【技术实现步骤摘要】
本专利技术是有关于一种光学系统，且特别是有关于一种光学量测系统。
技术介绍
1、近年来精密微型化已成为工业发展的主流趋势，为因应产线自动化与产品微型化，发展高精确度的检测设备与高效率的量测技术，逐渐受到重视。
2、量测技术可分为接触式与非接触式两类。接触式量测多使用探针作为测头，虽具较高精确度的优势，但因其量测速度较慢，无法量测尺寸以外的产品特性。而且量测过程须接触工件，有破坏工件表面的疑虑，使产品多样性受到限制。
3、非接触式量测即非破坏性量测，即利用光学方式量测对象，提升量测速度。现今较具代表性的椭圆偏振技术、干涉法与共焦法，虽然能达到高效率量测厚度与折射率的成果，但大多只适用于薄板量测或单层特性个别量测，少数能同时量测多层厚度与折射率的方法，皆未考虑材料层相互不平行的问题。然而，在生物检测的应用上，玻片间夹带液体样本，致使上下层玻片不平行，或在玻璃制造业的质量检测方面，都揭示考虑材料不平行层的必要性。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种光学量测系统，其可对待测物间具有不平行的材料层进行量测。
2、本专利技术的一实施例提供一种适于量测待测物的光学参数的光学量测系统。待测物包括至少二透光层。光学量测系统包括光源模块、取像模块以及控制器。光源模块用以朝待测物发出至少二量测光束，其中量测光束分别以不同角度入射至待测物。取像模块用以接收量测光束被待测物反射后的至少二第一光束及量测光束在待测物间折射且反射后的至少二第二光束在取像模块的感测面上形成的多
3、基于上述，在本专利技术的一实施例中，光学量测系统利用光源模块朝待测物发出不同角度的至少二量测光束，控制器再根据量测光束所形成的光斑的位置计算出待测物的光学参数。因此，即使待测物的透光层之间不互相平行，本专利技术实施例的光学量测系统仍可量测出待测物的光学参数。
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1.一种光学量测系统，适于量测待测物的光学参数，所述待测物包括至少二透光层，其特征在于，所述光学量测系统包括：
2.根据权利要求1所述的光学量测系统，其特征在于，所述待测物设置在参考层上，且所述待测物位于所述参考层与所述光源模块之间，所述至少二透光层包括至少一固态层以及至少一液态层，任一液态层与所述至少一固态层及所述参考层的其中之二相邻堆栈，
3.根据权利要求2所述的光学量测系统，其特征在于，所述光学量测系统满足以下条件式：n*(m+1)≥p，其中n为所述至少二量测光束的数量，m为所述至少二透光层的层数，且p为所述光学参数的数量。
4.根据权利要求1所述的光学量测系统，其特征在于，所述光源模块包括：
5.根据权利要求1所述的光学量测系统，其特征在于，所述取像模块包括多个子取像模块。
6.根据权利要求1所述的光学量测系统，其特征在于，更包括：
7.根据权利要求1所述的光学量测系统，其特征在于，所述光源模块包括至少二光源，分别用以发出所述至少二量测光束，所述光学量测系统更包括：
8.根据权利要求1所述
9.根据权利要求8所述的光学量测系统，其特征在于，更包括：
10.根据权利要求1所述的光学量测系统，其特征在于，更包括：
11.根据权利要求10所述的光学量测系统，其特征在于，更包括：
...【技术特征摘要】
1.一种光学量测系统，适于量测待测物的光学参数，所述待测物包括至少二透光层，其特征在于，所述光学量测系统包括：
2.根据权利要求1所述的光学量测系统，其特征在于，所述待测物设置在参考层上，且所述待测物位于所述参考层与所述光源模块之间，所述至少二透光层包括至少一固态层以及至少一液态层，任一液态层与所述至少一固态层及所述参考层的其中之二相邻堆栈，
3.根据权利要求2所述的光学量测系统，其特征在于，所述光学量测系统满足以下条件式：n*(m+1)≥p，其中n为所述至少二量测光束的数量，m为所述至少二透光层的层数，且p为所述光学参数的数量。
4.根据权利要求1所述的光学量测系统，其特征在于，所...
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