【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及工艺数据处理，特别是涉及一种半导体制造产业中物料优化调度的方法和设备。
技术介绍
1、随着半导体工业的发展，要求半导体工艺生产线具备更好的质量、更低的制造成本、快速响应以及灵活性的特点，这些特点将影响半导体制造的产率和反应能力。
2、生产计划与调度系统能够在一定程度上帮助半导体制造企业实现这些特点。调度系统是实现半导体制造企业生产管理优化的重要环节，是实现企业信息化不可或缺的重要组成部分。本专利技术即是针对半导体制造产业中晶片加工工艺过程中的如果能够最优化的实现物料调度而提出的。
技术实现思路
1、根据本专利技术的一个方面，本专利技术提供了一种物料优化调度的方法，包括：获取系统所需运行的物料列表和工艺顺序，所述物料包括晶片和晶片传送盒；对物料列表中的每个物料进行查询，以确定各个物料的当前状态；根据各个物料的当前状态和工艺顺序，模拟计算各条物料运行路径；所述运行路径为各个物料在时间上的移动序列集合；根据各条运行路径的工艺时间效率评估上述各条物料运行路径，将系统工艺时间效率最大的运行路径作为最优运行路径保存至调度队列；根据调度队列中的运行路径对各个物料进行调度。
2、其中，所述各个物料的当前状态包括各个物料在当前时间点是否可以移动的状态或者各个物料在当前时间点的移动优先级状态。
3、其中，在模拟计算各条物料运行路径时，运行路径上的每一步前进代表物料中的某一物料移动一次。
4、其中，所述模拟计算各条物料运行路径包括：设置运行路
5、所述物料优化调度的方法还包括：在对运行路径进行遍历的过程中在运行路径上的每一步前进都实时更新各个物料的当前状态，并将各个物料的最新当前状态存储到物料列表中以供运行路径的下一步前进选择。
6、其中，所述搜索深度指的是预先设定的运行路径的前进步数。
7、其中，当所述物料为晶片时，利用机械手的手指属性，调整一次取放的晶片数量。优选地，所述晶片数量为1至5中的任意一个数。
8、根据本专利技术的另一个方面，本专利技术提供了一种物料优化调度的装置，包括：数据获取模块，用于获取系统所需运行的物料列表和工艺顺序，所述物料包括晶片和晶片传送盒；状态确定模块，用于对物料列表中的每个物料进行查询，以确定各个物料的当前状态。模拟计算模块，用于根据各个物料的当前状态和工艺顺序，模拟计算各条物料运行路径；所述运行路径为各个物料在时间上的移动序列集合；评估模块，用于根据各条运行路径的工艺时间效率评估上述各条物料运行路径，将系统工艺时间效率最大的运行路径评估为最优运行路径；存储模块，用于存储所述物料列表和工艺顺序，以及将所述最优运行路径保存至调度队列；调度模块，用于根据调度队列中的运行路径对各个物料进行调度。
9、其中，所述各个物料的当前状态包括各个物料在当前时间点是否可以移动的状态或者各个物料在当前时间点的移动优先级状态。
10、其中，所述模拟计算各条物料运行路径包括：设置运行路径的起点和搜索深度，对某一条运行路径进行遍历直至达到搜索深度并计算该条运行路径的遍历时间；返回起点对另一条运行路径进行遍历直至搜索深度并计算该条运行路径的遍历时间；重复以上两个步骤以对各条运行路径进行遍历直至搜索深度并计算各条运行路径的遍历时间。
11、其中，所述存储模块还用于在对运行路径进行遍历的过程中在运行路径上的每一步前进都实时更新各个物料的当前状态，并将各个物料的最新当前状态存储到物料列表中以供运行路径的下一步前进选择。
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1.一种物料优化调度的方法，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述各个物料的当前状态包括：各个物料在当前时间点是否可以移动的状态或者各个物料在当前时间点的移动优先级状态。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述模拟各条物料运行路径包括：
4.根据权利要求1所述的方法，还包括：在对所述物料运行路径进行模拟的过程中，在所述物料运行路径上的每一步前进都实时更新各个物料的当前状态，并将各个物料的最新当前状态存储到物料列表中，以供所述物料运行路径的下一步前进选择。
5.根据权利要求3所述的方法，其中，所述搜索深度指的是预先设定的所述物料运行路径的最大前进步数。
6.一种物料优化调度的装置，包括：
7.根据权利要求6所述的装置，其中，所述各个物料的当前状态包括：各个物料在当前时间点是否可以移动的状态或者各个物料在当前时间点的移动优先级状态。
8.根据权利要求7所述的装置，其中，所述模拟计算模块进一步用于：
9.根据权利要求6所述的装置，其中，所述存储模块还用于：
10.根据
...【技术特征摘要】
1.一种物料优化调度的方法，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述各个物料的当前状态包括：各个物料在当前时间点是否可以移动的状态或者各个物料在当前时间点的移动优先级状态。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述模拟各条物料运行路径包括：
4.根据权利要求1所述的方法，还包括：在对所述物料运行路径进行模拟的过程中，在所述物料运行路径上的每一步前进都实时更新各个物料的当前状态，并将各个物料的最新当前状态存储到物料列表中，以供所述物料运行路径的下一步前进选择。
5.根据权利要求3所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔琳，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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