【技术实现步骤摘要】
本申请涉及阻抗匹配领域，具体而言，涉及一种幅相检测电路和阻抗匹配器。
技术介绍
1、现有技术的阻抗匹配方法一般为通过定向耦合器采集信号的入射电压和反射电压的幅值，根据反射系数的幅值调节可调电容大小以实现射频源和腔体之间的阻抗匹配。但是，该方法没有检测负载端的相位信息，需要不断测量阻抗的变化以实现阻抗匹配，因此需要进行多次迭代才能完成阻抗匹配，导致匹配时间长且匹配精度低。
2、因此，现有技术有待改进和发展。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种幅相检测电路和阻抗匹配器，旨在解决现有的阻抗匹配方法匹配时间长且匹配精度低的问题。
2、第一方面，本申请提供了一种幅相检测电路，包括：
3、采集转换模块，其输入端与负载端连接，其第一输出端输出第一电压信号，其第二输出端输出第二电压信号，用于对负载端的电压信号和电流信号进行采集以获取用于表征电压信号变化的第一电压信号和用于表征电流信号变化的第二电压信号；
4、ad8302芯片，其inpa端与第一电压信号连接，其vmag端输出幅值电压，且其vphs端输出相位电压；
5、移相模块，第二电压信号通过移相模块与ad8302芯片的inpb端连接，移相模块用于使第二电压信号相移-90°。
6、本申请提供的一种幅相检测电路，通过ad8302芯片检测第一电压信号和相移后的第二电压信号的幅值比和相位差，能实时获取负载端阻抗的幅值和相位，根据幅值电压和相位电压调节分别输入ad8302芯片的
7、可选地，ad8302芯片的vpos端与正电压源连接，且其两个comm端接地；
8、幅相检测电路还包括：
9、第一电阻，第一电压信号通过第一电阻接地；
10、第二电阻，第二电压信号通过第二电阻接地；
11、第三电阻，ad8302芯片的vphs端通过第三电阻输出相位电压；
12、第四电阻，ad8302芯片的pset端通过第四电阻与ad8302芯片的vphs端连接；
13、第五电阻，ad8302芯片的vref端通过第五电阻接地；
14、第六电阻，ad8302芯片的mset端通过第六电阻与ad8302芯片的vmag端连接；
15、第七电阻，ad8302芯片的vmag端通过第七电阻输出幅值电压；
16、第一电容，第一电压信号通过第一电容与ad8302芯片的inpa端连接；
17、第二电容，ad8302芯片的ofsa端通过第二电容接地；
18、第三电容，ad8302芯片的vpos端通过第三电容接地；
19、第四电容，ad8302芯片的ofsb端通过第四电容接地；
20、第五电容，第二电压信号通过第五电容与ad8302芯片的inpb端连接；
21、第六电容，ad8302芯片的pflt端通过第六电容接地；
22、第七电容，ad8302芯片的mflt端通过第七电容接地；
23、移相模块包括：
24、第八电容，与第二电阻并联连接；
25、第九电容，与第二电阻并联连接。
26、可选地，采集转换模块包括用于对负载端的电压信号和电流信号进行衰减，并且串联连接的一级衰减模块、二级衰减模块和三级衰减模块。
27、可选地，一级衰减模块包括：
28、分压组件，其包括串联连接的第十电容、第十一电容、第十二电容，第十三电容和第十四电容，负载端通过分压组件与二级衰减模块连接；
29、第十五电容，负载端通过分压组件与第十五电容接地；
30、第十六电容，负载端通过分压组件与第十六电容接地。
31、可选地，一级衰减模块包括：
32、电流互感器，负载端通过电流互感器与二级衰减模块连接；
33、第十七电容，负载端通过电流互感器与第十七电容接地；
34、第十八电容，负载端通过电流互感器与第十八电容接地。
35、可选地，二级衰减模块或三级衰减模块包括π型电阻衰减器，或二级衰减模块和三级衰减模块分别包括π型电阻衰减器。
36、可选地，幅相检测电路还包括：
37、电压调理模块，其第一输入端与幅值电压连接，其第二输入端与相位电压连接，其第一输出端输出幅值调理电压，其第二输出端输出相位调理电压，用于对幅值电压和相位电压进行调理。
38、可选地，电压调理模块包括：
39、第一比较器，其同相输入端作为电压调理模块的第一输入端与幅值电压连接，其输出端作为电压调理模块的第一输出端输出幅值调理电压；
