【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的各种方面和实施方式涉及滤波电路和等离子体处理装置。
技术介绍
1、例如在下述专利文献1中公开了设置在加热器与加热器电源之间的滤波器单元。滤波器单元具有设置在加热器侧的空芯螺线管线圈和设置在空芯螺线管线圈与加热器电源之间的芯进入线圈。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开2014-229565号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的技术问题
2、本专利技术提供一种能够小型化的滤波电路和等离子体处理装置。
3、用于解决技术问题的技术方案
4、本专利技术的一个方面是滤波电路，其设置在使用等离子体来进行基片的处理的等离子体处理装置，等离子体使用第一频率的电功率和比第一频率低的第二频率的电功率而生成，该滤波电路包括第一滤波部和第二滤波部。第一滤波部设置在设置于等离子体处理装置内的导电部件与电功率供给部之间的配线。电功率供给部将控制电功率供给到导电部件，控制电功率是比第二频率低的第三频率的电功率或直流的电功率。第二滤波部设置于第一滤波部与电功率供给部之间的配线。另外，第一滤波部具有与导电部件和第二滤波部之间的配线串联连接且不具有芯材的第一线圈。另外，第二滤波部具有与第一线圈和电功率供给部之间的配线串联连接且具有芯材的第二线圈。另外，第二线圈所包含的导线配置于至少一个芯材的与内侧筒侧的面相反一侧的面，至少一个芯材以包围中空的内侧筒的外侧面的方式环状地配置于内侧筒的周围。
5、专利
6、根据本专利技术的各种方面和实施方式，能够使滤波电路和等离子体处理装置小型化。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种滤波电路，其特征在于：
2.如权利要求1所述的滤波电路，其特征在于：
3.如权利要求2所述的滤波电路，其特征在于：
4.如权利要求1所述的滤波电路，其特征在于：
5.如权利要求4所述的滤波电路，其特征在于：
6.如权利要求1所述的滤波电路，其特征在于：
7.如权利要求1至6中任一项所述的滤波电路，其特征在于：
8.如权利要求7所述的滤波电路，其特征在于：
9.如权利要求7所述的滤波电路，其特征在于：
10.如权利要求9所述的滤波电路，其特征在于：
11.如权利要求1所述的滤波电路，其特征在于：
12.如权利要求1所述的滤波电路，其特征在于：
13.如权利要求1所述的滤波电路，其特征在于：
14.如权利要求1所述的滤波电路，其特征在于：
15.如权利要求1所述的滤波电路，其特征在于：
16.如权利要求1所述的滤波电路，其特征在于：
17.如权利要求1所述的滤波电路，其特征在于：
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种滤波电路，其特征在于：
2.如权利要求1所述的滤波电路，其特征在于：
3.如权利要求2所述的滤波电路，其特征在于：
4.如权利要求1所述的滤波电路，其特征在于：
5.如权利要求4所述的滤波电路，其特征在于：
6.如权利要求1所述的滤波电路，其特征在于：
7.如权利要求1至6中任一项所述的滤波电路，其特征在于：
8.如权利要求7所述的滤波电路，其特征在于：
9.如权利要求7所述的滤波电路，其特征在于：
10...
【专利技术属性】
技术研发人员：山泽阳平，藤原直树，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：
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