弹性波装置制造方法及图纸

技术编号：40323985 阅读：6 留言：0更新日期：2024-02-09 14:18

本发明专利技术能够减小通带内的杂散。弹性波装置具备：支承基板，在第1方向上具有厚度；中间层，设置在支承基板之上；压电层，设置在中间层之上；和IDT电极，具有设置在压电层的第1方向上且在与第1方向交叉的第2方向上延伸的第1电极指、连接了第1电极指的第1汇流条电极、在与第2方向正交的第3方向上与第1电极指的任意者对置且在第2方向上延伸的第2电极指、和连接了第2电极指的第2汇流条电极。在中间层，在俯视时至少一部分与IDT电极重叠的位置有空间部，中间层的内侧壁的表面粗糙度(Ra)为0.0055μm以上。

全部详细技术资料下载

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开涉及弹性波装置。

技术介绍

1、在专利文献1记载了一种弹性波装置。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2012-257019号公报

技术实现思路

1、专利技术要解决的问题

2、专利文献1所示的弹性波装置存在通带内的杂散变大、频率特性劣化的可能性。

3、本公开用于解决上述问题，目的在于减小通带内的杂散。

4、用于解决问题的技术方案

5、一个方式涉及的弹性波装置具备：支承基板，在第1方向上具有厚度；中间层，设置在所述支承基板之上；压电层，设置在所述中间层之上；和idt电极，具有设置在所述压电层的所述第1方向且在与所述第1方向交叉的第2方向上延伸的第1电极指、连接了所述第1电极指的第1汇流条电极、在与所述第2方向正交的第3方向上与所述第1电极指的任意者对置且在所述第2方向上延伸的第2电极指、和连接了所述第2电极指的第2汇流条电极，在所述中间层，在俯视时至少一部分与所述idt电极重叠的位置有空间部，所述中间层的内侧壁的表面粗糙度(ra)为0.0055μm以上。

6、专利技术效果

7、根据本公开，能够减小通带内的杂散。

【技术保护点】

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求1至4中任一项所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求5所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求7所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性波装置，其中，

11.根据权利要求5所述的弹性波装置，其中，

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求1至4中任一项所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求5所述的弹性波...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村哲也，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：

全部详细技术资料下载我是这个专利的主人