【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆卡盘，具体涉及一种旋转动密封装置。
技术介绍
1、晶圆卡盘是半导体制造、光学加工、平面显示器制造、太阳能电池板制造、生物医学等领域中使用的一种重要的工具。晶圆卡盘是一种用于夹持硅片、薄膜和其他材料的装置，以保证它们在加工过程中的稳定性和精确性。它通常由夹持器、定位器和调整器等部分组成，能够夹持和定位各种大小、形状和材料的硅片和薄膜。
2、在晶圆检测设备中，晶圆卡盘在工作中往往会有旋转动作，对于旋转角度不大的晶圆卡盘，我们可以使用气管及气管接头给晶圆卡盘供气，使其得以吸附晶圆。而对于一些使用真空吸附固定晶圆卡盘的设备中，同时伴随着转动设备带动晶圆卡盘的大角度旋转，使用气管及气管接头给晶圆卡盘及晶圆卡盘吸附装置供气，此时会面临气管缠绕及气路数量布置难的问题。
3、基于此，需要一种新技术方案。
技术实现思路
1、有鉴于此，本说明书实施例提供一种旋转动密封装置，可有效避免因晶圆卡盘旋转导致的线束缠绕问题。
2、本说明书实施例提供以下技术方案：一种旋转动密封装置，包括基座环和转动环，所述基座环套设于转动环的外侧壁，所述转动环与转动设备连接；
3、所述基座环与转动环之间环向设置有卡盘气道和晶圆气道，所述转动环开设有卡盘吸附孔，所述卡盘吸附孔与卡盘气道连通，所述转动盘开设有晶圆吸附孔，所述晶圆吸附孔通过晶圆吸附阀对晶圆进行吸附。
4、可选地，所述基座环连接有卡盘吸气阀和晶圆吸气阀，所述卡盘吸气阀通过孔道与卡盘气道连通，所述
5、可选地，所述卡盘气道和晶圆气道为开设于基座环内侧壁的环形凹槽。
6、可选地，所述卡盘气道和晶圆气道平行设置。
7、可选地，所述卡盘气道与晶圆气道之间设置、卡盘气道背离晶圆气道的一侧、晶圆气道背离卡盘气道一侧均设置有密封环。
8、可选地，所述转动环的贴近卡盘的一侧设置有环形突出部，所述环形突出部开设有多个弧形凹槽，所述弧形凹槽呈弧形，所述卡盘吸附孔设置于弧形凹槽内。
9、可选地，所述转动环开设有定位孔，所述定位孔用于对卡盘进行定位。
10、可选地，所述转动环和基座台均开设有固定孔，所述基座台上的固定孔用于将转动环固定在基座上，所述转动台上的固定孔用于将转动环固定在转台上。
11、可选地，所述固定孔设置有多个，所述固定孔均匀设置。
12、可选地，所述卡盘吸附孔设置有多个，所述卡盘吸附孔沿转动盘均匀设置。
13、与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：
14、将携带有晶圆的晶圆卡盘放置于转动环上，外部设备对卡盘气道和晶圆气道进行抽气，由于在转动环转动的过程中，卡盘吸附孔始终与卡盘气道连通，晶圆吸附孔始终与晶圆气道连通，卡盘吸附孔对晶圆卡盘进行吸附固定，晶圆吸附孔通过晶圆吸附阀对晶圆进行吸附固定，在转动环转动的过程中线束并不发生转动，从而避免了因晶圆卡盘转动而导致线束缠绕的问题。
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1.一种旋转动密封装置，其特征在于：包括基座环和转动环，所述基座环套设于转动环的外侧壁，所述转动环与转动设备连接；
2.根据权利要求1所述的旋转动密封装置，其特征在于：所述基座环连接有卡盘吸气阀和晶圆吸气阀，所述卡盘吸气阀通过孔道与卡盘气道连通，所述晶圆吸气阀通过孔道与晶圆气道连通。
3.根据权利要求1所述的旋转动密封装置，其特征在于：所述卡盘气道和晶圆气道为开设于基座环内侧壁的环形凹槽。
4.根据权利要求1所述的旋转动密封装置，其特征在于：所述卡盘气道和晶圆气道平行设置。
5.根据权利要求1所述的旋转动密封装置，其特征在于：所述卡盘气道与晶圆气道之间设置、卡盘气道背离晶圆气道的一侧、晶圆气道背离卡盘气道一侧均设置有密封环。
6.根据权利要求1所述的旋转动密封装置，其特征在于：所述转动环的贴近卡盘的一侧设置有环形突出部，所述环形突出部开设有多个弧形凹槽，所述弧形凹槽呈弧形，所述卡盘吸附孔设置于弧形凹槽内。
7.根据权利要求1所述的旋转动密封装置，其特征在于：所述转动环开设有定位孔，所述定位孔用于对卡盘进行定位
8.根据权利要求7所述的旋转动密封装置，其特征在于：所述转动环和基座台均开设有固定孔，所述基座台上的固定孔用于将转动环固定在基座上，所述转动台上的固定孔用于将转动环固定在转台上。
9.根据权利要求8所述的旋转动密封装置，其特征在于：所述固定孔设置有多个，所述固定孔均匀设置。
10.根据权利要求9所述的旋转动密封装置，其特征在于：所述卡盘吸附孔设置有多个，所述卡盘吸附孔沿转动盘均匀设置。
...【技术特征摘要】
1.一种旋转动密封装置，其特征在于：包括基座环和转动环，所述基座环套设于转动环的外侧壁，所述转动环与转动设备连接；
2.根据权利要求1所述的旋转动密封装置，其特征在于：所述基座环连接有卡盘吸气阀和晶圆吸气阀，所述卡盘吸气阀通过孔道与卡盘气道连通，所述晶圆吸气阀通过孔道与晶圆气道连通。
3.根据权利要求1所述的旋转动密封装置，其特征在于：所述卡盘气道和晶圆气道为开设于基座环内侧壁的环形凹槽。
4.根据权利要求1所述的旋转动密封装置，其特征在于：所述卡盘气道和晶圆气道平行设置。
5.根据权利要求1所述的旋转动密封装置，其特征在于：所述卡盘气道与晶圆气道之间设置、卡盘气道背离晶圆气道的一侧、晶圆气道背离卡盘气道一侧均设置有密封环。
6.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡伟雄，卢蒙恩，李明瑞，
申请(专利权)人：魅杰光电科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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