【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及陀螺仪，尤其涉及一种mems三轴陀螺仪。
技术介绍
1、mems陀螺仪与传统的利用角动量守恒原理的陀螺仪的工作原理不同，mems陀螺仪是利用科氏力进行运动的测量与控制，mems陀螺仪通常安装有两种可移动电容板，其中，径向电容板加震荡电压迫使质量块作径向运动，横向电容板测量由于横向科里奥利运动带来的电容变化，由电容的变化便可以计算出mems陀螺仪的角速度。
2、mems陀螺仪以其体积小、功耗低、易于批量化生产等优点而得到广泛应用。mems陀螺仪经过多年的发展，其性能精度持续提升，应用领域不断扩展。随着无人系统、微纳卫星、智能机器人等新型领域的快速发展，用户对mems陀螺仪性能要求也不断提升，尤其对灵敏度更高、体积更小的mems陀螺仪的需求变得更为迫切。
技术实现思路
1、基于以上所述，本专利技术的目的在于提供一种mems三轴陀螺仪，灵敏度更高、体积更小，适用性更广。
2、为达上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
3、一种mems三轴陀螺仪，...
【技术保护点】
1.一种MEMS三轴陀螺仪，其特征在于，限定互相垂直的第一方向、第二方向及第三方向，所述MEMS三轴陀螺仪包括：
2.根据权利要求1所述的MEMS三轴陀螺仪，其特征在于，所述MEMS三轴陀螺仪还包括基底，所述驱动锚点和所述中心锚点均固定在所述基底上，所述驱动固定弹性件、所述驱动质量块、所述驱动耦合弹性件、所述耦合组件及所述连接框组件均悬设在所述基底上。
3.根据权利要求2所述的MEMS三轴陀螺仪，其特征在于，所述MEMS三轴陀螺仪还包括第三方向梳齿检测电极，所述第三方向梳齿检测电极包括第三方向检测可动电极和第三方向检测固定电极，所述第三方向检测...
【技术特征摘要】
1.一种mems三轴陀螺仪，其特征在于，限定互相垂直的第一方向、第二方向及第三方向，所述mems三轴陀螺仪包括：
2.根据权利要求1所述的mems三轴陀螺仪，其特征在于，所述mems三轴陀螺仪还包括基底，所述驱动锚点和所述中心锚点均固定在所述基底上，所述驱动固定弹性件、所述驱动质量块、所述驱动耦合弹性件、所述耦合组件及所述连接框组件均悬设在所述基底上。
3.根据权利要求2所述的mems三轴陀螺仪，其特征在于，所述mems三轴陀螺仪还包括第三方向梳齿检测电极，所述第三方向梳齿检测电极包括第三方向检测可动电极和第三方向检测固定电极，所述第三方向检测可动电极固定在沿所述第二方向分布的所述驱动质量块上，所述第三方向检测固定电极固定在所述基底上。
4.根据权利要求2所述的mems三轴陀螺仪，其特征在于，所述梳齿驱动电极包括驱动可动电极和驱动固定电极，所述驱动可动电极固定在沿所述第一方向分布的所述驱动质量块上，所述驱动固定电极固定在所述基底上。
5.根据权利要求2所述的mems三轴陀螺仪，其特征在于，所述梳齿驱动检测电极包括驱动检测可动电极和驱动检测固定电极，所述驱动检测可动电极固定在所述外部耦合梁上，所述驱动检测固定电极固定在所述基底上。
6.根据权利要求1所述的mems三轴陀螺仪，其特征在于，所述驱动耦合弹性件包括垂直连接的第一驱动耦合子弹性件和第二驱动耦合子弹性件，沿所述第一方向分布的所述驱动质量块上设有沿所述第二方向延伸的第一连接槽，所述第一驱动耦合子弹性件伸入所述第一连接槽内并与所述驱动质量块相连；沿所述第二方...
【专利技术属性】
技术研发人员：董自强，高杰，崔焱，柳星普，刘贻兵，
申请(专利权)人：成都博纳神梭科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：
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