【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及表面处理阳极氧化，具体涉及一种提升6061铝合金硬质阳极氧化膜层耐蚀性的热处理工艺。
技术介绍
1、6061铝合金阳极材料在ic零件中有着广泛的使用，通过对材料进行硬质阳极氧化，使铝合金表面形成耐腐蚀、绝缘、高硬度的氧化膜，保护设备内腔在腐蚀环境下的长期运行。
2、随着ic装备领域的发展，反应腔的耐蚀性自始至终是尤为重要的，关系到整体设备的使用寿命以及膜层沉积的质量，而目前主流的设计都是将腔室内部进行硬质阳极氧化，以追求其内腔表明性能达到更高的耐腐蚀性、及结合力，而阳极氧化的结合力是毋庸置疑的，因此提升铝合金硬质阳极化膜层的耐腐蚀性能在ic的关键腔体方面就显得尤为重要。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种提升6061铝合金硬质阳极氧化膜层耐蚀性的热处理工艺。
2、具体技术方案如下：
3、一种提升6061铝合金硬质阳极氧化膜层耐蚀性的热处理工艺，具体包括如下步骤：
4、（1）首先对工件进行预热，达到预热温度后保温8h，随炉冷却；
5、（2）然后对工件进行抛光处理；
6、（3）再对工件进行硬质阳极氧化，并做封孔处理。
7、步骤（1）所述预热的温度为300-400℃。
8、步骤（2）所述抛光处理使用砂纸将工件表面的氧化皮及变色缺陷打磨干净，至表面无氧化皮腐蚀点缺陷，ra＜0.8μm。
9、步骤（3）所述硬质阳极氧化稳流1-5a/dm2，硫酸10
10、步骤（3）所述封孔处理使用沸水进行封孔2-4h。
11、所述热处理工艺适用于非承重零件，或对力学性能要求不高且对耐蚀性要求高的工艺基材工件。
12、经过所述热处理工艺后的工件膜层相比于没有进行热处理，耐蚀性提升1-1.5倍；工件基材屈服强度及拉伸强度会下降为30%。
13、与现有技术相比，本专利技术具有如下有益技术效果：
14、本专利技术解决了铝合金氧化膜层的耐腐蚀性能提升的技术问题。通过该热处理工艺，可显著提升氧化膜耐腐蚀性能，阳极膜层的硬度与绝缘性无明显变化，并伴随着基材拉伸强度及屈服强度的下降。
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1.一种提升6061铝合金硬质阳极氧化膜层耐蚀性的热处理工艺，其特征在于，具体包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的提升6061铝合金硬质阳极氧化膜层耐蚀性的热处理工艺，其特征在于：步骤（1）所述预热的温度为300-400℃。
3.根据权利要求1所述的提升6061铝合金硬质阳极氧化膜层耐蚀性的热处理工艺，其特征在于：步骤（2）所述抛光处理使用砂纸将工件表面的氧化皮及变色缺陷打磨干净，至表面无氧化皮腐蚀点缺陷，Ra＜0.8μm。
4.根据权利要求1所述的提升6061铝合金硬质阳极氧化膜层耐蚀性的热处理工艺，其特征在于：步骤（3）所述硬质阳极氧化稳流1-5A/dm2，硫酸100-200g/L。
5.根据权利要求1所述的提升6061铝合金硬质阳极氧化膜层耐蚀性的热处理工艺，其特征在于：步骤（3）所述封孔处理使用沸水进行封孔2-4h。
6.根据权利要求1所述的提升6061铝合金硬质阳极氧化膜层耐蚀性的热处理工艺，其特征在于：所述热处理工艺适用于非承重零件，或对力学性能要求不高且对耐蚀性要求高的工艺基材工件。
7.根
...【技术特征摘要】
1.一种提升6061铝合金硬质阳极氧化膜层耐蚀性的热处理工艺，其特征在于，具体包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的提升6061铝合金硬质阳极氧化膜层耐蚀性的热处理工艺，其特征在于：步骤（1）所述预热的温度为300-400℃。
3.根据权利要求1所述的提升6061铝合金硬质阳极氧化膜层耐蚀性的热处理工艺，其特征在于：步骤（2）所述抛光处理使用砂纸将工件表面的氧化皮及变色缺陷打磨干净，至表面无氧化皮腐蚀点缺陷，ra＜0.8μm。
4.根据权利要求1所述的提升6061铝合金硬质阳极氧化膜层耐蚀性的热处理工艺，其特征在于：步骤（3）所述硬质阳极氧化稳流1-5a/d...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐宏岩，韦宝权，
申请(专利权)人：沈阳富创精密设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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