微粒产生因素判断系统以及收费方法技术方案

本发明专利技术提供一种能够对使用微粒产生因素判断系统的用户产生激励作用的微粒产生因素判断系统以及收费方法。微粒产生因素判断系统具备用户输入微粒图的用户接口装置和服务器装置，在该微粒产生因素判断系统中，服务器装置根据微粒图来算出关于多个微粒产生因素中的每个微粒产生因素的准确度，用户接口装置显示所算出的各准确度、与该准确度对应的关于各微粒产生因素的产生因素关联信息的标题等，服务器装置将产生因素关联信息提供给用户接口装置，并且对产生因素关联信息的提供进行收费，收费金额是至少根据与所提供的产生因素关联信息对应的微粒产生因素的准确度来决定的。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，特别是涉及一种在微粒产 生因素判断系统中对关于微粒的产生因素的信息提供进行收费的收费方法。
技术介绍
通常，在用半导体晶圆(以下简单称为“晶圆”)制造半导体器件的基板处理系统 中，在对晶圆实施等离子体处理时或输送晶圆时有时会附着微粒(particle)，所附着的微 粒导致半导体器件的缺陷。微粒是由于晶圆与基板处理系统的结构部件之间的机械性接触、处理气体与其它 物质的化学反应等各种因素而产生，但是在基板处理系统中，对很多晶圆实施等离子体处 理来批量生产大量的半导体器件，因此如果不消除微粒的产生因素就会使半导体器件的成 品率非常低。因而，在基板处理系统中，判别微粒的产生因素而根除该产生因素非常重要。因此，本专利技术者开发出了如下的微粒产生因素判断系统(例如，参照专利文献1) 即使基板处理系统的用户几乎不具有关于微粒产生因素的详细知识，也能够正确地判别微 粒的产生因素。该微粒产生因素判断系统通过对附着有微粒的晶圆的图像数据进行图像分析来 将各微粒产生因素为真正的产生因素的可能性作为数值(准确度)提供给用户，对由用户 进行的微粒产生因素的判断做出贡献。并且，在如上述微粒产生因素判断系统那样的信息提供系统中，对信息的提供进 行收费，从用户处收取该信息提供系统的使用费用。专利文献1 日本特愿2008-056431号说明书
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，通常在信息提供系统中，一般根据提供给用户的信息数量(种类)、用户使 用该信息提供系统的次数来算出该信息提供系统的使用费用，不会根据所提供的信息的质 量、对解决问题的贡献度算出使用费用。即，用户需要对所提供的无用信息也支付使用费 用，因此作为用户难以辨别与信息提供系统的使用有关的性价比，其结果是，对使用信息提 供系统的用户不会产生激励作用，因而使信息提供系统的使用价值下降。本专利技术的目的在于提供一种能够对使用微粒产生因素判断系统的用户产生激励 作用的微粒产生因素判断系统、收费方法以及存储介质。用于解决问题的方案为了达到上述目的，本专利技术第一方面所述的收费方法是一种微粒产生因素判断系 统中的收费方法，该微粒产生因素判断系统至少具备用户接口装置和服务器装置，其中，该 用户接口装置具有显示部，用户通过该用户接口装置输入与附着于基板上的微粒相关的第 一信息，该服务器装置研究关于多个微粒产生因素中的每个微粒产生因素的可能性，该收费方法的特征在于，具有以下步骤点数算出步骤，上述服务器装置接收所输入的上述第一 信息，根据接收到的该第一信息来将关于上述多个微粒产生因素中的每个微粒产生因素的 可能性作为点数算出；信息显示步骤，上述用户接口装置将所算出的各上述点数和与对应 于该点数的各上述微粒产生因素相关的第二信息的一部分一起显示在上述显示部中；以及 收费步骤，上述服务器装置根据对所显示的上述第二信息的一部分的选择来将上述第二信 息提供给上述用户接口装置，并且对上述第二信息的提供进行收费，其中，在上述收费步骤 中，至少根据与所提供的上述第二信息对应的上述微粒产生因素的点数来决定收费金额， 所提供的上述第二信息为上述第二信息的整体或者上述第二信息中的更详细的信息。本专利技术第二方面所述的收费方法的特征在于，在本专利技术第一方面所述的收费方法 中，在上述收费步骤中，还根据上述第二信息对收益的贡献实绩、以前使用过上述第二信息 的其他用户的评价值、迄今为止上述第二信息的提供次数、从最后提供上述第二信息起的 经过时间中的至少一个来决定上述收费金额。本专利技术第三方面所述的收费方法的特征在于，在本专利技术第一或者第二方面所述的 收费方法中，在上述收费步骤中，还根据上述第二信息的提供方式来决定上述收费金额。本专利技术第四方面所述的收费方法的特征在于，在本专利技术第一至第三方面中的任一 项所述的收费方法中，在上述收费步骤中，还根据上述第二信息的类别来决定上述收费金 额。