激励电极激励出的厚度剪切振动的移位方向的第一方向上延伸的侧面,将与第一方向交叉的方向即第二方向作为长度方向;连结臂,其从振动部的侧面向第二方向延伸;以及支承部,其包含从连结臂向第一方向延伸的第一支承臂,沿着第一方向延伸,经由粘接部件与容器接合。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及振动器件


技术介绍

1、在专利文献1中记载了一种通过搭载压电振动片来抑制支承应力对振动的影响的作为振动器件的压电器件,该压电振动片具有:振动部,其设置有一对激励电极;支承部,其与振动部分离地延伸;以及连结部,其以将支承部的一端与振动部的端部连结的方式延伸,该压电振动片构成为引出电极分别从一对激励电极引出到支承部的接合面。

2、专利文献1:日本特开2015-186196号公报


技术实现思路

1、然而,专利文献1的压电器件虽然能够抑制支承应力对作为主振动的厚度剪切振动的影响,但由于压电振动片的连结部从振动部沿着作为厚度剪切振动的方向的石英结晶的x轴延伸,因此存在振动泄漏容易变大、振动特性劣化的课题。

2、振动器件具有:振动片;容器,其收纳所述振动片;以及粘接部件,其将所述振动片与所述容器接合,所述振动片具有:振动部,其包含:设置有第一激励电极的第一主面;设置有第二激励电极且与所述第一主面处于正反关系的第二主面;和在第一方向上延伸的侧面,所述第一方向沿着通过所述第一激励电极和所述第二激励电极激励出的厚度剪切振动的移位方向,所述振动部将第二方向作为长度方向,所述第二方向是与所述第一方向交叉的方向;连结臂,其从所述振动部的所述侧面向所述第二方向延伸;以及支承部,其包含从所述连结臂向所述第一方向延伸的第一支承臂,所述支承部沿着所述第一方向延伸,经由所述粘接部件与所述容器接合。

【技术保护点】

1.一种振动器件,

2.根据权利要求1所述的振动器件,其中,

3.根据权利要求1所述的振动器件,其中,

4.根据权利要求3所述的振动器件,其中,

5.根据权利要求1所述的振动器件,其中,

6.根据权利要求1所述的振动器件,其中,

7.根据权利要求1所述的振动器件,其中,

8.根据权利要求7所述的振动器件,其中,

9.根据权利要求1所述的振动器件,其中,

10.根据权利要求1所述的振动器件,其中,

11.根据权利要求10所述的振动器件,其中,

【技术特征摘要】

1.一种振动器件,

2.根据权利要求1所述的振动器件,其中,

3.根据权利要求1所述的振动器件,其中,

4.根据权利要求3所述的振动器件,其中,

5.根据权利要求1所述的振动器件,其中,

6.根据权利要求1所述的振动器件,...

【专利技术属性】
技术研发人员:松尾敦司矶畑健作松川典仁
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社
类型:发明
国别省市:

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