【技术实现步骤摘要】
本申请涉及阀门，尤其涉及一种可以应用在真空设备中的阀门，以及，连接有该阀门的互连设备。
技术介绍
1、真空阀门(vacuum valve)是真空环境的半导体设备中各腔室连接必不可少的密封设备，主要用于真空设备中腔室与腔室的连接。例如，在真空设备中，可以利用真空阀门来改变气流方向、调节气流量大小、切断或接通管路等。
2、通过操控真空阀门的打开与关闭，以实现两个真空腔室之间的连通和隔离。在真空阀门处于关闭状态时，两个腔室的气压不会相互影响，保证了各个腔室之间的相互隔离，以可以独立运行。在真空门阀处于打开状态时，此时两个腔室之间相互连通，可进行样品(比如，芯片)检测或加工等工作。
3、一些设备中，在腔室与腔室之间预留给阀门的安装空间是受到一些条件限定的，比如，在对芯片形貌特征进行检测的检测设备中，是通过粒子源生成的带电粒子投射至芯片上，以对芯片的形貌进行检测。
4、为了提升检测效率和检测质量，自粒子源至芯片之间的距离不能较远，即就是粒子源生成的带电粒子的传输路径不能太远，否则可能会降低检测效率或者影响检测性能，进而，就要求连通不同腔室的阀门在带电粒子的传输路径上的尺寸也较小，不能占据较大的安装空间。
技术实现思路
1、本申请提供一种阀门、具有该阀门的互连设备。主要目的是通过改变阀门的结构，以使得该阀门被应用在半导体制造设备中时，比如，被应用在对芯片的检测设备中时，不会在带电粒子的传输路径上占据较大的空间，进而，可以提升检测设备的使用性能。
3、一方面，本申请提供了一种阀门，该阀门用于连接第一腔体和第二腔体。其中，该阀门可以包括：阀体、设置在阀体内的执行结构，和与执行结构连接的密封块；阀门具有相对的第一表面和第二表面，第一表面上具有多个第一安装孔，第一安装孔自第一表面贯通至第二表面，第一安装孔用于安装连接第一腔体的第一连接件，第二表面上具有多个第二安装孔，第二安装孔用于安装连接第二腔体的第二连接件，第一表面上还开设有第一通孔，第一通孔用于与第一腔体相连通，第二表面上开设有第二通孔，第二通孔用于与第二腔体相连通；以及，该阀门中的执行结构能够带动密封块运动，以使得密封块打开或者关闭第一通孔。
4、在本申请给出的阀门中，在阀体的第一表面上，不仅开设了多个第一安装孔，还开设了多个第二安装孔，这里的第一安装孔可以供第一连接件插入，第二安装孔可以供第二连接件插入，那么，当该阀门被应用在芯片检测设备中时，可以利用插入在第一安装孔的第一连接件与第一腔体固定连接，以及，可以利用插入在第二安装孔内的第二连接件与第二腔体固定连接，进而，实现第一腔体和第二腔体的对接。由于第一安装孔和第二安装孔均开设在第一表面上，即可以理解为通过形成在阀体上的一个法兰盘上的两种安装孔，实现不同腔体的连接，而不是通过两个法兰盘(该两个法兰盘的排布方向与安装孔的轴向平行)实现不同腔体的对接。这样的话，相比而言，本申请给出的阀门就可以减小在与安装孔轴向方向平行的方向上所占据的空间，以使得该阀门适配半导体制造设备中对阀门安装空间有限定的需求。
5、在一种可以实现的方式中，多个第一安装孔沿着第二表面的周向间隔布设，多个第二安装孔沿着第二表面的周向间隔布设；沿着第二表面的周向排布的多个第一安装孔处于外环，沿着第二表面的周向排布的多个第二安装孔处于内环。
6、即就是，外环的第一安装孔用于与第一腔体对接，内环的第二安装孔用于与第二腔体对接。
7、在一种可以实现的方式中，沿第一安装孔的轴向，第一安装孔包括相连通的第一段和第二段，第一段相对第二段靠近第二表面；且第一段的孔径大于第二段的孔径。可以理解为本申请实施例给出的第一安装孔为沉孔结构。
