【技术实现步骤摘要】
本技术涉及热流传感器，尤其涉及一种mems薄膜热流传感器。
技术介绍
1、mems薄膜热流传感器是一种微型化的传感器，可用于测量非常微小的热流变化。mems薄膜热流传感器在多个领域中具有广泛的应用，例如能源管理、环境监测、医疗保健等。在能源管理中，该传感器可用于对油气储存设备的流量和温度进行实时监测，从而实现对设备的精确控制和管理。在医疗保健方面，该传感器可用于实时监测热流变化，以便测量和分析人体内部的热量变化并了解身体的状态。
2、经检索，专利号为“cn203643055u”的技术提供了“一种用于高温大热流测量的薄膜热流传感器，本技术热流传感器具有耐高温和适合大热流测试的特点；大大提高了传感器的信号输出，减小了信号后续处理的难度，提高了传感器的测试精度”。但是在其实际使用过程中，虽然使热流传感器耐高温性能获得了提升，可以用于进行大热流测试，提高了传感器的测试精度，但是没有考虑到热流传感器的应用场景，没有针对热流传感器的适应性进行设计，没有对工作中的热流传感器采取防污措施，被污染的热流传感器会影响测试精度，使测试数据产生误差，影响检测人员的判断。
3、于是，我们提供了一种mems薄膜热流传感器。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种mems薄膜热流传感器，解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种mems薄膜热流传感器，包括连接柱主体和热流检测机构，所述连接柱主体的一端焊接有套筒，所述套筒的另一端焊接有
3、优选的，所述安装框的内部安装有数据采集器，所述数据采集器的一侧安装有无线电信号发射装置。
4、优选的，所述热流检测机构包括密封环、箱体、固定板、通孔、密封套圈、固定螺杆、密封垫圈、螺帽、陶瓷基板、热流传感器、导热层和防污涂层。
5、优选的，所述固定板的表面开设有通孔，所述固定板的一侧安装有密封套圈。
6、优选的，所述通孔的内部安装有固定螺杆，所述固定螺杆的外侧安装有密封垫圈，所述密封垫圈的一侧安装有螺帽。
7、优选的，所述箱体的内部安装有陶瓷基板，所述陶瓷基板的一侧安装有热流传感器，所述热流传感器的另一侧粘连连接有导热层，所述导热层的材料为碳纤维膜。
8、优选的，所述导热层的另一侧粘连连接有防污涂层，所述防污涂层的材料为硅氧烷材料。
9、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
10、该mems薄膜热流传感器，通过热流检测机构的设置，热流传感器可以安装在储存设备的管道或容器上，以感知液体或气体的流量和温度变化，数据采集器可以将热流传感器收集到的信息收集起来，之后通过无线电信号发射装置，将信息发送到信息接收终端，便于监控温度变化的数据，将装置放置在指定位置后，将储存设备的螺帽拧紧，使装置可以稳定固定，密封垫圈可以保证储存设备内部的液体不会通过通孔流出来，将装置安装在储存设备内部时，密封套圈可以起到密封作用，防止储存设备内部的液体流入箱体，污染热流传感器。
11、导热层的材料为碳纤维膜，碳纤维具有高的热导率和低的热膨胀系数，因此在高温高压环境下具有良好的热传导性能，可以最大程度的将液体的温度不损失的传给热流传感器，保证数据的准确性，纤维薄膜本身并不会渗油，不过它的表面可能会被润滑油或其他油脂物质污染，为避免出现这种情况，可以将碳纤维膜涂覆防污涂层或采用防污涂层处理工艺，以保证信号传输的准确性和传感器的稳定性，硅氧烷材料表面被修饰后会形成一层亲水保护层，能够有效地防止油污及其他有机污染物质的附着。
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1.一种MEMS薄膜热流传感器，其特征在于:包括连接柱主体(1)和热流检测机构(6)，所述连接柱主体(1)的一端焊接有套筒(2)，所述套筒(2)的另一端焊接有安装框(3)，所述连接柱主体(1)的左端设置有热流检测机构(6)，所述连接柱主体(1)的外侧安装有密封环(601)，所述连接柱主体(1)的另一端焊接有箱体(602)，所述箱体(602)的一侧焊接有固定板(603)。
2.根据权利要求1所述的一种MEMS薄膜热流传感器，其特征在于，所述安装框(3)的内部安装有数据采集器(4)，所述数据采集器(4)的一侧安装有无线电信号发射装置(5)。
3.根据权利要求1所述的一种MEMS薄膜热流传感器，其特征在于，所述热流检测机构(6)包括密封环(601)、箱体(602)、固定板(603)、通孔(604)、密封套圈(605)、固定螺杆(606)、密封垫圈(607)、螺帽(608)、陶瓷基板(609)、热流传感器(610)、导热层(611)和防污涂层(612)。
4.根据权利要求1所述的一种MEMS薄膜热流传感器，其特征在于，所述固定板(603)的表面开设有通
5.根据权利要求4所述的一种MEMS薄膜热流传感器，其特征在于，所述通孔(604)的内部安装有固定螺杆(606)，所述固定螺杆(606)的外侧安装有密封垫圈(607)，所述密封垫圈(607)的一侧安装有螺帽(608)。
6.根据权利要求1所述的一种MEMS薄膜热流传感器，其特征在于，所述箱体(602)的内部安装有陶瓷基板(609)，所述陶瓷基板(609)的一侧安装有热流传感器(610)，所述热流传感器(610)的另一侧粘连连接有导热层(611)，所述导热层(611)的材料为碳纤维膜。
7.根据权利要求6所述的一种MEMS薄膜热流传感器，其特征在于，所述导热层(611)的另一侧粘连连接有防污涂层(612)，所述防污涂层(612)的材料为硅氧烷材料。
...【技术特征摘要】
1.一种mems薄膜热流传感器，其特征在于:包括连接柱主体(1)和热流检测机构(6)，所述连接柱主体(1)的一端焊接有套筒(2)，所述套筒(2)的另一端焊接有安装框(3)，所述连接柱主体(1)的左端设置有热流检测机构(6)，所述连接柱主体(1)的外侧安装有密封环(601)，所述连接柱主体(1)的另一端焊接有箱体(602)，所述箱体(602)的一侧焊接有固定板(603)。
2.根据权利要求1所述的一种mems薄膜热流传感器，其特征在于，所述安装框(3)的内部安装有数据采集器(4)，所述数据采集器(4)的一侧安装有无线电信号发射装置(5)。
3.根据权利要求1所述的一种mems薄膜热流传感器，其特征在于，所述热流检测机构(6)包括密封环(601)、箱体(602)、固定板(603)、通孔(604)、密封套圈(605)、固定螺杆(606)、密封垫圈(607)、螺帽(608)、陶瓷基板(609)、热流传感器(610)、导热层(611)和防污涂层(61...
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