具有剥离层的成型用模具或电铸母模制造技术

本发明专利技术涉及成型用模具或电铸母模，其特征在于，使模具或母模与含有式［１］Ｒｎ－Ｓｉ－Ｘ４－ｎ……［１］（式［１］中，Ｒ表示可以具有取代基的Ｃ１～２０烃基、可以具有取代基的Ｃ１～２０卤代烃基、含有连接基的Ｃ１～２０烃基或含有连接基的Ｃ１～２０卤代烃基，Ｘ表示羟基、卤素原子、Ｃ１～Ｃ６的烷氧基或酰氧基，ｎ表示１～３的整数。）表示的硅烷类表面活性剂及可以与该硅烷类表面活性剂进行相互作用的催化剂的有机溶剂溶液进行接触，从而使模具表面或母模表面形成含有耐磨损性及剥离性能优异的有机薄膜的脱模层。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及模具表面或母模表面形成了含有有机薄膜的脱模层的成型用模具或 电铸母模，特别是树脂成型用模具，以及它们的制造方法。本申请针对2004年12月28日提出的日本专利申请第2004-381941号及2005年 4月19日提出的日本专利申请第2005-121597号要求优先权，并在本文中引用其内容。
技术介绍
以往，关于耐剥离性优异、且透明性高，而不损害基板表面光泽及基板透明性的化 学吸附单分子膜的制造，已知有几种方法(例如，参见专利文献1 3)。但是，以往的化学 吸附单分子膜制造方法是通过氯化硅烷类表面活性剂和基板表面的活性氢的脱盐酸反应 来形成覆膜的，因此存在制膜时产生有害的氯化氢气体的问题。另外，还尝试了使烷氧基硅烷界面活性剂进行脱醇反应来形成分子膜，但是存在 着反应速度慢、不能以简单方式成膜的问题。为了解决该问题，还考虑了使用脱醇催化剂， 但是仅仅添加脱醇催化剂时，表面活性剂会因空气中的水分而进行自交联，从而失活。艮口， 如果表面活性剂变得含水，则与基板表面反应之前表面活性剂就进行了自交联，存在着阻 碍基板表面的固液界面上的反应，从而难以形成化学吸附膜的问题。另一方面，作为在含有活性氢的基板表面上形成化学吸附膜的方法，已公开了使 至少含有烷氧基硅烷类表面活性剂、不含活性氢的非水性溶剂、硅烷醇缩合催化剂的混合 溶液与上述基板表面进行接触，从而在上述基板表面上形成通过硅氧烷键进行共价键合的 化学吸附膜的化学吸附膜制造方法，作为硅烷醇缩合催化剂，可以例示选自羧酸金属盐、羧 酸酯金属盐、羧酸金属盐聚合物、羧酸金属盐螯合物、钛酸酯及钛酸酯螯合物类中的至少一 种物质(例如，参见专利文献4)。另外，作为在基板表面上形成具有结晶性的化学吸附膜的方法，已知的有在滴有 精制水的硅晶片表面上将硅烷类表面活性剂的有机溶剂溶液铺展，从而形成结晶性单分子 膜的方法(例如，参见非专利文献1)。作为形成疏水性覆膜的方法，已知的是使用在酸催化剂存在下水解的含氟烷基的 硅烷化合物的水解产物单体或聚合物，通过硅醇基将由单分子层构成的疏水性覆膜固定在 基板表面的方法(例如，参见专利文献5、6)。另外，对于使模具的亲水性无机表面适合于合成树脂构造物的脱模，已知的有在 无水情况下对亲水性无机表面进行硅烷化合物处理，通过氧桥将硅烷化合物的单分子层化 学结合在亲水性无机表面上，在这种模具上设置脱模层的方法，在该方法中在减压下用硅 烷化合物的蒸气处理亲水性无机表面，也有用溶解于有机溶剂中形成的硅烷化合物的溶液 处理亲水性无机表面的方法(例如，参见专利文献7)。另外，已知的还有在对作为金属电解4液中的电解材料的金属及母模(用于得到目标形状的制品的基础物件)进行通电，从而使 金属电解，作为金属离子溶解在电解液中，并将金属电极沉积在母模上，使电极沉积的金属 部分形成目标制品的电铸技术中，必须使电极沉积金属从母模上剥离，这种电极沉积金属 从母模上的剥离决定着电铸的品质(例如，参见非专利文献2)。专利文献1 特开平4-132637号公报专利文献2 特开平4-221630号公报专利文献3 特开平4-367721号公报专利文献4 特开平8-337654号公报专利文献5 特开平11-228942号公报专利文献6 特开平11-322368号公报专利文献7 特开昭62-236713号公报非专利文献1 :Bull. Chem. Soc. Jpn.，74，1397-1401 (2001)非专利文献2 表面技术，Vol. 52，No. 11，726-729 (2001)
技术实现思路