8、在一种可以实现的方式中，第二安装孔为螺纹孔，第一安装孔为内壁面光滑的通孔。
9、在一种可以实现的方式中，多个第二安装孔沿着第一通孔的外围布设，多个第一安装孔沿着多个第二安装孔的外围布设。
10、在一种可以实现的方式中，执行结构包括驱动结构和挤压结构，密封块设置在挤压结构上；驱动结构与挤压结构连接，驱动结构用于带动挤压结构和密封块移动，以使得密封块打开或者关闭第一通孔；挤压结构包括第一挤压件和第二挤压件，第一挤压件和第二挤压件围成有安装槽，密封块设置在安装槽内；驱动结构带动挤压结构和密封块移动，以关闭第一通孔的过程中，第一挤压件能够朝靠近第二挤压件的方向移动，以对密封块产生朝第一通孔方向移动的挤压力，使得密封块关闭第一通孔。
11、在该实现结构中，是通过第一挤压件相对第二挤压件的移动，以对密封块产生推力，使得密封块朝第一通孔移动，进而将第一通孔关闭。
12、在一种可以实现的方式中，自安装槽的底面至安装槽的槽口方向，安装槽的横断面的面积逐渐增大。
13、如此设计，就可以使得密封块在推力的作用下，顺畅的朝第一通孔移动。
14、在一种可以实现的方式中，第一挤压件具有用于围成安装槽的第一壁面，第二挤压件具有用于围成安装槽的第二壁面，第一壁面和第二壁面相对，且第一壁面和第二壁面均为倾斜的平面；沿着安装槽的底面至安装槽的槽口的方向，第一壁面和第二壁面自安装槽的中心朝安装槽的边缘倾斜。
15、也就是利用倾斜的平面使得密封块在推力的作用下，密封块沿着倾斜的平面滑动，可以减小摩擦，提升密封块的移动速度。
16、在一种可以实现的方式中，密封块形成有与第一壁面相平行的第一抵接面，和与第二壁面相平行的第二抵接面；第一抵接面滑动设置在第一壁面上，第二抵接面滑动设置在第二壁面上。
17、在一种可以实现的方式中，阀门还包括阻挡件，阻挡件固定在阀体内；驱动结构带动挤压结构和密封块移动，以关闭第一通孔的过程中，第二挤压件能够抵接在阻挡件上，以使得第一挤压件能够朝靠近第二挤压件的方向移动。
18、当驱动结构带动第一挤压件和第二挤压件移动的过程中，第二挤压件会被阻挡件阻挡住，而第一挤压件会继续移动，以推动密封块朝第一通孔方向移动，将第一通孔封堵住。
19、在一种可以实现的方式中，第一挤压件包括多个围板，多个围板围城具有开口的容置腔；第二挤压件位于容置腔内，且位于开口处，第二挤压件与围板滑动连接；驱动结构带动挤压结构和密封块移动，以关闭第一通孔的过程中，开口供阻挡件穿过，以使得第二挤压件抵接在阻挡件上，第一挤压件相对第二挤压件滑动。
20、这里的安装槽是通过第一挤压件的多个围板和第二挤压件围设而成，并且具有开口，这样的话，第一挤压件和第二挤压件在驱动结构的带动下移动时，开口就可以供阻挡件穿过，以使得第二挤压件与阻挡件抵靠在一起。
21、在一种可以实现的方式中，阀门还包括第一弹性件，密封块通过第一弹性件与挤压结构连接；驱动结构带动挤压结构和密封块移动，以打开第一通孔的过程中，第一弹性件用于给密封块沿背离第一通孔方向的弹力。
22、在该阀门关闭的本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种阀门，用于连接第一腔体和第二腔体，其特征在于，所述阀门包括：
2.根据权利要求1所述的阀门，其特征在于，所述多个第一安装孔沿着所述第二表面的周向间隔布设，所述多个第二安装孔沿着所述第二表面的周向间隔布设；
