【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成光电子领域，尤其涉及一种低串扰低随机相位误差的光开关。
技术介绍
1、随着现代信息科技的发展，大容量光交换网络的需求越来越旺盛，基于分离器件搭建的光交换网络存在体积大、稳定性差等方面的问题，而集成光开关技术有利于降低光交换网络的体积，提升其稳定性，近年来获得了广泛的研究。其中，2×2的光开关是光交换网络的核心器件，更多端口的光交换网络可由2×2的光开关搭建而成。
2、目前，基于集成光电子平台的2×2光开关以及得到了众多研究者的研究，其中基于马赫曾德尔干涉仪(mzi)的2×2光开关以及可以实现比较高的性能。但在实际应用中，基于硅基光电子平台，氮化硅光电子平台，薄膜铌酸锂光电子平台以及其它具有高折射率差的集成光电子平台的光开关普遍存在由于加工工艺误差导致mzi两臂存在一定的初始相位差，使得光开关在使用时需要进行初步的校准，当系统中使用的2×2光开关数目比较多时，校准流程会非常繁琐，在一定程度上限制了集成光开关在实际中的应用。
3、为了降低工艺误差导致的光开关存在的初始相位差，2020年戴道锌等人提出了一种通过加宽热移相器波导以及使用宽度渐变的弯曲波导的方法实现低随机相位误差的2×2光开关([1]戴道锌,刘大建,宋立甲.低损耗低随机相位误差的2×2光开关及n×n光开关阵列[p].中国专利：202010767515.x,2020-08-03.)。该方法中，宽度渐变的弯曲波导部分，波导宽度从单模波导开始渐变，一般为500nm左右。此时，该弯曲渐变波导仍会引入比较大的随机相位误差，为了降低此部分引入
技术实现思路
1、为解决现有的技术问题，本专利技术提供了一种低串扰低随机相位误差的光开关。
2、本专利技术的具体内容如下：一种低串扰低随机相位误差的光开关，包括：
3、输入波导，共有2个，用于2路光信号的输入；
4、第一光功分器，将输入的光信号等分成两路；
5、前端光功分弯曲连接波导，共有2个，连接第一光功分器与前端弯曲波导；
6、前端弯曲波导，共有2个，低损耗地增大第一光功分器输出的两路光信号间的距离；
7、移相器，共有2个，改变光信号的相位，实现光开关状态的切换；
8、后端弯曲波导，共有2个，低损耗地减小mzi两路光信号间的距离，以便与第二光功分器的相连接；
9、后端光功分弯曲连接波导，共有2个，连接后端弯曲波导与第二光功分器，将两路光信号输出进第二光功分器中；
10、第二光功分器，将两路输入光信号合成一路；
11、输出波导，共有2个，将完成路径切换的光信号输出；
12、其中，后端光功分弯曲连接波导可以省略，使后端弯曲波导与第二光功分器直接连接。
13、进一步的，输入波导、第一光功分器中的波导、前端弯曲波导、移相器波导、后端弯曲波导、第二光功分器中的波导、输出波导均采用宽波导。
14、进一步的，移相器通过前端弯曲移相连接波导与前端弯曲波导相连，前端弯曲移相连接波导一端的宽度与前端弯曲波导的宽度相同，另一端与移相器波导的宽度相同；
15、移相器通过后端弯曲移相连接波导与后端弯曲波导相连，后端弯曲移相连接波导一端的宽度与移相器波导的宽度相同，另一端与后端弯曲波导的宽度相同。
16、进一步的，第一光功分器基于定向耦合或多模干涉耦合器实现。
17、进一步的，前端弯曲波导和后端弯曲波导的弯曲方式基于圆弧弯曲或欧拉弯曲结构实现。
18、进一步的，移相器移相基于电光效应或热光效应实现。
19、进一步的，光开关可基于硅基光电子平台、氮化硅集成光电子平台或薄膜铌酸锂集成光电子平台实现。
20、本专利技术提供的一种面向基于集成光电子平台光开关的低串扰低随机相位误差的光开关，mzi两臂保持有较大的距离，可以有效的降低mzi两臂的串扰。该光开关具有低串扰、低随机相位误差等优点。该专利技术成果可在光网络，光延时线等领域发挥重要应用价值。
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1.一种低串扰低随机相位误差的光开关，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的低串扰低随机相位误差的光开关，其特征在于：输入波导、第一光功分器中的波导、前端弯曲波导、移相器波导、后端弯曲波导、第二光功分器中的波导、输出波导均采用宽波导。
3.根据权利要求2所述的低串扰低随机相位误差的光开关，其特征在于：移相器通过前端弯曲移相连接波导与前端弯曲波导相连，前端弯曲移相连接波导一端的宽度与前端弯曲波导的宽度相同，另一端与移相器波导的宽度相同；
4.根据权利要求1所述的低串扰低随机相位误差的光开关，其特征在于：第一光功分器基于定向耦合或多模干涉耦合器实现。
5.根据权利要求1所述的低串扰低随机相位误差的光开关，其特征在于：前端弯曲波导和后端弯曲波导的弯曲方式基于圆弧弯曲或欧拉弯曲结构实现。
6.根据权利要求1所述的低串扰低随机相位误差的光开关，其特征在于：移相器移相基于电光效应或热光效应实现。
7.根据权利要求1所述的低串扰低随机相位误差的光开关，其特征在于：光开关可基于硅基光电子平台、氮化硅集成光电子平台或薄膜
...【技术特征摘要】
1.一种低串扰低随机相位误差的光开关，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的低串扰低随机相位误差的光开关，其特征在于：输入波导、第一光功分器中的波导、前端弯曲波导、移相器波导、后端弯曲波导、第二光功分器中的波导、输出波导均采用宽波导。
3.根据权利要求2所述的低串扰低随机相位误差的光开关，其特征在于：移相器通过前端弯曲移相连接波导与前端弯曲波导相连，前端弯曲移相连接波导一端的宽度与前端弯曲波导的宽度相同，另一端与移相器波导的宽度相同；
4.根据权利要求1所述的低串...
【专利技术属性】
技术研发人员：周刚强，高晖，姜文，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十四研究所，
类型：发明
国别省市：
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