高效自动芯片摇盘机收料盒制造技术

高效自动芯片摇盘机收料盒。涉及半导体加工设备。包括：底座，呈板状，固定设置在摇盘机上；收料盒，设有一对，对称固定设置在底座上，并设有芯片朝向所述底座中部方向移动的出料口；所述收料盒的出口处设有若干间隔水平固定设置的导流板；芯片筛盘，可拆卸固定设置在一对所述收料盒之间；顶部设有若干均布间隔设置的芯片位。所述导流板的端部呈弧形结构。所述收料盒包括蓄料区和分料区；所述蓄料区和分料区之间设有弧形缓冲部。本技术通过若干导流板实现摇盘运作过程中有效控制芯片分选方向，同时有效解决原芯片筛盘容易堆积问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体加工设备，尤其涉及高效自动芯片摇盘机收料盒。

技术介绍

1、半导体产业中，关于晶圆加工完成后切割成的单粒，该些单粒的芯片为微小的板体结构，并板体结构的相对两侧面分别为一p面及一n面，由于该两侧面的特性不同，故在将芯片进行后续加工至如电路基板等其他元件上时，需以一正确的面向放置才能产生正确的效能。而现有技术中，关于此种辨识芯片两侧面并将其翻至正确面的加工流程，通过一摇盘机收料盒，该收料盒的中部设有多个芯片孔，通过摇盘机将晶粒在摇盘机收料盒上晃动，由于该些晶粒孔内具有特殊的凹槽形状，因此当芯片在晃动的过程中落入芯片孔中，如果以正确的面向(n面朝下)进入芯片孔中，则便能够与该凹槽形状相配合，并稳固地设置于芯片孔内，但如果以不正确的面向(p面朝下)进入晶粒孔，则会因为其形状与芯片孔内的形状不合，因此无法稳固地设置于芯片孔内，进而会在持续晃动的过程中再度被摇晃出芯片孔。

2、目前收料盒包括一对收料区和芯片筛盘；一对收料区分别位于芯片筛盘的两侧；芯片筛盘上设有若干均布设置的芯片孔位；若干芯片撒落至两侧的收料区，通过晃动将若干芯片晃入芯片孔内本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.高效自动芯片摇盘机收料盒，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的高效自动芯片摇盘机收料盒，其特征在于，所述导流板的端部呈弧形结构。

3.根据权利要求1所述的高效自动芯片摇盘机收料盒，其特征在于，所述顶料板的底面为一平面，通过若干凸轮驱动其在所述蓄料区内上下升降；

4.根据权利要求1所述的高效自动芯片摇盘机收料盒，其特征在于，所述收料盒上设有可拆卸固定连接的透明盖板。

5.根据权利要求4所述的高效自动芯片摇盘机收料盒，其特征在于，所述透明盖板上设有进料口。

【技术特征摘要】

1.高效自动芯片摇盘机收料盒，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的高效自动芯片摇盘机收料盒，其特征在于，所述导流板的端部呈弧形结构。

3.根据权利要求1所述的高效自动芯片摇盘机收料盒，其特征在于，所述顶料板的底面为一平面，通过...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈青青，徐俊，王毅，
申请(专利权)人：扬州扬杰电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：