【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及微电子器件测试，特别涉及一种pind试验夹具及固定方法。
技术介绍
1、半导体器件在生产、制造和封装过程中可能会有外界物质即可动多余物进入到腔体内部，在服役环境下，这些自由粒子会不断与器件内腔的芯片、键合丝等发生碰撞，严重时可能导致电路不能正常工作，对我国航空航天、卫星以及导弹等装备系统可靠性和安全性产生重大隐患。为此，粒子碰撞噪声检测(pind)设备和技术应运而生，其优势在于准确度高、成本低以及快速性等，是目前检测多余物最主要的方法。
2、一般情况下，军用微电子器件按照gjb548c-2021方法2020.2进行粒子碰撞噪声试验时，大部分类型的器件都借助于粘附介质直接安装在传感器的中心或轴线上，以获得最大的灵敏度。而现有技术中，使用粘附介质如双面胶或水溶胶等均会对器件的外观产生影响，且水溶胶成本高、难清洗；特别是一些器件贴膜后，使用粘附介质会破坏器件的保护膜，对器件的外观甚至功能造成损伤。
技术实现思路
1、针对上述现有技术的不足，本专利技术所要解决的技术问题是：提供一种pind试验夹具及固定方法，用轻量化且可固定于pind设备振动装置的夹具并提出该夹具的固定方法，以此取代粘附介质，极大程度上减小对待测器件的外观影响。
2、为解决上述技术问题，本专利技术采用的一个技术方案是：提供一种pind试验夹具，用于将待检测的半导体器件固定在用于进行粒子碰撞噪声检测试验的振动设备上，包括支架和施压件，所述支架包括交会部和设于所述交会部外周的若干固定臂，若
3、若干所述固定臂的下端均设有固定栓以共同组成固定对，使所述支架能固定于所述振动设备上；所述振动设备贯穿开设有与若干所述固定对一一对应的安装槽，每一所述安装槽均包括内径较大的引导槽和设于所述引导槽一侧并与其连通的内径较小的固定槽，所述引导槽的内径大于所述固定栓的最大外径以使所述固定栓可以从中穿过，所述固定槽的内径同时小于所述固定臂和所述固定栓的最大外径。
4、进一步的，所述振动设备包括设备主体、供待测器件放置其上的振动台和用于连接所述设备主体与所述振动台的连接盘，所述连接盘的直径大于所述振动台的直径，若干所述安装槽均贯穿开设于所述连接盘上以供所述固定臂与所述固定栓固定其上，所述交会部与所述振动台同轴设置，所述施压件设于所述交会部的轴心处以对待测器件的中心位置处施压固定。
5、进一步的，若干个所述固定臂以所述交会部的轴心为圆心呈放射状均匀间隔设置。
6、进一步的，每一所述固定臂均包括由所述交会部径向向外延伸形成的水平部和设于所述水平部远离所述交会部一端的竖直部，若干所述固定栓一一对应地设于若干所述竖直部的下端并可相对所述竖直部上下移动，所述固定栓包括固定块和设于所述固定块一端的可伸入所述竖直部的第一螺杆，所述固定块外径大于所述第一螺杆外径并与所述第一螺杆之间形成一个可与所述竖直部下端抵持的抵持面。
7、进一步的，所述施压件包括与所述交会部螺接的第二螺杆，所述第二螺杆与所述交会部的轴心处螺接以使所述施压件可以相对所述交会部竖直移动。
8、进一步的，所述施压件还包括设于所述第二螺杆长度方向一端且直径不大于所述第二螺杆直径的小端脚以及设于所述第二螺杆长度方向另一端且直径大于所述第二螺杆直径的大端脚。
9、进一步的，所述小端脚的外周套设有第一硅胶套，所述大端脚的外周套设有第二硅胶套。
10、进一步的，所述第一硅胶套的外径大于所述第二螺杆的外径；
11、一种固定方法，用于将待检测的半导体器件固定在用于进行粒子碰撞噪声检测试验的振动设备上，其特征在于：该固定方法包括以下步骤：
12、s100：将所述施压件装设于所述支架上；
13、s200：将支架固定于所述振动设备上以使所述振动设备的振动台位于所述容纳空间内；
14、s300：将待测器件放置于所述振动台中心处；
15、s400：调整施压件的竖直位置以对待测器件的中心位置处进行施压固定。
16、进一步的，所述支架包括交会部和设于所述交会部外周的若干固定臂，每一所述固定臂均包括由所述交会部径向向外延伸形成的水平部和设于所述水平部远离所述交会部一端的竖直部，若干所述竖直部的下端均设有可相对所述竖直部上下移动的固定栓，所述固定栓包括固定块和设于所述固定块一端的可伸入所述竖直部的第一螺杆，所述固定块外径大于所述第一螺杆外径并与所述第一螺杆之间形成一个可与所述竖直部下端抵持的抵持面；
17、所述振动设备的连接盘上开设有用于供所述支架装设的安装槽，每一所述安装槽均包括内径较大的引导槽和设于所述引导槽一侧并与其连通的内径较小的固定槽；所述s200步骤包括以下子步骤：
18、s210、使若干所述固定栓相对相应的竖直部移动，使所述抵持面与竖直部下端有大于所述连接盘厚度的缝隙；
19、s220、移动所述支架使若干所述固定栓从上至下伸入相应的所述引导槽中，并使所述连接盘与所述缝隙水平对齐；
20、s230、将所述支架整体以自身轴心为圆心旋转，使若干所述第一螺杆对应于缝隙的位置处滑入相应的所述固定槽中；
21、s240、将若干所述固定栓相对相应的所述竖直部上移，使所述抵持面与所述竖直部的下端面共同将所述连接盘夹紧。