40、第一滑动变阻器，其一端与正电压源连接，其另一端与负电压源连接，且其中间端与第一比较器的反相输入端和输出端连接并接地；
41、第二比较器，其同相输入端作为电压调理模块的第二输入端与相位电压连接，其输出端作为电压调理模块的第二输出端输出相位调理电压；
42、第二滑动变阻器，其一端与正电压源连接，其另一端与负电压源连接，且其中间端与第二比较器的反相输入端和输出端连接并接地。
43、可选地，幅相检测电路还包括：
44、模数转换模块，其第一输入端与幅值电压连接，其第二输入端与相位电压连接，其输出端输出数字电压信号，用于将幅值电压和相位电压转换为数字信号。
45、第二方面，本申请还提供了一种阻抗匹配器，包括如上任一的幅相检测电路。
46、本申请提供的阻抗匹配器，通过ad8302芯片检测第一电压信号和相移后的第二电压信号的幅值比和相位差，能实时获取负载端阻抗的幅值和相位，根据幅值电压和相位电压调节分别输入ad8302芯片的inpa端和inpb端的两个信号的幅值比和相位差，并通过调节该两个信号的幅值比和相位差将该两个信号表征的负载端阻抗的幅值和相位分别调节为50和0°，能快速、准确地实现阻抗匹配，提高匹配效率；并且本申请的幅相检测电路使第二电压信号相移，在阻抗匹配过程中使得相位电压与分别输入ad8302芯片的inpa端和inpb端的两个信号的相位差之间的对应关系准确，从而使得根据相位电压对该两个信号的相位差进行调节的量准确，匹配精度高。
47、由上可知，本申请提供了一种幅相检测电路和阻抗匹配器，其中本申请提供的幅相检测电路，通过ad8302芯片检测第一电压信号和相移后的第二电压信号的幅值比和相位差，能实时获取负载端阻本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种幅相检测电路，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种幅相检测电路，其特征在于，所述AD8302芯片（2）的VPOS端与正电压源连接，且其两个COMM端接地；
3.根据权利要求1所述的一种幅相检测电路，其特征在于，所述采集转换模块（1）包括用于对负载端的电压信号和电流信号进行衰减，并且串联连接的一级衰减模块（11）、二级衰减模块（12）和三级衰减模块（13）。
4.根据权利要求3所述的一种幅相检测电路，其特征在于，所述一级衰减模块（11）包括：
5.根据权利要求3所述的一种幅相检测电路，其特征在于，所述一级衰减模块（11）包括：
6.根据权利要求3所述的一种幅相检测电路，其特征在于，所述二级衰减模块（12）或所述三级衰减模块（13）包括π型电阻衰减器，或所述二级衰减模块（12）和所述三级衰减模块（13）分别包括π型电阻衰减器。
7.根据权利要求3所述的一种幅相检测电路，其特征在于，所述幅相检测电路还包括：
8.根据权利要求7所述的一种幅相检测电路，其特征在于，所述电压调理模块（4）
9.根据权利要求1所述的一种幅相检测电路，其特征在于，所述幅相检测电路还包括：
10.一种阻抗匹配器，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的幅相检测电路。
...【技术特征摘要】
1.一种幅相检测电路，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种幅相检测电路，其特征在于，所述ad8302芯片（2）的vpos端与正电压源连接，且其两个comm端接地；
3.根据权利要求1所述的一种幅相检测电路，其特征在于，所述采集转换模块（1）包括用于对负载端的电压信号和电流信号进行衰减，并且串联连接的一级衰减模块（11）、二级衰减模块（12）和三级衰减模块（13）。
4.根据权利要求3所述的一种幅相检测电路，其特征在于，所述一级衰减模块（11）包括：
5.根据权利要求3所述的一种幅相检测电路，其特征在于，所述一级衰减模块（11）包...
【专利技术属性】
技术研发人员：侯丽丽，姚龙，马聪伟，李晓峰，胡琅，程远达，
申请(专利权)人：季华实验室，
类型：发明
国别省市：
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