【技术实现步骤摘要】
本技术的实施例涉及光学量测，尤其涉及一种光学量测系统。
技术介绍
1、图1示出了使用光束轮廓仪1量测光束12，高斯激光感应器在出货前须以光束轮廓仪(beam profiler)1量测光束特性，由于每个光束轮廓仪1只针对性量测发光单元10发出的一道光束(例如是激光束)12的光斑，收光范围难以一次性涵盖多道光束12，且部分光束12或全部的光束12的光轴无法与光束轮廓仪1的量测面保持正交，而无法量测这些光束12的特性，而且光束轮廓仪1难以判断各特性数据所对应的光斑。另外，光束轮廓仪1除了无法一次量测多颗光斑，而且还价格昂贵。若使用多台光束轮廓仪1分别针对每道光束12量测，设备成本较高，实际量测的光束12的范围为约5mm*3mm，多台光束轮廓仪1难以安装在一起，无法确认所有仪器皆在同一平面上；并且目前的光束轮廓仪1的尺寸会使得彼此相互干涉，虽可以将光束轮廓仪1上下错开，但激光能量会因距离而减弱，造成测试误差。
2、目前对高斯雷射光感应器测试的项目包括使用图2所示的积分球2量测的电性测试和光学测试，其中电性测试包括测试其亮度(luminosity)、电流(i)、电压(v)、光功率和波长。对于光学测试，目前没有可以一次性测试复数个光束12的量测仪器，并且也没有可以测试非正交光束12的量测仪器，即无法处理光束12的光轴与量测仪器非正交的情况，也无法量测光束12的光轴的倾斜角度。
3、光束12分近场与远场，近场的光斑呈现非线性变化，远场的光斑呈现线性变化，光束12的焦距在近场区间，因此需要取得光束12的近场的影像，目前的
技术实现思路
1、针对相关技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种光学量测系统，以至少实现对其光轴与收光单元的收光面不垂直的光束的量测。
2、为实现上述目的，本技术提供了一种光学量测系统，适用于量测发光单元发出的光束，包括：收光单元，用于接收光束，收光单元包括收光面，收光面与光束的光轴不垂直，发光单元相对于收光单元移动。
3、在一些实施例中，发光单元包括透镜，光束在经过透镜折射后，光轴与收光面不垂直。
4、在一些实施例中，收光单元用于接收发光单元发出的复数个光束，复数个光束的光轴之间不平行。
5、在一些实施例中，收光面与每个光束的光轴均不垂直。
6、在一些实施例中，收光面与每个光束的光轴的夹角数值相同。
7、在一些实施例中，收光面以同一平面接收复数个光束。
8、在一些实施例中，收光单元固定，发光单元移动。
9、在一些实施例中，光学量测系统还包括：六轴平台，用于承载发光单元并且控制发光单元移动。
10、在一些实施例中，光学量测系统还包括：另一组收光单元，另一组收光单元一一对应地接收发光单元发出的复数个光束。
11、在一些实施例中，发光单元在发光单元与收光单元之间的连线上移动。
12、在一些实施例中，连线垂直于收光面。
13、在一些实施例中，在发光单元相对于收光单元移动时，收光面与光束的光轴之间的夹角不变。
14、在一些实施例中，发光单元相对于收光单元移动至少6次。
15、在一些实施例中，发光单元相对于收光单元平移。
16、在一些实施例中，光学量测系统还包括：六轴平台，处理单元，与收光单元讯号连接，并且处理单元产生垂直于光束的光轴的假想面
17、在一些实施例中，处理单元用于计算假想面和收光面之间的夹角。
18、在一些实施例中，处理单元还用于计算光束的光轴和收光面之间的夹角。
19、在一些实施例中，处理单元还用于撷取包括光束的影像，并且在影像上划分出多个区间。
20、在一些实施例中，收光单元是ccd相机。
21、在一些实施例中，发光单元发出的光束是激光光束。
22、本技术的有益技术效果在于：
23、本申请的实施例的通过发光单元相对于收光单元移动，且收光单元获取光束的影像，可以得到光束的坐标值数据。
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1.一种光学量测系统，适用于量测发光单元发出的光束，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光学量测系统，其特征在于，所述发光单元包括透镜，所述光束在经过所述透镜折射后，所述光束的光轴与所述收光面不垂直。
3.根据权利要求2所述的光学量测系统，其特征在于，所述收光单元用于接收所述发光单元发出的复数个所述光束，复数个所述光束的光轴之间不平行。
4.根据权利要求2所述的光学量测系统，其特征在于，所述收光面与每个所述光束的光轴的夹角数值相同。
5.根据权利要求1所述的光学量测系统，其特征在于，所述收光单元固定，所述发光单元移动。
6.根据权利要求5所述的光学量测系统，其特征在于，还包括：
7.根据权利要求1所述的光学量测系统，其特征在于，还包括：
8.根据权利要求1所述的光学量测系统，其特征在于，所述发光单元在所述发光单元与所述收光单元之间的连线上移动。
9.根据权利要求1所述的光学量测系统，其特征在于，在所述发光单元相对于所述收光单元移动时，所述收光面与所述光束的光轴之间的夹角不变。<...
【技术特征摘要】
1.一种光学量测系统，适用于量测发光单元发出的光束，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光学量测系统，其特征在于，所述发光单元包括透镜，所述光束在经过所述透镜折射后，所述光束的光轴与所述收光面不垂直。
3.根据权利要求2所述的光学量测系统，其特征在于，所述收光单元用于接收所述发光单元发出的复数个所述光束，复数个所述光束的光轴之间不平行。
4.根据权利要求2所述的光学量测系统，其特征在于，所述收光面与每个所述光束的光轴的夹角数值相同。
5.根据权利要求1所述的光学量测系统，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：李诗婷，钟世宾，王家祥，
申请(专利权)人：日月光半导体制造股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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