【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及制造半导体器件的方法或设备，尤其涉及一种有机光伏器件活性层高速涂覆的制备方法及装置。
技术介绍
1、有机太阳能电池(oscs)作为下一代光伏技术，在过去的十几年中引起了广泛关注。得益于光伏材料的快速发展以及对器件工程的深入了解等，单结有机太阳能电池可以获得19％以上的光电转换效率。尽管有机太阳能电池在实验室规模的器件效率和稳定性方面取得了巨大成功，但对高通量和具有成本效益的解决方案的迫切需求仍未得到解决，也很少报道。
技术实现思路
1、有鉴于现有技术的上述缺陷，在本专利技术的第一方面，提供了一种联动型逐层狭缝涂布仪，包括涂覆单元1、供液单元2以及控制单元3；
2、所述涂覆单元1包括两个狭缝涂布刀头，第一狭缝涂布刀头11、第二狭缝涂布刀头12设置于基板13的涂覆面上，并夹装于间距可调的联动刀头夹具14之中，使涂覆过程中狭缝涂布刀头间的相对距离可调，并保持涂覆的相对稳定；
3、所述供液单元2包括第一注射器21、第二注射器22，两者通过引液管23依次与第一狭...
【技术保护点】
1.一种联动型逐层狭缝涂布仪，包括涂覆单元(1)、供液单元(2)以及控制单元(3)，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的联动型逐层狭缝涂布仪，其特征在于：所述狭缝涂布刀头的结构包括上模、下模、进液口、间距调节螺母；上模和下模是两个叠在一起并设有缝隙作为涂覆出液口的刀片，上模由将原料液滴刮为均匀液膜的刀片构成，下模则是内部包含容纳原料和保持湿润的空腔的刀片，下模作为原料到达上模前的过渡存放区，不直接与基板上的液膜接触；引液管(23)通过进液口与狭缝涂布刀头连接；间距调节螺母设置于狭缝涂布刀头顶端，用于调节出液口和基板的间距。
3.根据权利要求1...
【技术特征摘要】
1.一种联动型逐层狭缝涂布仪，包括涂覆单元(1)、供液单元(2)以及控制单元(3)，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的联动型逐层狭缝涂布仪，其特征在于：所述狭缝涂布刀头的结构包括上模、下模、进液口、间距调节螺母；上模和下模是两个叠在一起并设有缝隙作为涂覆出液口的刀片，上模由将原料液滴刮为均匀液膜的刀片构成，下模则是内部包含容纳原料和保持湿润的空腔的刀片，下模作为原料到达上模前的过渡存放区，不直接与基板上的液膜接触；引液管(23)通过进液口与狭缝涂布刀头连接；间距调节螺母设置于狭缝涂布刀头顶端，用于调节出液口和基板的间距。
3.根据权利要求1所述的联动型逐层狭缝涂布仪，其特征在于：所述联动刀头夹具(14)包括夹片、联动杆以及固定螺母；夹片设有孔洞，由孔洞套入联动杆之中，使其可随联动杆方向移动；根据狭缝涂布刀头的夹持位置旋调固定螺母，使夹片锁紧。
4.根据权利要求3所述的联动型逐层狭缝涂布仪，其特征在于：所述夹片与联动杆的连接...
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