【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及涂敷部件以及涂敷装置,尤其涉及能够抑制涂敷作业时的污染的技术。
技术介绍
1、近年来,由于电子设备的多功能化、小型化和高功能化,水晶振子等的电子器件和电极尺寸的小型化正在推进。因此,在安装水晶振子等的电子器件时,要求微细且厚地涂敷导电性的液体材料。作为形成微细图案的方式,通常为印刷方式、喷墨方式等,除此之外,使用涂敷针的方式也是其选择之一。使用涂敷针的方式能够使用大范围粘度的材料进行微细涂敷。
2、作为使用涂敷针的现有技术,公开了包含支承于xyz载台上的涂敷机构的涂敷装置(专利文献1)。在上述涂敷机构中,通过凸轮的动作,可动部和涂敷针在z方向上往复运动。由于该涂敷针浸入容纳在涂敷材料容器中的液体材料中,因此液体材料附着在涂敷针的表面上。通过使该涂敷针在z方向上往复运动,将附着在涂敷针的表面上的液体材料涂敷到目标物上。
3、在专利文献1的技术中,接合有涂敷针的涂敷针固定部件通过弹簧而以能够在一个方向上移动的方式支承。由此,能够抑制因高速动作以及将目标物推入而导致的涂敷针的前端或所涂敷的目标物的异常。<
...【技术保护点】
1.一种涂敷部件,该涂敷部件包括:
2.根据权利要求1所述的涂敷部件,其中,在上述涂敷针的基端部设置有作为磁性体的涂敷针插入部件,该涂敷针插入部件通过上述磁石的吸引力装卸自如地固定于上述涂敷针固定部件上。
3.根据权利要求1或2所述的涂敷部件,其中,上述涂敷针固定部件设置有供上述涂敷针的上述基端部或上述涂敷针插入部件插入的开口部,并且此开口部的底面相对于上述磁石设置在规定的位置。
4.根据权利要求1或2所述的涂敷部件,其中,包括用于驱动上述涂敷针的旋转驱动源、以及将此旋转驱动源的旋转驱动力转换为与上述目标材料的表面垂直的方向的驱动力
...【技术特征摘要】
1.一种涂敷部件,该涂敷部件包括:
2.根据权利要求1所述的涂敷部件,其中,在上述涂敷针的基端部设置有作为磁性体的涂敷针插入部件,该涂敷针插入部件通过上述磁石的吸引力装卸自如地固定于上述涂敷针固定部件上。
3.根据权利要求1或2所述的涂敷部件,其中,上述涂敷针固定部件设置有供上述涂敷针的上述基端部或上述涂敷针插入部件插入的开口部,并且此...
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