本专利技术的课题是提供成型用模具表面或电铸母模表面形成了含有耐磨损性及剥 离性优异的有机薄膜的脱模层的成型用模具或电铸母模，优选树脂成型用模具，以及它们 的制造方法。为了解决上述问题，本专利技术人等进行了深入的研究，结果发现在含有正十八烷基 三甲氧基硅烷和由四异丙氧基钛及正十八烷基三甲氧基硅烷形成的溶液的甲苯溶液中，将 模具表面施加了 P m级以下的微细图案的镍制模具浸渍5分钟，浸渍后进行超声波清洗，从 而形成含有耐磨损性优异的有机薄膜的脱模层，将具有该脱模层的镍制模具表面的微细图 案转印到丙烯酸树脂上，为制备液晶显示屏用丙烯酸导光板而从镍制模具上剥离时，显示 出了极好的剥离性能，从而完成了本专利技术。也就是说，本专利技术涉及(1)成型用模具或电铸母模，其特征在于使模具或母模与 含有式Rn-Si_X4_n……(式中，R表示可以具有取代基的C1 20烃基、可以具有取代基的C1 20 卤代烃基、含有连接基的C1 20烃基或含有连接基的C1 20卤代烃基，X表示羟基、卤 素原子、C1 C6的烷氧基或酰氧基，n表示1 3的整数。)表示的硅烷类表面活性剂及 可以与该硅烷类表面活性剂进行相互作用的催化剂的有机溶剂溶液进行接触，从而使模具 表面或母模表面形成含有有机薄膜的脱模层。另外，本专利技术还涉及⑵上述⑴所述的成型用模具或电铸母模，其特征在于，成 型模具为树脂成型用模具；(3)上述(1)或(2)所述的成型用模具或电铸母模，其特征在 于，式所示的硅烷类表面活性剂为正十八烷基三甲氧基硅烷；(4)上述(1) (3)中 任一项所述的成型用模具或电铸母模，其特征在于，可以与硅烷类表面活性剂进行相互作 用的催化剂是选自以下物质中的至少一种金属氧化物、金属氢氧化物、金属醇盐类、螯合 化或配位化的金属化合物、金属醇盐类的部分水解产物、用金属醇盐类的2倍当量以上的 水处理该金属醇盐类所得到的水解产物、有机酸、硅烷醇缩合催化剂及酸催化剂；(5)上述⑴ ⑶中任一项所述的成型用模具或电铸母模，其特征在于，可以与硅烷类表面活性剂 进行相互作用的催化剂是含有(a)选自金属氧化物、金属氢氧化物、金属醇盐类、螯合化或 配位化的金属化合物、金属醇盐类的部分水解产物、用金属醇盐类的2倍当量以上的水处 理该金属醇盐类所得到的水解产物、有机酸、硅烷醇缩合催化剂及酸催化剂中的至少一种 物质和(b)上述硅烷类表面活性剂的组合物；(6)上述(4)或(5)所述的成型用模具或电 铸母模，其特征在于，金属醇盐类是钛醇盐类；(7)上述(6)所述的成型用模具或电铸母模， 其特征在于，钛醇盐类是四异丙氧基钛；(8)上述(1) (7)中任一项所述的成型用模具或 电铸母模，其特征在于，有机溶剂溶液为烃类溶剂溶液；(9)上述(8)所述的成型用模具或 电铸母模，其特征在于，烃类溶剂为甲苯；(10)上述⑴ (9)中任一项所述的成型用模具 或电铸母模，其特征在于，将有机溶剂溶液中的水分量设定或保持为50ppm至对有机溶剂 饱和的水分含量；(11)上述(1) (10)中任一项所述的成型用模具或电铸母模，其特征在 于，模具或母模是镍制模具或母模、不锈钢制模具或母模、或者玻璃制模具或母模；(12)上 述(2) (11)中任一项所述的成型用模具或电铸母模，其特征在于，树脂为丙烯酸树脂; (13)上述(1) (12)中任一项所述的成型用模具或电铸母模，其特征在于，通过将模具或 母模浸渍于有机溶剂溶液中，使模具或母模与有机溶剂溶液接触；(14)上述(13)所述的成 型用模具或电铸母模，其特征在于，浸渍5分钟；(15)上述(1) (14)中任一项所述的成 型用模具或电铸母模，其特征在于，本文档来自技高网...

【技术保护点】
成型用模具，其特征在于，使在成型用模具表面施加有μｍ级以下的微细图案的成型用模具与含有式［１］Ｒ↓［ｎ］－Ｓｉ－Ｘ↓［４－ｎ］……［１］表示的硅烷类表面活性剂及可以与该硅烷类表面活性剂进行相互作用的催化剂的有机溶剂溶液进行接触，从而使成型用模具表面形成含有有机薄膜的脱模层，所述式［１］中，Ｒ表示可以具有取代基的Ｃ１～２０烃基、可以具有取代基的Ｃ１～２０卤代烃基、含有连接基的Ｃ１～２０烃基或含有连接基的Ｃ１～２０卤代烃基，Ｘ表示羟基、卤素原子、Ｃ１～Ｃ６的烷氧基或酰氧基，ｎ表示１～３的整数。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：肥高友也，中本宪史，藤田佳孝，
申请(专利权)人：日本曹达株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]