一种微型解吸附离子迁移谱仪制造技术

本发明专利技术公开一种微型解吸附离子迁移谱仪。该离子迁移谱仪包括解吸附离子迁移管、电路系统和气路系统。解吸附离子迁移管由置有激励、电极和孔洞的三层由六条支撑梁支撑并形成两个矩形气流通道的基板组成，电路系统在解吸附离子迁移管内产生激励电场、分离电场、补偿电场和检测电场，气路系统为解吸附离子迁移管提供解吸附载气和分离载气。解吸附载气在激励电场的作用下成为解吸附气，解吸附气对凝聚态被测物质作用使其成为离子流，离子流在分离载气带动下进入分离电场和补偿电场并在其作用下分离，最后到达检测电场被检测。这种微型解吸附离子迁移谱仪满足了高场不对称波形离子迁移谱仪对凝聚态物质的现场检测的快速简洁、微型化和集成化的需求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及现场检测仪器领域，更具体涉及对凝聚态物质现场检测的微型高场不 对称波形离子迁移谱仪。
技术介绍
离子迁移谱仪是一种广谱快速的现场检测仪器，是利用不同物质离子的离子迁移 率差别对其进行分离检测的仪器，相比于质谱、色谱等广谱分析检测仪器，离子迁移谱仪具 有速度快、灵敏度高、便捷的优点，已经广泛用于机场、海关等公共场所的安全检测以及工 厂、密闭空间的挥发性气体监测。离子迁移谱按工作原理分为两大类常规离子迁移谱和 高场不对称波形离子迁移谱，分别工作于勻强低电场(< lOOOV/cm)和高频非对称高电场 (> 10000V/cm)下。离子迁移谱检测的是物质离子，而产生物质离子的装置称为离子源，因而离子源 的离子化范围决定了离子迁移谱的检测范围。现有的离子迁移谱离子源包括辐射电离源、 紫外电离源和电晕放电电离源等，这些电离源作用的都是气态物质，而对于凝聚态物质的 检测则必须增加采样、提纯及加热气化的进样过程，这种进样过程存在几个基本问题其 一，饱和蒸气压小的物质大多沸点高难以加热气化；其二，对于大多数有机物，尤其是分子 量较大的有机物受热易分解，无法加热气化；其三，大本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微型解吸附离子迁移谱仪，包括气路系统、电路系统和解吸附离子迁移管，其中解吸附离子迁移管包含常压解吸附离子源和高场不对称波形离子迁移管，其特征是：所述解吸附离子迁移管由置有激励（６）、电极和孔洞的三层由六条支撑梁支撑并形成两个矩形气流通道的基板组成，所述的三层基板即第一基板（５）、第二基板（１３）和第三基板（１６），所述的电极即分离电极（２２）和检测电极（１８），所述的分离电极包含分离上电极和分离下电极，所述的检测电极包括检测上电极和检测下电极，所述的第一基板置有激励（６）和上进气口（１１），所述的第二基板置有分离上电极和检测上电极，所述的第三基板置有分离下电极、检测下电极和下出气孔（１５）...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈池来，程玉鹏，赵聪，孔德义，王焕钦，高钧，殷世平，
申请(专利权)人：中国科学院合肥物质科学研究院，
类型：发明
国别省市：34[中国|安徽]