【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及诊断包括多个模块的系统。
技术介绍
1、光刻设备是被构造成将期望的图案施加至衬底上的机器。光刻设备可以用于(例如)集成电路(ic)的制造中。光刻设备可以例如将图案形成装置(例如掩模)处的图案(也常常被称为“设计布局”或“设计”)投影至设置在衬底(例如晶片)上的辐射敏感材料(抗蚀剂)层上。物体检查设备例如适用于检查已施加至物体(例如施加至衬底)的图案。
2、随着半导体制造过程继续进步，几十年来，电路元件的尺寸已不断地减小，同时每器件的诸如晶体管之类的功能部件的量已稳定地增加，其遵循通常被称为“莫耳定律”的趋势。为了跟上莫耳定律，半导体行业正追逐使得能够产生越来越小特征的技术。为了将图案投影到衬底上，光刻设备可以使用电磁辐射。这种辐射的波长确定在衬底上被图案化的特征的最小大小。当前在使用中的典型波长是365nm(i线)、248nm、193nm和13.5nm。相比于使用例如具有193nm的波长的辐射的光刻设备，使用具有在4nm至20nm的范围内的波长(例如6.7nm或13.5nm)的极紫外(euv)辐射的光刻设备可以用于在衬底上形成较小特征。
3、由于光刻机器的高复杂度，诊断是相当大的挑战。尤其当涉及不同模块及它们之间的复杂相互作用时，识别出问题的根本原因变得越来越困难。
4、由于症状跨越整个机器的多个模块而扩散(例如通过行进穿过所述机器的干扰)，系统动力学问题是难以诊断的这些复杂的系统范围问题的原型示例。虽然存在追踪重要模块以分析系统行为的测试，但数据的大量和复杂度意味着在机器不操作
技术实现思路
1、为了能够实现诊断，系统的健康状态的良好概略图是至关重要的。复杂信息的任何聚合和净化是困难的且易于丢失信息。本专利技术人已发现光刻系统诊断特别是遇到具有许多和细微相互作用的大量信号，因此不存在避免这种信息丢失的通用聚合方法。
2、对系统的健康状态的概略图的解释通常由对系统、其模块和潜在失效模式具有详细理解的专家进行。然而，由于具有正确专业知识的专家是稀少的，因此获得它们的支持通常花费大量时间。较早的诊断支持线可能能够解决许多问题，然而它们缺乏用于解决大多数困难问题的详细系统动力学知识。本公开的实施例旨在解决这些问题的至少一部分。
3、本专利技术人已发现定制的解决方案不是可扩展方法，这是由于这需要将领域知识隐含地编码至健康指标计算和定制规则的创建中以解释结果。诊断方案的定制创建是：
4、a.易错的：为了创建定制解决方案，有必要将关于系统的特定领域知识隐含地编码至检测规则、统计算法、机器学习等中。这种隐含编码使得难以验证且迫使仅仅包含某些视角，从而将定制解决方案限于特定故障模式。
5、b.难以协作的：由于隐含编码，尚不清楚什么被准确地编码且子模块的诊断解决方案可以如何促成更抽象化的模型。不同专家具有不同视角且将以不同方式编码它们的知识，从而对相互作用和协作显著地具有挑战性。
6、c.不可扩展的：许多系统是类似的但绝不会完全相同。然而，创建用于它们全部的诊断解决方案每次需要新的开发周期。对于系统的较小改变或诊断中的新见解暗示了诊断解决方案的完全更新，并且由于系统的工作(或其见解)常常改变，因此这意味着这种工作方式是不可扩展的。
7、根据本专利技术的一个方面，提供一种用于诊断包括多个模块的系统的计算机实施方法，所述方法包括：接收因果图表，所述因果图表定义：(i)多个节点，每个节点表示所述系统的模块，其中，每个模块由一个或更多个信号表征；和(ii)连接在所述多个节点之间的边，所述边表示性能在模块之间的传播；通过利用基于所述多个模块中的至少一个模块的性能(超出规格)、统计(超出群体)和因果(根本原因)特性之间的历史上确定的关系的诊断知识扩充所述因果图表来生成推理工具；获得所述至少一个模块的健康指标，其中，所述健康指标与和所述至少一个模块相关联的所述一个或更多个信号相关联；以及使用所述健康指标作为至所述推理工具的输入以识别是所述系统的行为的最可能原因的模块。
8、本专利技术的实施例使用特定系统(例如机器)的可用传感器数据和专家知识(所述因果图表)的表示来创建对最可能根本原因的估计，从而显著缩短诊断循环时间并且使得非领域专家能够执行诊断。
9、所述因果图表的每个节点可以与第一计分和第二计分相关联，所述第一计分对所述系统的由所述因果图表中的所述节点表示的所述模块的行为表现超出规格和超出群体的概率进行量化；所所述第二计分对所述系统的由所述因果图表中的所述节点表示的所述模块超出群体但行为表现没有超出规格的概率进行量化。
10、所述因果图表的所述边中的每个边可以被指派权重，所述权重对异常行为从一个模块传播至另一模块的概率进行量化。
11、所述健康指标可以定义所述模块的行为表现超出群体的概率。
12、获得用于每个模块的所述健康指标可以包括：将被映射至相应模块的传感器信号与不呈现异常行为的系统的至少一个对应模块的传感器数据进行比较。
13、所述方法还可以包括：产生所述系统的可能地是所述系统的所述行为的根本原因的模块的列表，以及针对所述列表中的每个模块的置信度值，所述置信度值定义相应模块是异常行为的根本原因的置信度，其中，所识别的模块具有最高置信度值。
14、所述推理工具可以包括网络，所述网络包括：第一类型节点和第一类型边，每个第一类型节点表示所述系统的相关联的模块的行为表现超出规格，所述第一类型边指示超出规格的行为在两个第一类型节点之间传播的概率；和第二类型节点，每个第二类型节点由第二边连接至对应的第一类型节点，所述第二边指示与和所述对应的第一类型节点相关联的且行为表现超出群体的所述模块相关的至少一个概率。