本专利技术第五方面所述的收费方法的特征在于，在本专利技术第一至第四方面中的任一 项所述的收费方法中，上述第一信息包括关于微粒的图像数据，在上述点数算出步骤中，上 述服务器装置根据上述图像数据的图像分析结果来算出上述点数。本专利技术第六方面所述的收费方法的特征在于，在本专利技术第一至第五方面中的任一 项所述的收费方法中，上述服务器装置获取与上述多个微粒产生因素中的每个微粒产生因 素相关联的第一关键词，根据获取到的该第一关键词来选择并获取上述第二信息。本专利技术第七方面所述的收费方法的特征在于，在本专利技术第六方面所述的收费方法 中，上述第一信息包括关于微粒的文档数据，上述用户接口装置通过文本挖掘从上述文档 数据中抽取第二关键词，上述服务器装置根据所抽取出的上述第二关键词来选择并获取上 述第二信息。本专利技术第八方面所述的收费方法的特征在于，在本专利技术第六或者第七方面所述的 收费方法中，上述微粒产生因素判断系统还具备数据库装置，上述第二信息包括文档数据， 并被保存到上述数据库装置，在选择上述第二信息之前，上述数据库装置通过文本挖掘从 各上述第二信息中抽取第三关键词，通过将第一关键词或者第二关键词与所抽取的第三关 键词进行比较从而得到期望的第二信息。为了达到上述目的，本专利技术第九方面所述的微粒产生因素判断系统至少具备用户 接口装置和服务器装置，其中，该用户接口装置具有显示部，用户通过该用户接口装置输入 与附着于基板上的微粒相关的第一信息，该服务器装置研究关于多个微粒产生因素中的每 个微粒产生因素的可能性，该微粒产生因素判断系统的特征在于，上述服务器装置接收所 输入的上述第一信息，根据接收到的该第一信息来将关于上述多个微粒产生因素中的每个 微粒产生因素的可能性作为点数算出，上述用户接口装置将所算出的各上述点数和与对应 于该点数的上述各微粒产生因素相关的第二信息的一部分一起显示在上述显示部中，上述服务器装置根据对所显示的上述第二信息的一部分的选择来将上述第二信息提供给上述 用户接口装置，并且对上述第二信息的提供进行收费，至少根据与所提供的上述第二信息 对应的上述微粒产生因素的点数来决定对于上述第二信息的提供的收费金额，所提供的上 述第二信息为上述第二信息整体或者上述第二信息中的更详细的信息。为了达到上述目的，本专利技术第十方面所述的存储介质保存有使计算机执行微粒产 生因素判断系统中的收费方法的程序，能够由计算机读取，其中，该微粒产生因素判断系统 至少具备用户接口装置和服务器装置，其中，该用户接口装置具有显示部，用户通过该用户 接口装置输入与附着于基板上的微粒相关的第一信息，该服务器装置研究关于多个微粒产 生因素中的每个微粒产生因素的可能性，该存储介质的特征在于，上述收费方法具有以下 步骤点数算出步骤，上述服务器装置接收所输入的上述第一信息，根据接收到的该第一信 息来将关于上述多个微粒产生因素中的每个微粒产生因素的可能性作为点数算出；信息显 示步骤，上述用户接口装置将所算出的上述各点数和与对应于该点数的上述各微粒产生因 素相关的第二信息的一部分一起显示在上述显示部中；以及收费步骤，上述服务器装置根 据所显示的上述第二信息的一部分的选择来将上述第二信息提供给上述用户接口装置，并 且对上述第二信息的提供进行收费，在上述收费步骤中，至少根据与所提供的上述第二信 息对应的上述微粒产生因素的点本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微粒产生因素判断系统中的收费方法，该微粒产生因素判断系统至少具备用户接口装置和服务器装置，其中，该用户接口装置具有显示部，用户通过该用户接口装置输入与附着于基板上的微粒相关的第一信息，该服务器装置研究关于多个微粒产生因素中的每个微粒产生因素的可能性，该收费方法的特征在于，具有以下步骤：点数算出步骤，上述服务器装置接收所输入的上述第一信息，根据接收到的该第一信息来将关于上述多个微粒产生因素中的每个微粒产生因素的可能性作为点数算出；信息显示步骤，上述用户接口装置将所算出的各上述点数和与对应于该点数的各上述微粒产生因素相关的第二信息的一部分一起显示在上述显示部中；以及收费步骤，上述服务器装置根据对所显示的上述第二信息的一部分的选择来将上述第二信息提供给上述用户接口装置，并且对上述第二信息的提供进行收费，其中，在上述收费步骤中，至少根据与所提供的上述第二信息对应的上述微粒产生因素的点数来决定收费金额，所提供的上述第二信息为上述第二信息的整体或者上述第二信息中的更详细的信息。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：守屋刚，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]