System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种降低集成二极管结温和关断损耗的逆导型绝缘栅双极型晶体管新结构制造技术_技高网

一种降低集成二极管结温和关断损耗的逆导型绝缘栅双极型晶体管新结构制造技术

技术编号:40426826 阅读:8 留言:0更新日期:2024-02-20 22:47
本发明专利技术提供了一种降低集成二极管结温和关断损耗的逆导型绝缘栅双极型晶体管新结构,相对于常规逆导型绝缘栅双极型晶体管结构,在器件背面设计高密度的浮岛N型区构成二极管区域和使用局部寿命控制技术。局部寿命控制技术仅在集成二极管阴极侧区域内形成复合中心,寿命控制范围比传统的电子束辐照小,这使得阴极侧的载流子寿命减少,从而减小集成二极管关断损耗。逆导型绝缘栅双极型晶体管背面集电极N型区由条状改为高密度排列的浮岛N型区,增加了集成二极管区和绝缘栅双极型晶体管区之间的边界长度,以此来改善从集成二极管区域与绝缘栅双极型晶体管区域的散热,达到降低结温的效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体领域,具体涉及一种降低集成二极管结温和关断损耗的逆导型绝缘栅双极型晶体管新结构


技术介绍

1、在绝缘栅双极型晶体管的应用电路中,缘栅双极型晶体管旁都会反并联一个二极管作为续流保护。因为缘栅双极型晶体管反向工作时等效为一个开基区pnp三极管,并没有像vdmos那样的体二极管,因此没有续流能力。逆导型绝缘栅双极型晶体管相当于将普通的绝缘栅双极型晶体管和续流二极管集成在一起,使器件具有反向导通能力。应用逆导型绝缘栅双极型晶体管可以节省系统所用的器件的个数,使系统的功耗降低,同时也可以消除由于绝缘栅双极型晶体管和二极管独立封装带来的寄生效应。

2、逆导型绝缘栅双极型晶体管面临的问题之一是集成二极管反向恢复损耗较大,这限制其在高功率大电流场合下的应用。逆导型绝缘栅双极型晶体管反向反向恢复损耗较大是由于集成二极管和绝缘栅双极型晶体管共用一个高掺杂浓度p+型发射极。为了减少集成二极管反向恢复损耗,采用全局寿命控制的方法,但这会增加正向导通电压。另外在高电流密度和大芯片尺寸的条件下,需要降低器件的结温来实现高功率密度模块。因此,需要进一步研究漂移层载流子分布和二极管布局,以优化逆导型绝缘栅双极型晶体管集成二极管反向恢复损耗和结温。


技术实现思路

1、针对降低逆导型绝缘栅双极型晶体管结温和集成二极管反向恢复损耗,本专利技术提供了一种降低集成二极管结温和关断损耗的逆导型绝缘栅双极型晶体管新结构,如图1,图2所示。

2、本专利技术解决上述技术问题所采用的技术方案是:一种降低集成二极管结温和关断损耗的逆导型绝缘栅双极型晶体管新结构,其元胞结构包括集电极结构,漂移区结构,发射极结构和栅极结构,其中集电极结构位于漂移区之下,发射极结构和栅极结构位于漂移区结构之上;所诉漂移区结构包括n型缓冲层(4)和n型漂移区(5),所诉n型缓冲层(4)位于n型漂移区(5)下表面;所诉集电极结构包括集电极金属(1)、p+型集电极(2)和n+型集电极(3),所诉p+型集电极(2)位于n型缓冲层(4)下表面;所诉n+型集电极(3)位于p+型集电极(2)内;所诉集电极金属(1)与p+型集电极(2)和n+型集电极(3)的下表面相连;所诉发射极结构有绝缘栅双极型晶体管部分和集成二极管部分,包括载流存储层(8)、p型基区(9)、p+型发射极(10)、n+型发射极(11)和发射极金属(12),所诉载流存储层(8)位于n型漂移区(5)的上表面;所诉p型基区(9)位于载流存储层(8)上方;所诉p+型发射极(10)位于p型基区(9)内部正上方;所诉n+型发射极(11)位于p型基区(9)内部上方的两侧,集成二极管部分没有n+型发射极(11);所诉发射极金属(12)与p型基区(9)、p+型发射极(10)和n+型发射极(11)的上表面相连接;所诉栅极结构为沟槽栅结构,包括二氧化硅层(6)和多晶硅导电材料(7),所诉多晶硅导电材料(7)位于二氧化硅层(6)内,引出端为器件的栅极,集成二极管区域的栅极直接与发射极金属(12)相接触;所诉二氧化硅层(8)垂直穿过p型基区(10)和载流存储层(8),与n型漂移区(5)相接触,二氧化硅层(8)的侧面与载流存储层(8)、p型基区(10)和n+型发射极(12)相接触。

3、本专利技术的技术方案相对常规逆导型绝缘栅双极型晶体管,主要针对逆导型绝缘栅双极型晶体管的集电极侧进行改进。一是在器件背面使用局部寿命控制技术来代替传统的全局寿命控制技术,这种技术仅在器件背面形成复合中心;二是采用高密度排列的浮岛型二极管来代替传统的条状二极管,通过延长二极管区和igbt区之间的边界,改善集成二极管区与绝缘栅双极型晶体管区的散热。

4、本专利技术的有益效果为:本专利技术提供了一种降低集成二极管结温和关断损耗的逆导型绝缘栅双极型晶体管新结构新,相对于常规逆导型绝缘栅双极型晶体管新结构结构,在器件背面设计高密度的浮岛n型区构成二极管区域和使用局部寿命控制技术。局部寿命控制技术仅在集成二极管阴极侧区域内形成复合中心,寿命控制范围比传统的电子束辐照小,这使得阴极侧的载流子寿命减少,从而减小集成二极管关断损耗。逆导型绝缘栅双极型晶体管背面集电极n型区由条状改为高密度排列的浮岛n型区,增加了集成二极管区和绝缘栅双极型晶体管区之间的边界长度,以此来改善从集成二极管区域与绝缘栅双极型晶体管区域的散热,达到降低结温的效果。

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【技术保护点】

1.一种降低集成二极管结温和关断损耗的逆导型绝缘栅双极型晶体管新结构,其元胞结构包括集电极结构,漂移区结构,发射极结构和栅极结构,其中集电极结构位于漂移区之下,发射极结构和栅极结构位于漂移区结构之上;

2.根据权利要求1所述的一种降低集成二极管结温和关断损耗的逆导型绝缘栅双极型晶体管新结构,其特征在于,在背面集电极区域使用局部寿命控制技术。

3.根据权利要求1所述的一种降低集成二极管结温和关断损耗的逆导型绝缘栅双极型晶体管新结构,其特征在于,器件背面集电极侧的集成二极管区域为高密度排列的浮岛形状。

【技术特征摘要】

1.一种降低集成二极管结温和关断损耗的逆导型绝缘栅双极型晶体管新结构,其元胞结构包括集电极结构,漂移区结构,发射极结构和栅极结构,其中集电极结构位于漂移区之下,发射极结构和栅极结构位于漂移区结构之上;

2.根据权利要求1所述的一种降低集成二极管结温和关...

【专利技术属性】
技术研发人员:伍伟舒玉露高崇兵
申请(专利权)人:电子科技大学
类型:发明
国别省市:

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