【技术实现步骤摘要】
本专利技术一般涉及半导体器件,并且更特别地涉及执行电流和电压测试测量的方法和半导体测试设备。
技术介绍
1、半导体器件通常发现于现代电子产品中。半导体器件执行广泛范围的功能,诸如信号处理、高速计算、发送和接收电磁信号、控制电子器件、光电、以及创建用于电视显示器的视觉图像。半导体器件发现于通信、电力转换、网络、计算机、娱乐和消费产品的领域中。半导体器件还发现于军事应用、航空、汽车、工业控制器和办公设备中。
2、半导体器件要求测试以建立已知的良好管芯或已知的良好单元(kgd/kgu)。测试通常是利用一般目的的测试设备完成的,例如可以执行各种各样的测量的电气设备。一般目的的测试设备的一个示例是数字万用表。一般目的的测试设备体积大、昂贵并且难以设置用于特定测试,特别是当同时测试大量被测器件(dut)时。单独用于许多数字万用表的线缆可能难以布置和处置。一般目的的测试设备可能是不稳定的,要求定期维护和干预,并且易于受人为错误影响。
技术实现思路
【技术保护点】
1.一种半导体测试系统,包括测试夹具,测试夹具包括多个测试位置,每个测试位置包括被测器件(DUT)放置区域和专用于DUT的用以执行电压和电流测试的电气测试电路。
2.如权利要求1所述的半导体测试系统,其中电气测试电路包括电压测量块和电流测量块。
3.如权利要求2所述的半导体测试系统,其中电压测量块包括用于将模拟电压测量转换成数字电压测量的模数转换器。
4.如权利要求2所述的半导体测试系统,其中电流测量块包括:
5.如权利要求1所述的半导体测试系统,进一步包括用于控制测试夹具的测试控制系统。
6.一种半导体测试
...【技术特征摘要】
1.一种半导体测试系统,包括测试夹具,测试夹具包括多个测试位置,每个测试位置包括被测器件(dut)放置区域和专用于dut的用以执行电压和电流测试的电气测试电路。
2.如权利要求1所述的半导体测试系统,其中电气测试电路包括电压测量块和电流测量块。
3.如权利要求2所述的半导体测试系统,其中电压测量块包括用于将模拟电压测量转换成数字电压测量的模数转换器。
4.如权利要求2所述的半导体测试系统,其中电流测量块包括:
5.如权利要求1所述的半导体测试系统,进一步包括用于控制测试夹具的测试控制系统。
6.一种半导体测试系统,包括测试夹具,测试夹具包括多个测试位置,每个测试位置包括被测器件(dut)放置区域和电气测试电路。
7.如权利要求6所述的半导体测试系统,其中电气测试电路包括电压测量块和电流测量块。
8.如权利要求7所述的半导体测...
【专利技术属性】
技术研发人员:李用柱,姜圣贤,成智元,
申请(专利权)人:JCET星科金朋韩国有限公司,
类型:发明
国别省市:
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