液处理装置制造方法及图纸

本技术涉及液处理装置。抑制由基板的旋转涂布处理时产生的异物导致的排气路径的堵塞。一种液处理装置，其在基板上涂布涂布液，其中，液处理装置具备：基板保持部，其保持基板并使之旋转；涂布液供给部，其向被基板保持部保持的基板涂布涂布液；以及杯，其包围被基板保持部保持的基板，杯具有：外杯部，其配置于基板保持部的外侧；内杯部，其配置于外杯部的内周侧且是基板保持部的下方，具有向下方延伸的壁体；排气路径，其设于外杯部与内杯部之间；以及涂布液收集部，其设有供排气流穿过的多个开口部，在内杯部的壁体的下方，在与壁体的下端之间空开间隙地向下方延伸，液处理装置具备向涂布液收集部供给涂布液的溶剂的溶剂供给部。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及一种液处理装置。

技术介绍

1、专利文献1公开有一种在基板上涂布涂布液的液处理装置。该液处理装置具备：基板保持部，其保持基板并使之旋转；涂布液供给部，其向被该基板保持部保持的基板涂布涂布液；杯部，其以能够包围被基板保持部保持的基板的方式配置于基板保持部的外侧；排气路径，其设于基板保持部与杯部的内周面之间；涂布液收集部，其在排气路径的上方以覆盖该排气路径的方式设置，并且具有在上下方向上连通的开口部；溶剂供给部，其向涂布液收集部供给涂布液的溶剂；以及中继部，其位于涂布液收集部的上方，自杯部的内周面朝向涂布液收集部突出。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2019-145561号公报

技术实现思路

1、技术要解决的问题

2、本公开的技术抑制由基板的旋转涂布处理时产生的异物导致的排气路径的堵塞。

3、用于解决问题的方案

4、本公开的一技术方案为一种液处理装置，其在基板上涂布涂布液，其特征在于，该液处理装置具备：基板保持部，其保持所述基板并使之旋转；涂布液供给部，其向被该基板保持部保持的所述基板涂布所述涂布液；以及杯，其包围被所述基板保持部保持的所述基板，所述杯具有：外杯部，其配置于所述基板保持部的外侧；内杯部，其配置于所述外杯部的内周侧且是所述基板保持部的下方，具有向下方延伸的壁体；排气路径，其设于所述外杯部与所述内杯部之间；以及涂布液收集部，其设有供排气流穿过的多个开口部，该涂布液收集部在所述内杯部的所述壁体的下方，在与该壁体的下端之间空开间隙地向下方延伸，该液处理装置具备溶剂供给部，该溶剂供给部向所述涂布液收集部供给所述涂布液的溶剂。

5、也可以是，在所述涂布液收集部的上端部具有液体承接部，该液体承接部承接自所述壁体落下的所述溶剂。

6、也可以是，所述液体承接部比所述壁体的外周面向外侧突出。

7、也可以是，所述液体承接部的形状为水平。

8、也可以是，所述开口部的上端形状为水平。

9、也可以是，所述开口部为矩形形状，且短边侧位于该开口部的上端和下端。

10、也可以是，所述多个开口部自所述涂布液收集部的上端部延伸到下端部，

11、各开口部沿着所述涂布液收集部的周向空开间隔地配置。

12、也可以是，该液处理装置具备筒状壁部，该筒状壁部设于所述内杯部的下方，具有与所述排气路径连通的排气口，所述涂布液收集部固定于所述筒状壁部。

13、也可以是，所述涂布液收集部除了与所述筒状壁部之间的固定部以外相对于所述杯为非接触。

14、技术的效果

15、根据本公开，能够抑制由基板的旋转涂布处理时产生的异物导致的排气路径的堵塞。

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【技术保护点】

1.一种液处理装置，其在基板上涂布涂布液，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的液处理装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的液处理装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的液处理装置，其特征在于，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的液处理装置，其特征在于，

6.根据权利要求1～4中任一项所述的液处理装置，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的液处理装置，其特征在于，

8.根据权利要求1～4中任一项所述的液处理装置，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的液处理装置，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种液处理装置，其在基板上涂布涂布液，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的液处理装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的液处理装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的液处理装置，其特征在于，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的液处...

【专利技术属性】
技术研发人员：金正显，牟田行志，高桥大树，川上浩平，新村聪，柴崎健太，上山昇太，宫本哲嗣，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：新型
国别省市：