15、所述至少一个概率可以包括：与所述对应的第一类型节点相关联的所述模块的行为表现超出规格和超出群体的概率；和与所述对应的第一类型节点相关联的所述模块的行为表现超出群体但行为表现没有超出规格的概率。
16、所述方法可以包括将每个健康指标指派给所述第二类型节点中的对应的第二类型节点。
17、所述网络可以是贝叶斯网络。
18、所述方法还可以包括：将所述系统的是所述系统的所述行为的最可能根本原因的所述模块的指示输出至使用者。
19、所述系统可以是光刻机器或光刻机器的部件。
20、根据本专利技术的另一方面，提供一种用于诊断包括多个模块的系统的计算机可读储存介质，所述计算机可读储存介质包括在由计算装置的处理器执行时促使所述计算装置执行本文中所描述的方法的指令。
21、根据本专利技术的另一方面，提供一种用于诊断包括多个模块的系统的计算装置，所述计算装置包括处理器，所述处理器被配置成：接收因果图表，所述因果图表定义：(i)多个节点，每个节点表示所述系统的模块，其中，每个模块由一个或更多个信号表征；和(ii)连接在所述多个节点之间的边，所述边表示性能在模块之间的本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于诊断包括多个模块的系统的计算机实施方法，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的计算机实施方法，其中，所述因果图表的每个节点与第一计分和第二计分相关联，所述第一计分对所述系统的由所述因果图表中的所述节点表示的所述模块的行为表现超出规格和超出群体的概率进行量化；所所述第二计分对所述系统的由所述因果图表中的所述节点表示的所述模块超出群体但行为表现没有超出规格的概率进行量化。
3.根据权利要求1或2所述的计算机实施方法，其中，所述因果图表的所述边中的每个边被指派权重，所述权重对异常行为从一个模块传播至另一模块的概率进行量化。
4.根据权利要求1所述的计算机实施方法，其中，所述健康指标定义所述模块的行为表现超出群体的概率。
5.根据权利要求4所述的计算机实施方法，其中，获得用于每个模块的所述健康指标包括：将被映射至相应模块的传感器信号与不呈现异常行为的系统的至少一个对应模块的传感器数据进行比较。
6.根据权利要求1所述的计算机实施方法，还包括：产生所述系统的可能地是所述系统的所述行为的根本原因的模块的列表，以及针对所
7.根据权利要求1所述的计算机实施方法，其中，所述推理工具包括网络，所述网络包括：
8.根据权利要求7所述的计算机实施方法，其中，所述至少一个概率包括：
9.根据权利要求7或8所述的计算机实施方法，其中，所述方法包括将每个健康指标指派给所述第二类型节点中的对应的第二类型节点。
10.根据权利要求7或8所述的计算机实施方法，其中，所述网络是贝叶斯网络。
11.根据权利要求1所述的计算机实施方法，其中，所述方法还包括：将所述系统的是所述系统的所述行为的最可能根本原因的所述模块的指示输出至使用者。
12.根据权利要求1所述的计算机实施方法，其中，所述系统是光刻机器。
13.根据权利要求1所述的计算机实施方法，其中，所述系统是光刻机器的部件。
14.一种用于诊断包括多个模块的系统的计算机可读储存介质，所述计算机可读储存介质包括在由计算装置的处理器执行时促使所述计算装置执行根据权利要求1所述的方法的指令。
15.一种用于诊断包括多个模块的系统的计算装置，所述计算装置包括处理器，所述处理器被配置成：
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于诊断包括多个模块的系统的计算机实施方法，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的计算机实施方法，其中，所述因果图表的每个节点与第一计分和第二计分相关联，所述第一计分对所述系统的由所述因果图表中的所述节点表示的所述模块的行为表现超出规格和超出群体的概率进行量化；所所述第二计分对所述系统的由所述因果图表中的所述节点表示的所述模块超出群体但行为表现没有超出规格的概率进行量化。
3.根据权利要求1或2所述的计算机实施方法，其中，所述因果图表的所述边中的每个边被指派权重，所述权重对异常行为从一个模块传播至另一模块的概率进行量化。
4.根据权利要求1所述的计算机实施方法，其中，所述健康指标定义所述模块的行为表现超出群体的概率。
5.根据权利要求4所述的计算机实施方法，其中，获得用于每个模块的所述健康指标包括：将被映射至相应模块的传感器信号与不呈现异常行为的系统的至少一个对应模块的传感器数据进行比较。
6.根据权利要求1所述的计算机实施方法，还包括：产生所述系统的可能地是所述系统的所述行为的根本原因的模块的列表，以及针对所述列表中的每个模块的置信度值，所述置信度值定义相应模块是异常行为的根...
【专利技术属性】
技术研发人员：P·范赫顿，D·格科鲁，J·K·范舒布洛克，Z·卡瑞文，A·伊普玛，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：
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