基于仪器工作电流的电子显微镜操作过程不规范检测方法技术

本发明专利技术公开了一种基于仪器工作电流的电子显微镜操作过程不规范检测方法，属于数据分析领域。本发明专利技术首先从科学仪器管理系统中获取电子显微镜工作电流，根据窗口大小进行前向连接，通过VAE‑LSTM算法结构对电流区间进行异常打分，记录出现异常分数值的电流点。最后通过CWT‑LSTM算法结构，对异常电流进行操作过程不规范分类，从而得到具体的操作不规范类型，并发出提醒。本发明专利技术可较为准确地获取异常电流，并对异常电流进行操作不规范类型预测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于数据分析，具体涉及一种基于仪器工作电流数据的电子显微镜操作过程不规范检测方法。

技术介绍

1、在使用仪器的过程中，每台仪器都有对应的操作过程，在仪器使用者使用仪器的过程中会出现操作过程不规范的现象。操作过程不规范指的是仪器使用者在进行特定任务或操作时，未按照预定的步骤或顺序进行。识别和纠正仪器操作过程不规范现象的重要性不容忽视。首先，正确的操作过程有助于延长仪器的使用寿命，减少维修和更换的频率。其次，正确操作仪器还可以提高使用者的实验效果。通过传感器监测仪器工作电流能帮助我们识别仪器的操作过程不规范现象。

2、电子显微镜在科学研究、工业生产和医学诊断等领域扮演着重要的角色。电子显微镜工作过程主要分为取镜安放、对光、放片、调焦和观察，这些过程会产生相应的工作电流信号，其中"取镜安放"过程中电流相对较小；"对光"过程通过调节透镜的电流以进行聚焦和对准，需要一定的电流来控制电子束的行为，会存在较大的电流突起；"放片"过程中不涉及电流调节，电流相对较小；"调焦"过程需要对电子束进行聚焦和深度调节，电流相对较大；"观察"过程电流持续时间较久本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.基于仪器工作电流的电子显微镜操作过程不规范检测方法，其特征在于该方法包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于：所述步骤(1)的数据集构建及数据预处理具体实现方式为：

3.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于：所述步骤(2)的构建基于VAE-LSTM时序异常检测算法无监督模型的方式为：首先所述编码器使用LSTM网络，对于输入电流，经过LSTM网络进行编码，通过全连接层，将输出映射为对应的隐变量分布参数；

4.根据权利要求3所述的检测方法，其特征在于：步骤(2)中的训练过程，对于输入的只包含正确操作过程电流的电流序列，设置迭代次...

【技术特征摘要】

1.基于仪器工作电流的电子显微镜操作过程不规范检测方法，其特征在于该方法包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于：所述步骤(1)的数据集构建及数据预处理具体实现方式为：

3.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于：所述步骤(2)的构建基于vae-lstm时序异常检测算法无监督模型的方式为：首先所述编码器使用lstm网络，对于输入电流，经过lstm网络进行编码，通过全连接层，将输出映射为对应的隐变量分布参数；

4.根据权利要求3所述的检测方法，其特征在于：步骤(2)中的训练过程，对于输入的只包含正确操作过程电流的电流序列，设置迭代次数，初始化vae-lstm模型的编码器、解码器参数；在迭代过程中随机采样序列样本并遍历，通过编码器、解码器结构后，计算损失函数loss，根...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈科明，叶宗昆，刘岩，孔秀婷，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，
类型：发明
国别省市：