3.根据权利要求1或2所述的阀门，其特征在于，沿所述第一安装孔的轴向，所述第一安装孔包括相连通的第一段和第二段，所述第一段靠近所述第二表面；
4.根据权利要求1-3中任一项所述的阀门，其特征在于，所述执行结构包括驱动结构和挤压结构，所述密封块设置在所述挤压结构上；
5.根据权利要求4所述的阀门，其特征在于，自所述安装槽的底面至所述安装槽的槽口方向，所述安装槽的横断面的面积逐渐增大。
6.根据权利要求4或5所述的阀门，其特征在于，所述第一挤压件具有用于围成所述安装槽的第一壁面，所述第二挤压件具有用于围成所述安装槽的第二壁面，所述第一壁面和所述第二壁面相对，且所述第一壁面和所述第二壁面均为倾斜的平面；
7.根据权利要求6所述的阀门，其特征在于，所述密封块形成有与所述第一壁面相平行的第一抵接面，和与所述第
8.根据权利要求4-7中任一项所述的阀门，其特征在于，所述阀门还包括：
9.根据权利要求8所述的阀门，其特征在于，所述第一挤压件包括多个围板，所述多个围板围城具有开口的容置腔；
10.根据权利要求4-9中任一项所述的阀门，其特征在于，所述阀门还包括：
11.根据权利要求4-10中任一项所述的阀门，其特征在于，所述阀门还包括：
12.根据权利要求4-11中任一项所述的阀门，其特征在于，所述阀门还包括：
13.根据权利要求12所述的阀门，其特征在于，所述第一导向结构包括：
14.根据权利要求4-13中任一项所述的阀门，其特征在于，所述阀门还包括：
15.根据权利要求14所述的阀门，其特征在于，所述第二导向结构包括：
16.根据权利要求4-15中任一项所述的阀门，其特征在于，
17.根据权利要求16所述的阀门，其特征在于，所述阀体的用于形成所述第二安装腔的壁面上具有开窗，所述开窗上设置有盖板，且所述盖板通过密封结构设置在所述开窗上。
18.一种互连设备，其特征在于，包括：
19.根据权利要求18所述的互连设备，其特征在于，所述第二表面朝向所述第一腔体，所述第一表面朝向所述第二腔体；
20.根据权利要求18或19所述的互连设备，其特征在于，所述互连设备包括用于对基板进行检测的检测设备；
...【技术特征摘要】
1.一种阀门，用于连接第一腔体和第二腔体，其特征在于，所述阀门包括：
2.根据权利要求1所述的阀门，其特征在于，所述多个第一安装孔沿着所述第二表面的周向间隔布设，所述多个第二安装孔沿着所述第二表面的周向间隔布设；
3.根据权利要求1或2所述的阀门，其特征在于，沿所述第一安装孔的轴向，所述第一安装孔包括相连通的第一段和第二段，所述第一段靠近所述第二表面；
4.根据权利要求1-3中任一项所述的阀门，其特征在于，所述执行结构包括驱动结构和挤压结构，所述密封块设置在所述挤压结构上；
5.根据权利要求4所述的阀门，其特征在于，自所述安装槽的底面至所述安装槽的槽口方向，所述安装槽的横断面的面积逐渐增大。
6.根据权利要求4或5所述的阀门，其特征在于，所述第一挤压件具有用于围成所述安装槽的第一壁面，所述第二挤压件具有用于围成所述安装槽的第二壁面，所述第一壁面和所述第二壁面相对，且所述第一壁面和所述第二壁面均为倾斜的平面；
7.根据权利要求6所述的阀门，其特征在于，所述密封块形成有与所述第一壁面相平行的第一抵接面，和与所述第二壁面相平行的第二抵接面；
8.根据权利要求4-7中任一项所述的阀门，其特征在于，所述阀门还包括：
9.根据权利要求8...
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