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激光扫描装置以及激光扫描方法制造方法及图纸

技术编号:40525856 阅读:10 留言:0更新日期:2024-03-01 13:45
激光扫描装置(13)包括第1导光部(20)、多边形镜(30)以及第2导光部(40)。第1导光部(20)反射并引导激光产生器(12)产生的激光。多边形镜(30)具有配置成多边形的反射面,且一边旋转一边以反射面反射通过第1导光部(20)引导的激光。第2导光部(40)进一步反射以多边形镜(30)的反射面反射的激光,且以激光照射在工件(100)上的方式引导激光。第1导光部(20)具备第1柱面透镜(21),该第1柱面透镜(21)以激光在第1方向上的光束直径变小的方式对激光进行聚光。第2导光部(40)具备第2柱面透镜(43),该第2柱面透镜(43)以激光在与第1方向正交的第2方向上的光束直径变小的方式对激光进行聚光。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术主要涉及一种激光扫描装置。


技术介绍

1、专利文献1公开一种光扫描装置。其用于扫描激光等的光。光扫描装置包括透镜、多个反射镜(turning mirror)、多边形镜(polygon mirror)、初级反射镜、次级反射镜以及柱面透镜(cylindrical lens)。透镜对由激光产生器产生的激光光线进行聚光。多个反射镜用于确保光路长度以使激光的焦点对准工件,并且向多边形镜引导激光。多边形镜一边旋转一边反射激光,由此,以与多边形镜的旋转相位对应的反射角反射激光。通过多边形镜反射后的激光,由初级反射镜以及次级反射镜反射之后,通过柱面透镜被照射在工件上。柱面透镜用于将激光扁平化。

2、[现有技术文献]

3、[专利文献]

4、专利文献1:日本专利第5401629号公报


技术实现思路

1、专利技术所要解决的技术问题

2、在专利文献1的光扫描装置中,根据透镜的形状,照射在工件上的激光存在不能在既定方向充分聚光的可能性。

3、有鉴于此,本专利技术的主要目的在于提供一种激光扫描装置,其能够在适宜地使激光聚光的状态下将激光照射在工件上。

4、解决问题所使用的技术方案

5、本专利技术所欲解决的问题诚如上面的说明,下面对用于解决该问题的手段及其功效进行说明。

6、根据本专利技术的第1观点,提供下面结构的激光扫描装置。也就是说,激光扫描装置包括第1导光部、多边形镜以及第2导光部。所述第1导光部用于反射并引导由激光产生器产生的激光。所述多边形镜具有配置成多边形的反射面,且一边旋转一边由所述反射面反射通过所述第1导光部引导的激光。所述第2导光部进一步反射由所述多边形镜的所述反射面反射的激光,且以激光照射在工件上的方式引导激光。所述第1导光部具有第1聚光部,该第1聚光部以激光在第1方向上的光束直径变小的方式对该激光进行聚光。所述第2导光部具备第2聚光部,该第2聚光部以激光在与所述第1方向正交的第2方向上的光束直径变小的方式对该激光进行聚光。

7、根据本专利技术的第2观点,提供下面的激光扫描方法。也就是说,激光扫描方法包括第1导光工序、多边形镜反射工序以及第2导光工序。在所述第1导光工序中,使用第1导光部反射并引导由激光产生器产生的激光。在所述多边形镜反射工序中,使用具有配置成多边形的反射面的多边形镜,一边使多边形镜旋转一边由所述反射面反射通过所述第1导光部引导的激光。在所述第2导光工序中,通过第2导光部进一步反射由所述多边形镜的所述反射面反射的激光,且以激光照射在工件上的方式引导激光。所述第1导光工序包括使用第1聚光部以激光在第1方向上的光束直径变小的方式对该激光进行聚光的处理。所述第2导光工序包括使用第2聚光部以激光在与所述第1方向正交的第2方向上的光束直径变小的方式对该激光进行聚光的处理。

8、由此,由于由激光产生器产生的激光在2个方向上进行聚光,因此能够将激光的截面形状(光束形状)为圆形或接近圆形的形状的激光照射在工件上。

9、专利技术的功效

10、根据本专利技术,能够在适宜地使激光聚光的状态下将激光照射在工件上。

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【技术保护点】

1.一种激光扫描装置,其特征在于具备:

2.根据权利要求1所述的激光扫描装置,其中,当将所述第1聚光部的焦距设为f1,将入射于所述第1聚光部的激光在所述第1方向上的直径设为d1,且

3.根据权利要求1或2所述的激光扫描装置,其中,所述第1聚光部是第1柱面透镜,且通过所述第1柱面透镜以激光在所述第1方向的光束直径变小的方式对该激光进行聚光,

4.一种激光扫描方法,其特征在于包括如下的工序:

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种激光扫描装置,其特征在于具备:

2.根据权利要求1所述的激光扫描装置,其中,当将所述第1聚光部的焦距设为f1,将入射于所述第1聚光部的激光在所述第1方向上的直径设为d1,且

3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员:大串修己中泽睦裕
申请(专利权)人:川崎重工业株式会社
类型:发明
国别省市:

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