用于MFC的电压调节电路及数字式高压控制电路制造技术

本发明专利技术涉及电压调节电路技术领域，尤其涉及用于MFC的电压调节电路及数字式高压控制电路，包括：PID电路、升压扩源电路、电压采集电路和信号调理电路，电压采样电路和信号调理电路构成反馈回路，在信号调理电路中设置放大倍数的数字电位器，通过数字的方式改变反馈系数，从而调节输出电压值。本发明专利技术解决现有MFC的PZT电压驱动电路无法实现电压可调的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电压调节电路，尤其涉及用于mfc的电压调节电路及数字式高压控制电路。

技术介绍

1、在工业生产中，气体的输入量需要使用质量流量控制器（mfc）；mfc主要由两部分组成：用于限定流量的阀门，串联着用于测量和反馈的流量计。

2、压电阀是一种利用压电材料将机械能转化为电能或电能转化为机械能的装置；由于压电阀是利用压电效应控制流体的流动，相比起传统的机械阀门和电磁阀，具有响应速度更快的优势；在高速流量下工作时，压电阀可以实现迅速的开关动作，精度也更高。

3、压电阀使用的压电陶瓷类型不同， 驱动电压也各不相同；150v、200v、300v、400v等；即使对于同一种压电陶瓷，也有相当数量的客户在实际应用中，出于安全等角度的考虑，有改变驱动压电陶瓷电压的需求。

4、如果采用软件的方式在现有电路基础上控制输出电压，需要限制dac的输出值，既会降低输出电压分辨率，也会降低adc对输出电压采样的分辨率，导致电路的硬件性能的下降。

5、例如采用硬件的方式在图1的现有电路上控制输出电压，则既需要改变反馈回路的电阻比例本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.用于MFC的电压调节电路，其特征在于，包括：电压调节电路，电压调节电路包括：PID电路、升压扩源电路、电压采集电路和信号调理电路，电压采样电路和信号调理电路构成反馈回路，在信号调理电路中设置放大倍数的数字电位器，通过数字的方式改变反馈系数，从而调节输出电压值。

2.根据权利要求1所述的用于MFC的电压调节电路，其特征在于，PID电路包括：运放U22A、电阻R12、电阻R57和电容C32；升压扩源电路包括：电阻R54、电容C77和二极管D20、三极管Q6、三极管Q7和三极管Q8、电阻R128；电压采集电路包括：二极管D21、电阻R129、电阻R133、电阻R135；信号调理...

【技术特征摘要】

1.用于mfc的电压调节电路，其特征在于，包括：电压调节电路，电压调节电路包括：pid电路、升压扩源电路、电压采集电路和信号调理电路，电压采样电路和信号调理电路构成反馈回路，在信号调理电路中设置放大倍数的数字电位器，通过数字的方式改变反馈系数，从而调节输出电压值。

2.根据权利要求1所述的用于mfc的电压调节电路，其特征在于，pid电路包括：运放u22a、电阻r12、电阻r57和电容c32；升压扩源电路包括：电阻r54、电容c77和二极管d20、三极管q6、三极管q7和三极管q8、电阻r128；电压采集电路包括：二极管d21、电阻r129、电阻r133、电阻r135；信号调理电路包括：运放u22b、数字电位器u23和排阻ra2、电阻r11和电容c125；其中，电阻r57的一端与u21a的反向输入端连接，u22a的反向输入端和输出端并联电容c32，电容c77和二极管d20并联的共上端分别与电阻r54的一端和三极管q8的基极连接，电阻r54的另一端还与u22a输出端连接，三极管q8的集电极与电阻r128连接后与三极管q6的集电极连接，三极管q8的集电极还与三极管q6、q7的基极连接，三极管q6、q7的共发射极与电阻r129的一端连接，电阻r129的另一端分别与二极管d21的正极、电阻r135的一端、运放u22b的同向输入端连接，电阻r135的另一端与电阻r133连接，运放u22b的反向输入端和输出端并联电容c125，运放u22b的反向输入端和输出端还与数字电位器u23连接，运放u22b的输出端依次与电阻r11和电阻r12连接，电阻r12还与运放u22a的同向输入端连接，数字电位器u23还与排阻ra2连接。

3.根据权利要求1或2所述的用于mfc的电压调节电路的数字式高压控制电路，其特征在于，包括：dac电路、电压调节电路、信号滤波电路和adc电路，dac电路与电压调节电路连接，电压调节电路与信号滤波电路连接，信号滤波电路与adc电路连接。

4.根据权利要求3所述的用于mfc的电压调节电路的数字式高压控制电路，其特征在于，dac电路包括：电阻r2、电容c23、电容c62、电压基准芯片u8、电容c63、电容c66、电容c95、电容c105、电容c67、电容c68、排阻ra1、dac芯片u11、电阻r90、电阻r88、电容c69和电容c70；其中，电容c23和电容c62并联的共上端分别与电阻r12一端和电压基准芯片u8输入端连接，电容c63、电容c66、电容c95、电容c105并联的共上端分别与电压基准芯片u8的输出端和dac芯片u11连接，dac芯片u11还与排阻ra1连接，电容c67和电容c68的共上端与dac芯片u11连接，dac芯片u11的输出端与电阻r90的一端连接，电阻r90的另一端分别与电阻r88和电容c69连接，电阻r88的另一端与电容c70连...

【专利技术属性】
技术研发人员：王怒，方童童，蔡民东，焦文斌，
申请(专利权)人：常州高凯电子有限公司，
类型：发明
国别省市：