串联式压电作动隔振器制造技术

本发明专利技术涉及微振动隔离技术领域，尤其涉及一种串联式压电作动隔振器，包括垂向隔振组件、水平隔振组件、传感器组件、隔振器支撑组件以及控制系统；其中，垂向隔振组件和水平隔振组件安装在隔振器支撑组件的内部，用于阻隔地面带给放置在隔振器支撑组件上的负载的水平方向和垂直方向的微小振动；水平隔振组件包括完成被动隔振的弹簧隔振组件和完成主动隔振的压电器隔振组件；传感器组件与隔振器支撑组件相连，用于实时监控并向控制系统传递信号，控制系统根据信号调整垂向隔振组件和水平向隔振组件的隔振效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微振动隔离，尤其涉及一种串联式压电作动隔振器。

技术介绍

1、精密仪器对微小振动极其敏感，所以对于超出系统容许范围的振源要采取隔振措施以保证精密仪器的正常运作。而且振源会是多角度的，需要从多个方向进行隔振。在高频振动方面通常采用被动隔振系统，被动隔振系统具有可靠性高，无需能源的特点。但其在低频振动方面的效果不甚理想，甚至会产生共振峰放大振动效果。故在低频振动方面要采用主动隔振技术，主动隔振采用压电作动器，压电作动器具有响应快输出力大控制精度高的特点。故需要设计一种串联式压电作动隔振器，对超出精密仪器系统容许范围的振源进行隔振。

技术实现思路

1、本专利技术为解决上述问题，提供一种串联式压电作动隔振器，在垂向和水平向隔振组件中采用力传感器配合压电作动器构成力反馈和速度反馈，通过振动控制器控制压电作动器完成主动抑制低频振动，通过橡胶垫完成被动抑制高频振动。

2、本专利技术提供的串联式压电作动隔振器，包括垂向隔振组件、水平隔振组件、传感器组件以及隔振器支撑组件；其中，垂向隔振组件和水平隔振本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种串联式压电作动隔振器，其特征在于，包括垂向隔振组件、水平隔振组件、传感器组件、隔振器支撑组件以及控制系统；其中，

2.根据权利要求1所述的串联式压电作动隔振器，其特征在于，所述隔振器支撑组件包括壳体、顶部橡胶以及支撑架；其中，

3.根据权利要求2所述的串联式压电作动隔振器，其特征在于，所述垂向隔振组件包括垂向压电作动器和压电器安装块；其中：

4.根据权利要求2所述的串联式压电作动隔振器，其特征在于，所述弹簧隔振组件包括压缩弹簧基座、压缩弹簧以及压缩弹簧端盖；所述压缩弹簧的一端伸入第一水平安装槽中，通过所述压缩弹簧端盖与所述支撑架连接固定；所述压...

【技术特征摘要】

1.一种串联式压电作动隔振器，其特征在于，包括垂向隔振组件、水平隔振组件、传感器组件、隔振器支撑组件以及控制系统；其中，

2.根据权利要求1所述的串联式压电作动隔振器，其特征在于，所述隔振器支撑组件包括壳体、顶部橡胶以及支撑架；其中，

3.根据权利要求2所述的串联式压电作动隔振器，其特征在于，所述垂向隔振组件包括垂向压电作动器和压电器安装块；其中：

4.根据权利要求2所述的串联式压电作动隔振器，其特征在于，所述弹簧隔振组件包括压缩弹簧基座、压缩弹簧以及压缩弹簧端盖；所述压缩弹簧的一端伸入第一水平安装槽中，通过所述压缩弹簧端盖与所述支撑架连接固定；所述压缩弹簧基座穿过所述第一通孔与所述压缩弹簧的另一端连接固定。

5.根据权利要求2所述的串联式压电作动隔振器，其特征在于，所述压电器隔振组件包括压电器安装块、水平向压电作动器和压电端盖；其中，所述水平向压电作动器的输出端伸入所述第二水平安装槽中，并通过所述压电器安装块与所述支撑块相连；所述压电端盖穿过所述第二通孔，并通过螺栓固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐振邦，张宇博，王琳涛，于鹏，贺帅，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：