22、本专利技术的一种pind试验夹具及固定方法，至少具有如下有益效果：用轻量化且可固定于振动设备的夹具来固定待测器件，以此取代粘附介质，极大程度上减小对待测器件的外观影响，具有较强的实用性；且用于施压固定的施压件可以改变竖直方向以适应不同大小的待测器件，适用范围广泛；值得注意的是，该固定方法通过设置特殊形状的安装槽，使得夹具可以整体与振动设备固定和分离，操作方便。
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1.一种PIND试验夹具，用于将待检测的半导体器件固定在用于进行粒子碰撞噪声检测试验的振动设备上，其特征在于：包括支架和施压件，所述支架包括交会部和设于所述交会部外周的若干固定臂，若干固定臂共同围合成一位于所述交会部下方的供待测器件放入的容纳空间；所述施压件可拆卸设于所述交会部并可相对所述交会部竖直移动以施压固定所述待测器件；
2.如权利要求1所述的一种PIND试验夹具，其特征在于：所述振动设备包括设备主体、供待测器件放置其上的振动台和用于连接所述设备主体与所述振动台的连接盘，所述连接盘的直径大于所述振动台的直径，若干所述安装槽均贯穿开设于所述连接盘上以供所述固定臂与所述固定栓固定其上，所述交会部与所述振动台同轴设置，所述施压件设于所述交会部的轴心处以对待测器件的中心位置处施压固定。
3.如权利要求2所述的一种PIND试验夹具，其特征在于：若干个所述固定臂以所述交会部的轴心为圆心呈放射状均匀间隔设置。
4.如权利要求3所述的一种PIND试验夹具，其特征在于：每一所述固定臂均包括由所述交会部径向向外延伸形成的水平部和设于所述水平部远离所述交会部一
5.如权利要求2所述的一种PIND试验夹具，其特征在于：所述施压件包括与所述交会部螺接的第二螺杆，所述第二螺杆与所述交会部的轴心处螺接以使所述施压件可以相对所述交会部竖直移动。
6.如权利要求5所述的一种PIND试验夹具，其特征在于：所述施压件还包括设于所述第二螺杆长度方向一端且直径不大于所述第二螺杆直径的小端脚以及设于所述第二螺杆长度方向另一端且直径大于所述第二螺杆直径的大端脚。
7.如权利要求6所述的一种PIND试验夹具，其特征在于：所述小端脚的外周套设有第一硅胶套，所述大端脚的外周套设有第二硅胶套。
8.如权利要求7所述的一种PIND试验夹具，其特征在于：所述第一硅胶套的外径大于所述第二螺杆的外径。
9.一种固定方法，利用权利要求1中所述的一种PIND试验夹具，用于将待检测的半导体器件固定在用于进行粒子碰撞噪声检测试验的振动设备上，其特征在于：该固定方法包括以下步骤：
10.如权利要求9所述的一种固定方法，其特征在于：所述支架包括交会部和设于所述交会部外周的若干固定臂，每一所述固定臂均包括由所述交会部径向向外延伸形成的水平部和设于所述水平部远离所述交会部一端的竖直部，若干所述竖直部的下端均设有可相对所述竖直部上下移动的固定栓，所述固定栓包括固定块和设于所述固定块一端的可伸入所述竖直部的第一螺杆，所述固定块外径大于所述第一螺杆外径并与所述第一螺杆之间形成一个可与所述竖直部下端抵持的抵持面；
...【技术特征摘要】
1.一种pind试验夹具，用于将待检测的半导体器件固定在用于进行粒子碰撞噪声检测试验的振动设备上，其特征在于：包括支架和施压件，所述支架包括交会部和设于所述交会部外周的若干固定臂，若干固定臂共同围合成一位于所述交会部下方的供待测器件放入的容纳空间；所述施压件可拆卸设于所述交会部并可相对所述交会部竖直移动以施压固定所述待测器件；
2.如权利要求1所述的一种pind试验夹具，其特征在于：所述振动设备包括设备主体、供待测器件放置其上的振动台和用于连接所述设备主体与所述振动台的连接盘，所述连接盘的直径大于所述振动台的直径，若干所述安装槽均贯穿开设于所述连接盘上以供所述固定臂与所述固定栓固定其上，所述交会部与所述振动台同轴设置，所述施压件设于所述交会部的轴心处以对待测器件的中心位置处施压固定。
3.如权利要求2所述的一种pind试验夹具，其特征在于：若干个所述固定臂以所述交会部的轴心为圆心呈放射状均匀间隔设置。
4.如权利要求3所述的一种pind试验夹具，其特征在于：每一所述固定臂均包括由所述交会部径向向外延伸形成的水平部和设于所述水平部远离所述交会部一端的竖直部，若干所述固定栓一一对应地设于若干所述竖直部的下端并可相对所述竖直部上下移动，所述固定栓包括固定块和设于所述固定块一端的可伸入所述竖直部的第一螺杆，所述固定块外径大于所述第一螺杆外径并与所述第一螺杆之间形成一个可与所述竖直部下端抵持的抵持面。
5.如...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈佳，王钢荣，张锋，吴奕漠，张峻山，应广祺，罗俊，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第二十四研究所，
类型：发明
国别省市：
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