【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气敏传感领域，尤其涉及一种高灵敏度微结构式气体传感器。
技术介绍
1、cn205139071u公开了一种具有两支撑悬梁六层结构的电阻式气体传感器，其具有两支撑悬梁，其六层结构自下而上依次为：硅衬底框架、加热膜层、加热层、隔离层、电极层、敏感膜层，该敏感膜层包括两层以上敏感膜，且各层敏感膜自下而上，其比表面积逐渐减小、孔隙尺寸逐渐增大。与现有技术相比，其具有两支撑悬梁的结构易于通过调节和控制工作温度来提高传感器的性能；并且其采用两层以上敏感膜作为敏感膜层，可以提高气体传感器的灵敏度和选择性。
2、cn205449863u公开了一种具有四支撑悬梁四层结构的电阻式气体传感器，其具有四支撑悬梁，其四层结构自下而上依次为：硅衬底框架、加热膜层、加热电极层、敏感膜层，所述敏感膜层包括两层以上敏感膜，各层敏感膜逐层电性连接，且各层敏感膜自下而上，其比表面积逐渐减小、孔隙尺寸逐渐增大。与现有技术相比，其具有四支撑悬梁的结构易于通过调节和控制工作温度来提高传感器的性能；并且其采用两层以上敏感膜作为敏感膜层，可以提高气体传感器的灵
【技术保护点】
1.一种高灵敏度微结构式气体传感器，包括基体层(100)，所述基体层(100)部分区域空缺以在其上形成仅依靠狭窄连桥(110)与基体层(100)其部分连接的反应区(130)，其特征在于，所述反应区(130)上设置有用于感触特定气体的触媒层(300)，所述狭窄连桥(110)上设置有向内凹陷但不切断所述狭窄连桥(110)的间隔段落(140)，所述间隔段落(140)内设置有不同于所述狭窄连桥(110)材质的填充体(150)，其中，所述填充体(150)的导热系数被配置为小于所述狭窄连桥(110)的导热系数。
2.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，
...【技术特征摘要】
1.一种高灵敏度微结构式气体传感器，包括基体层(100)，所述基体层(100)部分区域空缺以在其上形成仅依靠狭窄连桥(110)与基体层(100)其部分连接的反应区(130)，其特征在于，所述反应区(130)上设置有用于感触特定气体的触媒层(300)，所述狭窄连桥(110)上设置有向内凹陷但不切断所述狭窄连桥(110)的间隔段落(140)，所述间隔段落(140)内设置有不同于所述狭窄连桥(110)材质的填充体(150)，其中，所述填充体(150)的导热系数被配置为小于所述狭窄连桥(110)的导热系数。
2.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，
3.根据前述权利要求之一所述的气体传感器，其特征在于，
4.根据前述权利要求之一所述的气体传感器，其特征在于，所述基体层(100)负面采用镀膜工艺设置有加热电极，所述加热电极的热源覆盖面积为所述反应区(130)面积。
5.根据前述权利要求之一所述的气体传感器，其特征在于，所述基体层(100)表面设置的所述触媒层(300)之上叠加有用于检测所述触媒层(300)的电性参数变化的检...
【专利技术属性】
技术研发人员：周清峰，杨泽锋，张铭杰，何子江，薛峰，
申请(专利权)人：艾感科技广东有限公司，
类型：发明
国别省市：
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