一种集成MEMS压力传感器的柔性超声血压测量装置及制备方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种集成MEMS压力传感器的柔性超声血压测量装置及制备方法。该集成MEMS压力传感器的柔性超声血压测量装置，通过MEMS压力传感器实现压力的精确测量，可以根据压力值对血压测量进行实时补偿，使得测量结果更加准确可靠，最终实现带压力补偿的准确、实时、非侵入式的血压测量。该集成MEMS压力传感器的柔性超声血压测量装置，采用1‑3型压电复合材料提供了更好的压电性能并和人体组织的声学性能相匹配，Cu/PI蛇形电路的可延展性能赋予了器件具备柔性化和可穿戴化的特性，柔性衬底PDMS使器件更加柔软和弹性，增强器件的适应性和贴合性的同时也防止了器件被氧化损坏。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及柔性超声血压测量，更具体地说，涉及一种集成mems压力传感器的柔性超声血压测量装置及制备方法。

技术介绍

1、随着现代生活方式的改变和人口老龄化趋势的加剧，心血管疾病成为全球范围内的重大健康问题。对于心血管疾病的诊断和监测，血压测量是一项重要的指标。传统的血压测量方法通常依赖于充气袖带和听诊器，但存在一些限制，例如需要专业人员操作和限制测量时间的短暂性，并存在固定位置、臂带尺寸选择等问题。

2、为了克服传统血压计的限制，柔性超声血压计成为一种备受关注的技术。柔性超声血压计利用超声波测量血流速度和压力，通过计算得出血压值，它具有柔性、轻便、连续监测等优势，并且能够适应不同部位的血压测量。

3、然而，在测量过程中，压力的变化可能会对血流速度和声波传播产生影响，从而对测量结果产生一定的影响。为了实现准确的血压测量，需要可靠且高精度的压力传感器。在此背景下，集成微机电系统(micro-electro-mechanical system,mems)压力传感器成为一种有前景的解决方案。mems技术结合了微电子学、传感器技术和微纳制本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种集成MEMS压力传感器的柔性超声血压测量装置，包括集成在基底上的MEMS压力传感器和柔性压电阵列超声波传感器，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种集成MEMS压力传感器的柔性超声血压测量装置，其特征在于：所述MEMS压力传感器包括压力空腔、压敏电阻以及金属引线，所述压敏电阻位于所述压力空腔上表面，并与延伸出的所述金属引线直接接触。

3.根据权利要求2所述的一种集成MEMS压力传感器的柔性超声血压测量装置，其特征在于：所述压力传感器中的压力空腔为半圆结构，所述的压力空腔内部为真空，所述的压敏电阻数量为2个，均位于所述压力空腔外部上表面且互相间隔一定距离...

【技术特征摘要】

1.一种集成mems压力传感器的柔性超声血压测量装置，包括集成在基底上的mems压力传感器和柔性压电阵列超声波传感器，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种集成mems压力传感器的柔性超声血压测量装置，其特征在于：所述mems压力传感器包括压力空腔、压敏电阻以及金属引线，所述压敏电阻位于所述压力空腔上表面，并与延伸出的所述金属引线直接接触。

3.根据权利要求2所述的一种集成mems压力传感器的柔性超声血压测量装置，其特征在于：所述压力传感器中的压力空腔为半圆结构，所述的压力空腔内部为真空，所述的压敏电阻数量为2个，均位于所述压力空腔外部上表面且互相间隔一定距离，所述金属引线延伸至所述压力空腔上表面，所述金属引线与所述压敏电阻直接接触。

4.根据权利要求1所述的一种集成mems压力传感器的柔性超声血压测量装置，其特征在于：所述柔性压电阵列超声波传感器包括与人体组织的声学性能匹配的1-3型压电复合材料压电阵列层、可延展的cu/pi蛇形电极层、用于温度保护的粘结层以及pdms柔性衬底层。

5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：董林玺，岳晨曦，颜海霞，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，
类型：发明
国别省市：